[发明专利]感光元件、感光元件辊、使用其的抗蚀图形的制法、抗蚀图形、抗蚀图形的积层片、布线图形的制法及布线图形

说明书

技术领域

本发明涉及感光元件、感光元件辊、使用其的抗蚀图形的制法、抗蚀图形、抗蚀图形的积层片、布线图形的制法及布线图形。

背景技术

过去，在印刷布线板的制造、金属的精密加工等领域中，作为用于蚀刻和电镀等的抗蚀材料，广泛地使用感光性树脂组合物及感光元件。

感光元件通常由光透过性的支撑膜、感光性树脂组合物层、保护膜三层构成。作为其使用方法一般可举出如下的方法，即，首先剥离保护膜后，感光性树脂层以直接接触进行压接(层压)，粘接在光透过性膜上形成图形的底片，照射(曝光)活性光线(多半使用紫外线)，然后喷射有机溶剂或碱水溶液，除去不需要部分，以此形成(显影)抗蚀图形。尤其从环境等方面出发，要求作为显影液使用碱水溶液。

近年来，正在推进电子机器的小型化和轻量化。印刷布线板也要求电路的微细化、抗蚀图形也要求细线化，感光元件也要求高分辨率化。然而，已有的由三层结构构成的感光性元件不能满足这种要求。即，由于通过光透过性支撑膜进行曝光，所以为了得到高分辨率，需要将该膜的厚度尽可能地作薄。另一方面，为了发挥作为涂布感光性树脂组合物时的支撑体的作用要求其具有一定程度的自身保持性，一般需要有15-25μm的厚度。因此，使用已有的等级的光透过性支撑膜，则达不到高分辨率要求，这就是现状。

针对这些要求，为了达到高分辨率，进行了各种试验。例如，可举出：在曝光前，剥离支撑膜，在感光性树脂组合物层上直接粘合底片的方法。通常，感光性树脂组合物层以粘合在基材上的方式保持一定程度的粘合性。因此，若直接地适用该法，则有下列问题，即，底片与感光性树脂组合物层粘合，难于剥离底片，降低作业性，感光树脂污染底片，由于阻碍了空气中的氧，感光度下降等问题。

因此，作为改进这种方法的试验，将感光性树脂组合物层作成2层以上，并将与底片直接接触的层作成非粘合性层(特开昭61-31855号公报、特开平1-221735号公报、特开平2-230149号公报等)。然而，这种方法为了使感光性树脂组合物层多层化，涂布要花时间，而且对感光度下降也不起作用。

此外，作为另一种方法，在感光性树脂组合物层上设置中间层，以克服这些缺点的试验公开于特公昭56-40824号公报、特公昭55-501072号公报、特公昭54-12215号公报、特公昭47-469号公报、特公昭59-97138号公报、特公昭59-216141号公报、特公昭63-197942号公报等。然而，所有这些专利文献均必需在支撑膜与感光性树脂组合物层之间设置中间层，涂布也需花费时间，而且对薄的中间层难于处理。

本发明的目的是，提供一种抗蚀图形侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、碱显影性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种发挥上述效果、抗蚀图形侧面锯齿形刻纹性优异的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种发挥上述效果、分辨率优异的感光性元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述效果外，层压时感光元件的尺寸变化性优异的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述发明效果外，抗蚀固化后的膜强度优异的感光性元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述发明效果外，剥离性优异的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述效果外，耐电镀性优异的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述效果外，粘合性优异的感光元件。

本发明的目的是，还提供一种除上述效果外，保管时的冷流性优异的感光元件。

本发明的另一目的是，还提供一种抗蚀图形的侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、碱显影性、输送时卷绕误差性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的感光元件辊。

本发明的目的是，提供一种抗蚀图形的侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、碱显影性、输送时卷绕误差性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的感光元件辊。

本发明的再另一目的是，抗蚀图形的侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的抗蚀图形的制法。

本发明的再一目的是，提供一种抗蚀图形的侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的抗蚀图形。

本发明的再一目的是，提供一种抗蚀图形的侧面锯齿形刻纹性、抗蚀图形上面的平整性、分辨率、粘合性、生产率及作业性优异、不良腐蚀数少的抗蚀图形积层基片。