[发明专利]半导体受光元件和照度传感器有效
申请号: | 200810213000.4 | 申请日: | 2008-08-20 |
公开(公告)号: | CN101414612A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 富田宣子 | 申请(专利权)人: | 冲电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L27/144 | 分类号: | H01L27/144;G01J1/42;G01J1/44 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 元件 照度 传感器 | ||
1.一种半导体受光元件,其形成在P型半导体基板内,其特征在于, 该半导体受光元件具有:
P型阱区域和N型阱区域,该两者沿着所述P型半导体基板的表面 并排设置;
高浓度N型区域,其形成在所述P型阱区域的表面附近;
高浓度P型区域,其形成在所述N型阱区域的表面附近;以及
与所述高浓度N型区域并排设置在所述P型阱区域的表面附近的P 型区域、和与所述高浓度P型区域并排设置在所述N型阱区域的表面附 近的N型区域,
由所述N型阱区域和所述高浓度P型区域形成的PN结比由所述P 型阱区域和所述高浓度N型区域形成的PN结形成在距所述P型半导体 基板表面更浅的位置。
2.根据权利要求1所述的半导体受光元件,其特征在于,该半导体 受光元件具有设置在所述P型半导体基板的表面的透光性的绝缘膜,
该半导体受光元件具有多个金属电极,该多个金属电极贯通所述绝 缘膜,并与所述P型阱区域、所述N型阱区域、所述高浓度N型区域以 及所述高浓度P型区域分别电连接。
3.根据权利要求1或2所述的半导体受光元件,其特征在于,所述 P型阱区域是通过注入能量相互不同的2次离子注入来形成的。
4.根据权利要求1或2所述的半导体受光元件,其特征在于,所述 P型阱区域的杂质浓度高于所述P型半导体基板的杂质浓度。
5.根据权利要求4所述的半导体受光元件,其特征在于,所述P型 阱区域是通过注入能量相互不同的2次离子注入来形成的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的