[发明专利]XRD和XRF的组合装置

权利要求书

1.一种X射线衍射XRD和X射线荧光XRF的组合装置，包括：

X射线源，该X射线源提供同时在连续波长范围之上的辐射，该辐射包括多条特征线；

光束调节器系统，被设置为在入射光束方向上将入射X射线束限定在衍射平面上；

样品保持器，被设置为将样品保持在入射X射线束中，该样品保持器限定样品平面；

XRF端口，被定位为用安装在该端口上的X射线检测系统测量离开样品的X射线以执行荧光分析；

XRD端口，被设置在与入射光束方向成固定的2θ角处，以便测量衍射的X射线，其中，2θ在0.1°至20°的范围内；以及

光束调节器系统，被设置为与XRD端口对准，以选择与入射光束方向成2θ角度的衍射的X射线。

2.根据权利要求1所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中X射线源适于提供在至少10keV宽度且扩展到10keV以上的波长范围之上的X射线。

3.根据权利要求1或2所述的X射线衍射和X射线荧光组合装置，其中固定的角度2θ在5°至12°范围内。

4.根据权利要求1或2所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中固定的角度2θ在0.1°至5°范围内。

5.根据前述任一权利要求所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，还包括：安装在XRD端口上的能量色散型XRD检测系统；和安装在XRF端口上的能量色散型XRF检测系统。

6.根据权利要求5所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中XRD检测系统包括测角器、至少一个晶体和至少一个检测器。

7.根据权利要求5所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中XRD检测系统包括波长色散型元件和检测器。

8.根据权利要求7所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中检测器是位置敏感检测器。

9.根据权利要求5所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，其中XRD检测系统包括可调节用来在所选能量处检测能量的能量选择检测器。

10.根据前述任一权利要求所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，包括多个XRF端口。

11.根据前述任一权利要求所述的X射线衍射和X射线荧光的组装置，包括多个XRD端口，其中XRF检测系统包括测角器、至少一个晶体和至少一个检测器。

12.根据前述任一权利要求所述的X射线衍射和X射线荧光的组合装置，包括多个XRD端口。

13.一种操作X射线衍射和X射线荧光的组合装置的方法，该组合装置包括X射线源、光束调节器系统、样品保持器、X射线荧光(XRF)端口和X射线衍射(XRD)端口，该方法包括：

将样品安装到样品保持器上；

提供来自X射线源的、同时在连续波长范围之上的辐射，该辐射包括多条特征线；

将在入射光束方向上入射到样品上的入射X射线束限定在衍射平面上；

测量XRF端口处的X射线，以便荧光分析；

选择与入射光束方向成固定的2θ角度的衍射的X射线；以及

测量作为能量函数的所选的衍射的X射线的强度。

14.根据权利要求13所述的方法，包括提供来自X射线源的、在至少10keV宽度且扩展到10keV以上的波长范围之上的X射线辐射。

15.根据权利要求13或14所述的方法，其中固定的角度2θ在5°至12°范围内和/或在0.1°至5°范围内。