[发明专利]半导体器件无效
| 申请号: | 200780001405.5 | 申请日: | 2007-09-05 |
| 公开(公告)号: | CN101356643A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
| 发明(设计)人: | 伊藤哲平;和田雅浩;田中宏之;广瀬浩;橘贤也 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
| 主分类号: | H01L23/12 | 分类号: | H01L23/12;C08J5/24;C08L63/00;H01L21/60;H01L23/29;H01L23/31 |
| 代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 余朦;方挺 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,其特征在于,包括:
电路板,其包括板芯和堆积层;
半导体元件,通过金属凸块连接至所述电路板;以及
封装树脂组合物,其填充所述半导体元件和所述电路板之间的间 隙;其中
所述板芯的厚度至多为500μm;
所述板芯在平面方向上从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至 多为15ppm/℃;
所述板芯在厚度方向上从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至 多为18ppm/℃;
所述封装树脂组合物从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至少 为15ppm/℃、至多为30ppm/℃;并且
所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分析的玻璃化转变温度 Tg(℃)满足公式75≤Tg<112.5T+95,其中T(mm)为所述板芯 的厚度。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述板芯的厚度至多为 200μm。
3.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述堆积层在平面方向 上从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至多为35ppm/℃。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述封装树脂组合物通 过热机械分析仪分析的玻璃化转变温度Tg(℃)满足公式25T+75≤ Tg≤100T+95,其中T(mm)为所述板芯的厚度。
5.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述电路板包括至少七 层堆积层,并且所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分析的玻璃化 转变温度Tg(℃)满足公式75≤Tg≤75T+95,其中T(mm)为所 述板芯的厚度。
6.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述电路板包括至少四 层且至多六层堆积层,并且所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分 析的玻璃化转变温度Tg(℃)满足公式25T+75≤Tg≤100T+95, 其中T(mm)为所述板芯的厚度。
7.一种半导体器件,其特征在于,包括:
电路板,其包括板芯和堆积层;
半导体元件,通过金属凸块连接至所述电路板;以及
封装树脂组合物,其填充所述半导体元件和所述电路板之间的间 隙;其中
所述电路板包括至多三层堆积层;
所述板芯的厚度至多为500μm;
所述板芯在平面方向上从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至 多为15ppm/℃;
所述板芯在厚度方向上从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至 多为18ppm/℃;
所述封装树脂组合物从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至少 为15ppm/℃、至多为30ppm/℃;并且
所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分析的玻璃化转变温度 Tg(℃)满足公式50T+75≤Tg<125T+95,其中T(mm)为所述 板芯的厚度。
8.一种半导体器件,其特征在于,包括:
电路板,其包括板芯和堆积层;
半导体元件,通过金属凸块连接至所述电路板;以及
封装树脂组合物,其填充所述半导体元件和所述电路板之间的间 隙;其中
所述板芯的厚度至多为500μm;
所述板芯是通过以树脂组合物浸渍纤维衬底并进行固化而形成 的,所述树脂组合物包括氰酸酯树脂、酚树脂、环氧树脂和无机填充 物;
所述封装树脂组合物从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至少 为15ppm/℃、至多为30ppm/℃;并且
所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分析的玻璃化转变温度 Tg(℃)满足公式75≤Tg<112.5T+95,其中T(mm)为所述板芯 的厚度。
9.一种半导体器件,其特征在于,包括:
电路板,其包括板芯和堆积层;
半导体元件,通过金属凸块连接至所述电路板;以及
封装树脂组合物,其填充所述半导体元件和所述电路板之间的间 隙;其中
所述电路板包括至多三层堆积层;
所述板芯的厚度至多为500μm;
所述板芯是通过以树脂组合物浸渍纤维衬底并进行固化而形成 的,所述树脂组合物包括氰酸酯树脂、酚树脂、环氧树脂和无机填充 物;
所述封装树脂组合物从室温到玻璃化转变温度的热膨胀系数至少 为15ppm/℃、至多为30ppm/℃;并且
所述封装树脂组合物通过热机械分析仪分析的玻璃化转变温度 Tg(℃)满足公式50T+75≤Tg<125T+95,其中T(mm)为所述 板芯的厚度。
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