[发明专利]金属互接件以及采用金属互接件的有源矩阵基底有效

专利信息
申请号: 01122166.6 申请日: 2001-05-25
公开(公告)号: CN1326227A 公开(公告)日: 2001-12-12
发明(设计)人: 近间义雅;和泉良弘 申请(专利权)人: 夏普公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;G02F1/136
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 梁永
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 金属 互接件 以及 采用 有源 矩阵 基底
【权利要求书】:

1、在玻璃基底(11)上形成的金属互接件,该金属互接件包括一用于互接线的接地图案薄膜(12)和一通过在接地图案薄膜上有选择地进行喷镀而形成的喷镀膜(13),其特征在于喷镀膜(13)两侧与玻璃基底(11)表面形成的锥角α的范围为0<α≤90°。

2、如权利要求1所述的金属互接件,其特征在于接地图案薄膜(12)两侧与玻璃基底(11)表面形成的锥角β的范围为0<β≤0°,在一不被接地图案薄膜(12)覆盖的区域内玻璃基底(11)的采挖量(digging quantity)Y的范围为0≤Y≤200,喷镀膜(13)的厚度X的范围为Y≤X≤8000。

3、如权利要求1所述的金属互接件,其特征在于接地图案薄膜(12)包括ITO或二氧化锡。

4、如权利要求1所述的金属互接件,其特征在于接地图案薄膜(12)包括聚酰亚胺。

5、如权利要求1所述的金属互接件,其特征在于喷镀膜(13)是一包括由铜、金、镍和银组成的一组材料中的任何一种金属的单层膜,或者是包括至少一单层膜的多层膜,该单层膜包括由铜、金、镍和银组成的一组材料中的任何一种金属。

6、如权利要求1所述的金属互接件,其特征在于喷镀是无电喷镀。

7、一种使用如权利要求1所述金属互接件的有源矩阵基底。

8、如权利要求7所述的有源矩阵基底,其特征在于喷镀膜(13)两侧与玻璃基底(11)表面形成的锥角α的范围为20°≤α≤75°。

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