[发明专利]智能全自动半导体清洗装置

权利要求书

1.一种智能全自动半导体清洗装置，其特征在于包括：配酸系统与清洗系统；所述清洗系统具有：

用于支撑整体装置的骨架本体

安装在骨架本体内部的清洗工艺槽；

安装于清洗工艺槽内，控制清洗模块内洗液层流结构的层流控制系统；

连接所述层流控制系统和清洗工艺槽，将清洗液输送至清洗工艺槽的传动系统；

与自动配酸系统相连接，并控制清洗系统内部的外接电力相连接的电气控制系统；

由电器控制系统控制的，用于操作晶片，完成各个清洗流程的机械臂。

2.根据权利要求1所述的智能全自动半导体清洗装置，其特征还在于：所述清洗工艺槽还连接有通风风道。

3.根据权利要求2所述的一种智能全自动半导体清洗装置，其特征还在于所述清洗工艺槽、传动系统、层流控制系统，安放在洁净无尘区。