[发明专利]信号传输电路及其形成方法无效
申请号: | 200710149679.0 | 申请日: | 2007-09-13 |
公开(公告)号: | CN101145554A | 公开(公告)日: | 2008-03-19 |
发明(设计)人: | 朴光洙;金钟勋;李载濬 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张波;陶凤波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 信号 传输 电路 及其 形成 方法 | ||
技术领域
本发明的示例性实施例总地涉及信号传输电路及其形成方法。
背景技术
可提供微条线图案(micro strip line pattern)或条线图案来控制信号传输电路的传输特性。在常规微条线结构中,具有地电压或电源电压的基准传输面(reference transmission plane)可位于信号传输线下面。常规条线结构中,多个基准传输面可分别布置在多条信号传输线上面和下面。条线结构的信号传输线和基准传输面可通过多个绝缘层彼此电隔离。信号传输电路的传输特性可通过基准传输面或信号传输线的图案来调整。
图1是常规信号传输电路的透视图。图1的信号传输电路可包括多个第一至第五信号传输线SL1、SL2、SL3、SL4和SL5及多个基准传输面RP1和RP2,以及多个绝缘层D1、D2和D3。所述多个第一至第五信号传输线SL1、SL2、SL3、SL4和SL5可由多个金属层形成,所述多个基准传输面RP1和RP2可由多个金属层形成。
图2示出了图1的第一和第二信号传输线SL1和SL2及基准传输面RP1的一部分。现在将参照图2解释相邻信号传输线之间的干扰(例如串扰)。
参照图2,第一信号传输线SL1可传输第一信号电流Is1且第二信号传输线SL2可传输第二信号电流Is2。基准传输面RP1可传输对应于第一信号电流Is1的返回电流Ir1和对应于第二信号电流Is2的返回电流Ir2。
参照图2,在基准传输面RP1中,伴随返回电流Ir1的电磁波噪声Nw会影响第二信号电流Is2,且伴随返回电流Ir2的电磁波噪声Nw会影响第一信号电流Is1,由此导致第一和第二信号传输线SL1和SL2之间的串扰。此外,如果高频信号通过信号传输线传输,串扰会增大,这会进一步降低系统性能。
发明内容
本发明的一示例性实施例涉及信号传输电路,包括多条信号传输线和基准传输面,所述多条信号传输线的每条配置来通过信号电流传送数据,基准传输面配置来传送对应于信号电流的返回电流,基准传输面通过绝缘层与多条信号传输线的每条隔离,基准传输面包括至少一个隔离槽。
本发明的另一示例性实施例涉及形成信号传输电路的方法,包括形成多条信号传输线和形成基准传输面,所述多条信号传输线的每条配置为通过信号电流传送数据,基准传输面配置为传送对应于信号电流的返回电流,基准传输面通过绝缘层与所述多条信号传输线的每条隔离,基准传输面包括至少一个隔离槽(separation slot)。
本发明的另一示例性实施例涉及信号传输电路,包括形成在基准传输面中的隔离槽从而减少相邻信号传输线之间的串扰。
附图说明
提供附图以提供对本发明的进一步理解,且附图包括在说明书中并构成说明书的一部分。附图示出了本发明的示例性实施例,并与说明书一起用来解释本发明的原理。附图中:
图1是常规信号传输电路的透视图;
图2示出了图1的第一和第二信号传输线及基准传输面的一部分;
图3输出了根据本发明一示例性实施例的信号传输电路;
图4输出了根据本发明另一示例性实施例的沿图3的信号传输电路的线IV-IV得到的剖视图;
图5A是图2的常规信号传输电路的平面图;
图5B是根据本发明另一示例性实施例的图3的信号传输电路的平面图;
图5C和5D是根据本发明其它示例性实施例的信号传输电路的平面图;
图6A示出了包括常规公共基准传输面的信号传输电路;
图6B示出了包括根据本发明另一示例性实施例的公共基准传输面的信号传输电路;
图7A示出了不包括隔离槽的常规信号传输电路;
图7B示出了根据本发明另一示例性实施例的包括隔离槽的信号传输电路;以及
图8A、8B、8C和8D是曲线图,比较图7A所示的常规信号传输电路的S参数和图7B所示的信号传输电路的S参数。
具体实施方式
这里公开本发明的详细的说明性的示例实施例。然而,这里公开的具体结构和功能细节仅是代表性的,用于描述本发明的示例性实施例。本发明的示例性实施例仍可以以很多替代方式实施而不应理解为局限于这里提出的实施例。
因此,尽管本发明的示例性实施例易于进行各种修改和替代形式,其具体实施例通过示例方式在附图中示出并将在这里详细描述。然而,应该理解,这并不意图限制本发明的示例性实施例为所公开的特定形式,而是相反,本发明的示例性实施例将涵盖落在本发明的精神和范围内的所有变型、等价和替代。在说明书附图中相似的附图标记可始终表示相似的元件。
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