[发明专利]探针引导件、探针板及使用它的半导体装置的试验方法

权利要求书

1.一种探针引导件，其是采用悬臂型探针板对具有突起状连接电极的半导体装置进行试验时所使用的探针引导件，其特征在于，设有具有直线状侧部的引导孔，在试验时，所述引导孔引导与突起状连接电极接触的探针顶端部在沿着其刮擦方向的直线方向上移动，在所述探针引导件相对于突起状连接电极被定位在使用位置时，该引导孔在与突起状连接电极的顶点周边部相对的位置开口，所述顶点周边部偏离通过所述突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线。

2.如权利要求1所述的探针引导件，其特征在于，所述引导孔分别设置在通过突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线的两侧。

3.如权利要求2所述的探针引导件，其特征在于，被分别设置在所述中心线的两侧的引导孔被设置为八字形，使得所述直线状的侧部之间的间隔随着朝向试验时的探针顶端部的刮擦方向的顶端而逐渐变窄。

4.一种悬臂型探针板，其特征在于，具有如权利要求1～3中任意一项所述的探针引导件。

5.如权利要求4所述的悬臂型探针板，其特征在于，其是使得每一个突起状连接电极与两根探针接触的开尔文连接式的探针板。

6.一种具有突起状连接电极的半导体装置的试验方法，其特征在于，采用权利要求1～3中任意一项所述的探针引导件，引导悬臂型探针的顶端部在刮擦方向上直线状移动，并使得所述顶端部与突起状连接电极的顶点周边部接触，来进行半导体装置的电气试验，所述顶点周边部偏离通过所述突起状连接电极的突起顶点的刮擦方向的中心线。