[发明专利]电路图形曝光方法和在其中使用的掩模有效
| 申请号： | 200710001414.6 | 申请日： | 2007-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1996151A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 小佐信惠;安里直生 | 申请（专利权）人： | 尔必达存储器株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谷惠敏;钟强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电路 图形 曝光 方法 其中 使用 | ||
【权利要求书】：
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