[发明专利]半导体螺线管电感及其制作方法无效
| 申请号： | 200810044019.0 | 申请日： | 2008-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101740195A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陈华伦;陈瑜;熊涛;罗啸;陈雄斌 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01F17/04 | 分类号： | H01F17/04;H01F41/00;H01L29/00;H01L29/82 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 螺线管 电感 及其 制作方法 | ||
1.一种半导体螺线管电感，其特征在于，包括多个上层金属条和多个下层金属条，一个磁心夹在所述上层金属条和所述下层金属条之间，所述上层金属条和所述下层金属条通过接触孔依次首尾相接，形成一个沿同一方向环绕所述磁心的螺线管，所述磁心周围包裹有绝缘介质。
2.根据权利要求1所述的半导体螺线管电感，其特征在于，所述磁心为条状。
3.根据权利要求1所述的半导体螺线管电感，其特征在于，所述磁心为环状。
4.一种如权利要求1～3中任意一项所述的半导体螺线管电感的制作方法，其特征在于，依次包括如下步骤：
(1)光刻刻蚀形成下层金属条；
(2)在所述下层金属条上制作绝缘层，完全覆盖所述下层金属条；
(3)在步骤(2)淀积的绝缘层上制作磁心；
(4)在磁心上再制作绝缘层，完全覆盖所述磁心；
(5)制作接触孔，所述接触孔将所述下层金属条的首尾端引出；
(6)在步骤(4)淀积的绝缘层上光刻刻蚀形成上层金属条，使得上层金属条和所述下层金属条通过接触孔依次首尾相接，形成一个沿同一方向环绕所述磁心的螺线管。
5.根据权利要求4所述的半导体螺线管电感的制作方法，其特征在于，所述步骤(2)和步骤(4)中制作绝缘层的方法是先利用化学汽相淀积形成绝缘层，然后对绝缘层进行化学机械抛光。
6.根据权利要求4所述的半导体螺线管电感的制作方法，其特征在于，步骤(3)中制作所述磁心的方法是，先利用物理汽相淀积或化学汽相淀积的方法淀积磁心薄膜，然后用光刻刻蚀方法制作形成磁心。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹NEC电子有限公司，未经上海华虹NEC电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810044019.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
