[发明专利]晶片顶出装置与取像装置的组合无效
申请号: | 200910150237.7 | 申请日: | 2009-06-22 |
公开(公告)号: | CN101930904A | 公开(公告)日: | 2010-12-29 |
发明(设计)人: | 庄国彬;洪英民;施博伦 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/683;H01L21/66 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 装置 组合 | ||
技术领域
本发明涉及一种晶片顶出装置与取像装置的组合,特别是涉及一种用以将晶片顶出并且能进行取像以进行检测或校正的晶片顶出装置与取像装置的组合。
背景技术
一般集成电路被制造于晶圆上并且切割成晶片之后,是粘附于一胶带(如蓝胶)上,再通过一顶出装置进行粘晶的动作,且在进行粘晶的过程中,需配合一摄影机取像,藉以对晶片进行检测或位置校正。
请参阅图1,为中国台湾新型证书号335788所揭露的一种晶片顶出装置,其包含一平台11、一位于平台11下方并且能受驱动往上凸出平台11的顶针(图未示)以及一取像单元12,取像单元12是设置在平台11上方而能往下对位在平台11上的晶片进行取像。
由此可见,上述现有的晶片顶出装置在结构与使用上,显然仍存在有不便与缺陷,而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题,相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道,但长久以来一直未见适用的设计被发展完成,而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题,此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的晶片顶出装置与取像装置的组合,实属当前重要研发课题之一,亦成为当前业界极需改进的目标。
发明内容
本发明的目的在于,克服现有的晶片顶出装置存在的缺陷,而提供一种新型结构的晶片顶出装置与取像装置的组合,所要解决的技术问题是使其取像装置与晶片顶出装置的相对位置不同于以往,非常适于实用。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种晶片顶出装置与取像装置的组合,包含一晶片顶出装置与一取像装置,该晶片顶出装置包括一平台、一顶针单元以及一驱动单元,该平台具有一顶针孔,该顶针单元位于该平台下方并能受驱动由该顶针孔往上凸出该平台,该驱动单元能驱动该顶针单元由该顶针孔往上凸出该平台;其中该取像装置位于该平台的平面下方并且包括一摄像元件及一检视元件,该检视元件介于该摄像元件与该平台之间,该检视元件具有一管体及一镜头部,该管体具有一连接该摄像元件的底端及一顶端,该镜头部设置于该管体顶端,且该镜头部具有一视角范围,该管体顶端朝向该平台,使该顶针孔位于该镜头部的视角范围内。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中定义一通过该镜头部的视角范围中心的视角范围中心线,该视角范围中心线通过该平台的顶针孔。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该管体具有一管体轴线,该顶针单元具有一顶针中心线,该管体轴线与该顶针中心线夹一锐角。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该晶片顶出装置与取像装置的组合还包含一支撑架,该晶片顶出装置与该取像装置设置于该支撑架。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该支撑架具有一水平板部,该晶片顶出装置还包括一设置于该水平板部的平台座,该平台座具有一间隔于该水平板部上方的顶壁及一由该顶壁往下延伸的围绕壁,该顶壁界定出该平台,且该平台座与该水平板部配合界定出一负压空间,该管体顶端穿伸通过该水平板部并且位于该负压空间内。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该取像装置还包括一光源,用以提供该镜头部朝向该平台的顶针孔的照明。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该光源邻近该管体底端设置。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该管体为一光纤管路。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该检视元件为一硬管内视镜。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该光源为一同轴光源。
较佳地,前述的晶片顶出装置与取像装置的组合,其中该支撑架还包括一位于该水平板部下方的延伸臂,该摄像元件设置于该延伸臂。
本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上可知,为达到上述目的,本发明提供了一种晶片顶出装置与取像装置的组合包含一晶片顶出装置与一取像装置,该晶片顶出装置包括一平台、一顶针单元以及一驱动单元,该平台具有一顶针孔,该顶针单元位于该平台下方并能受驱动由该顶针孔往上凸出该平台,该驱动单元能驱动该顶针单元由该顶针孔往上凸出该平台。该取像装置位于该平台的平面下方并且包括一摄像元件及一检视元件,该检视元件介于该摄像元件与该平台之间,该检视元件具有一管体及一镜头部,该管体具有一连接该摄像元件的底端及一顶端,该镜头部设置于该管体顶端,且该镜头部具有一视角范围,该管体顶端朝向该平台,使该顶针孔位于该镜头部的视角范围内。
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