[发明专利]半导体光学元件

权利要求书

1.一种半导体光学元件，包括：

半导体衬底；

第一台面，设置在所述半导体衬底之上，具有有源区和设置在所 述有源区之上的第一电极；

第二台面，设置在所述半导体衬底之上，具有半导体层和设置在 所述半导体层之上的第二电极；以及

第三台面，设置在所述半导体衬底之上，具有半导体层，

其中，所述第三台面形成为环形以包围所述第一台面。

2.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述第三台面的一部分位于所述第一台面与所述第二台面 之间。

3.如权利要求1或2所述的半导体光学元件，其中，所述第三台 面的高度方向的尺寸与所述第一台面的高度方向的尺寸相等，或者大 于所述第一台面的高度方向的尺寸。

4.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述第三台面具有在其顶部形成的引出电极，以及

设置有互连，该互连将所述第一台面上的所述第一电极与所述第 三台面的顶部的所述引出电极连接。

5.如权利要求4所述的半导体光学元件，

其中，所述互连布置为跨过所述第一台面与所述第三台面之间的 间隙，以及

在所述互连下填充有绝缘膜。

6.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述第一台面的顶部的面积小于所述第二台面的顶部的面 积。

7.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述半导体光学元件为半导体光接收元件，

所述第一台面的所述有源区为光吸收层，以及

所述第一台面与所述第二台面通过在所述半导体衬底之上形成的 导电层电气连接。

8.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述半导体光学元件为半导体光发射元件，以及

所述第一台面的所述有源区为光发射层。

9.如权利要求1所述的半导体光学元件，

其中，所述半导体光学元件以使所述各个台面的顶部与安装衬底 相对的方式安装在所述安装衬底上。