[发明专利]导电板的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种导电板的制作方法。

背景技术

纳米碳管(CarbonNanotube，CNT)是一种由碳原子组成、直径为纳米等级的中空管状物，随着纳米碳管的长度、直径和螺旋方式的变化，纳米碳管可呈现出金属性质或半导体性质，由于纳米碳管的优异特性，因此可望在许多不同技术领域中发挥重要作用。

由于CNT具有导电性，因此陆续有人尝试以CNT制作成导电膜。以CNT所制作的导电膜而言，其制作条件相对制作铟锡氧化物(Indium Tin Oxide，ITO)等透明导电膜要来的容易，且制作成本相对其他透明导电膜来的低廉。因为透明导电膜其光学级穿透度上的需求，因此以CNT所制作成的透明导电膜需要把CNT本身的密度降低，以达成较高的穿透度。目前所使用的方式为：将生长于晶圆(或其它基板)上的CNT丛集，通过机械力量来将晶圆(或其它基板)上的CNT丛集悬空拉伸成一透明状导电膜。

同时使用激光扫描上述的半透明状导电膜，通过激光集中能量式的方法来燃烧一部分的CNT，以达到提升穿透率的效果。

最后再将激光处理过后的CNT透明导电膜以微速小心贴到已上胶的基板上，用以将CNT透明导电膜固定在基板上。

但是这种在晶圆(或其它基板)上将CNT拉伸成透明状导电膜后，即先行以激光处理以提升穿透率的方式的缺点是：

1.因激光处理的过程是在悬空状态下燃烧一部分的CNT，因此悬空部分的CNT面积如果过大，则会受重力影响使制造过程不稳定，进而机台的生产速度与良率受到限制。因此使得悬空部分的CNT面积会受到限制。

2.激光处理后的CNT透明导电膜会因为CNT密度降低使得其机械强度也跟着下降，因此制造过程中的微小气流都可能造成良率影响，例如：机械动作气流扰动、热循环气流等。

3.由于悬空的CNT透明导电膜的机械强度脆弱，因此在激光处理时需注意到激光的能量功率及密度。由于CNT本身无法实时消散过高的激光功率所产生的热能，因此会导致CNT在制造过程中被烧断，因此限制了生产速度与制造过程参数范围，例如：激光能量不能过高、激光扫瞄方向要垂直于CNT等。

发明内容

为了解决现有技术中导电板制造过程的生产速度与良率较低，且制造过程参数不易控制，同时导电膜不能不间断的大面积导入的问题，有必要提供一种制造过程的生产速度与良率较高，且制造过程参数容易控制，同时导电膜可以不间断的大面积导入的导电板的制作方法。

一种导电板的制作方法，其包括：提供具多个纳米单元的一导电膜；将该导电膜置于一基材上；和后处理已置于该基材上的该导电膜。

相较于现有技术，本发明所揭露的该导电板的制作方法首先将导电膜置于基材上，再对已置于基材上的导电膜进行激光等后处理，于此可提升制造过程的生产速度与良率，且制造过程参数较易控制，同时导电膜可以不间断的大面积导入。

附图说明

图1是本发明导电板的制作方法的第一具体实施方式的各步骤的流程图。

图2是本发明导电板制备系统的第一具体实施方式的示意图。

图3是本发明导电板的制作方法的第二具体实施方式的各步骤的流程图。

图4是本发明导电板制备系统的第二具体实施方式的示意图。

具体实施方式

根据本发明的导电板的制作方法包括：首先提供具多个纳米单元的一导电膜；接着将导电膜置于一基材上；以及后处理已置于基材上的导电膜。

请参阅图1和图2，图1是本发明第一具体实施方式的导电板的制作方法中各步骤的流程图，图2是本发明第一具体实施方式的导电板制备系统示意图。在本实施方式中，首先提供具多个纳米单元的导电膜。其中提供具多个纳米单元的导电膜的步骤可包括：

步骤S10：提供一底材；

步骤S11：形成多个纳米单元于底材上；以及

步骤S12：拉伸处理该等纳米单元以形成一导电膜。