[发明专利]一种有机阻变存储器及制备方法有效

专利信息
申请号: 201010161422.9 申请日: 2010-05-04
公开(公告)号: CN101826597A 公开(公告)日: 2010-09-08
发明(设计)人: 于哲;黄如;邝永变;张丽杰;高德金 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/40
代理公司: 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 代理人: 苏爱华
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 有机 存储器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种有机阻变存储器,包括衬底,衬底上设有底电极、中间有机功能层和顶电极,其 特征在于,所述顶电极和底电极均为W、Pt或Au,所述中间有机功能层为金属掺杂的钛氧酞 菁膜,掺杂的金属为Al、Hf或Mg中的一种,掺杂的金属的质量百分比在0.1%到1%。

2.如权利要求1所述的有机阻变存储器,其特征在于,所述功能层的厚度范围为 100-200nm。

3.如权利要求1所述的有机阻变存储器,其特征在于,所述顶电极和底电极的厚度范围 均为100nm-200nm。

4.如权利要求1所述的有机阻变存储器,其特征在于,衬底为玻璃或者柔性基底。

5.一种有机阻变存储器的制备方法,其步骤包括

1)在衬底上淀积一层金属作为底电极,底电极为W、Pt或Au;

2)将金属粉末与有机钛氧酞菁粉末研磨搅拌,而后利用热蒸发成膜的方法形成金属掺杂 的钛氧酞菁膜,掺杂的金属为Al、Hf或Mg中的一种,掺杂的金属的质量百分比在0.1%到1%;

3)在上述金属掺杂的钛氧酞菁膜上方淀积一层W、Pt或Au金属,实现顶电极的制备。

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