[实用新型]半导体炉管机台加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，且特别涉及一种半导体炉管机台加热器。

背景技术

请参考图1，图1所示为现有技术中半导体炉管机台结构示意图。图1中所示的半导体炉管机台包括入气口1、排气管2、多歧管3、内部管4、升降机5、加热器6和加热电阻丝7。半导体炉管机台加热器分为：高温、中温、低温三种类型，目前我们半导体制造所使用的炉管机台加热器高温为1200℃以上，中温为780℃左右，低温为300℃左右。目前在半导体制造领域所使用的炉管机台加热器，其加热电阻丝经过一段时间后，由于加热电阻丝的变形或短路，以至整个加热器无法继续使用，请参考图2，图2所示为现有技术中半导体炉管机台中加热器的加热电阻丝和支撑绝缘陶瓷布局图。如果没有及时发现加热器的严重隐患，势必将造成严重的后果。分析其损坏原因，大概有以下两种：1.电阻丝热变形后下垂过大；2.短路造成加热电阻丝熔断。图2中可以看出两个支撑绝缘陶瓷11之间的第一电阻丝10热变形后下垂，容易接触到相邻的第二电阻丝20造成短路。炉管机台需要进行预防维修检查，如果发现变形严重将进行更换等待。就目前情况而言每次检查发现加热器大部分加热丝变形都比较严重。

现在发现的所有故障或具有潜在隐患的加热器，其问题都出在加热器底部(BOTTOM ZONE)。半导体炉管机台加热器底部功率(BOTTOM ZONEPOWER)大于其它部分的功率，原因在于加热器底部容易散热，同时在装载时加热器底部的热损失比其他部分高，因此加热器底部的补偿功率相比较会大，所以加热电阻丝变形也比较大。

同时，加热器的更换为整体更换，其包括大量管道的拆装，电线、信号线的拆装，互锁、报警信号的测试，绝缘、电流的测试，因此加热器的更换较为困难，成本也较高。

实用新型内容

本实用新型提出一种半导体炉管机台加热器，可提高加热器的安全性能，延长加热器的使用寿命。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种半导体炉管机台加热器，包括多根平行设置的电阻丝，所述每根电阻丝上设置有多个支撑绝缘陶瓷，其中，相邻两根电阻丝上的多个支撑绝缘陶瓷交错排列。

进一步的，同根电阻丝上的多个支撑绝缘陶瓷彼此之间具有相同的距离。

进一步的，所述支撑绝缘陶瓷与电阻丝之间具有预留延伸空间。

为了达到上述目的，本实用新型还提出一种半导体炉管机台加热器，包括垂直安装的波浪形电阻丝，所述波浪形电阻丝上设置有多个支撑绝缘陶瓷，其中，所述多个支撑绝缘陶瓷设置于波浪形电阻丝的波峰和波谷。

进一步的，所述支撑绝缘陶瓷与电阻丝之间具有预留延伸空间。

本实用新型提出的半导体炉管机台加热器，将相邻电阻丝上的多个支撑绝缘陶瓷交错排列设置，改变电阻丝的支撑布局，保证电阻丝的隔离，起到安全防护作用；将电阻丝设置为波浪形，并且在其波峰和波谷上设置多个支撑绝缘陶瓷，从而改变了电阻丝的走向，保证电阻丝的隔离，起到安全防护作用；本实用新型还在支撑绝缘陶瓷与电阻丝之间具有预留延伸空间，从而延长加热器的使用寿命。

附图说明

图1所示为现有技术中半导体炉管机台结构示意图。

图2所示为现有技术中半导体炉管机台加热器的电阻丝和支撑绝缘陶瓷布局图。

图3所示为本实用新型第一较佳实施例的电阻丝和支撑绝缘陶瓷的布局图。

图4所示为本实用新型第一较佳实施例的电阻丝和支撑绝缘陶瓷使用后的示意图。

图5所示为本实用新型第二较佳实施例的波浪形电阻丝和支撑绝缘陶瓷的布局图。

图6所示为本实用新型第二较佳实施例的电阻丝和支撑绝缘陶瓷的结构图。

具体实施方式

为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图说明如下。

本实用新型提出一种半导体炉管机台加热器，可提高加热器的安全性能，延长加热器的使用寿命。

请参考图3，图3所示为本实用新型第一较佳实施例的电阻丝和支撑绝缘陶瓷的布局图。本实用新型提出一种半导体炉管机台加热器，包括多根平行设置的电阻丝100，所述每根电阻丝100上设置有多个支撑绝缘陶瓷200，同根电阻丝100上的多个支撑绝缘陶瓷200彼此之间具有相同的距离，其中，相邻两根电阻丝100上的多个支撑绝缘陶瓷200交错排列。