[发明专利]感光元件、感光元件辊、使用其的抗蚀图形的制法、抗蚀图形、抗蚀图形的积层片、布线图形的制法及布线图形

权利要求书

1.一种感光元件，由在双轴取向聚酯膜及其一面上具有感光性树脂组合物层的支撑膜构成，其特征是，在与形成该支撑膜的所述感光性树脂组合物层的面的对面上具有含微粒子的树脂层，所述感光性树脂组合物含有：

(A)含羧基的粘合剂聚合物；

(B)分子内有至少一种可聚合的烯类不饱基团的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引发剂。

2.一种感光元件，在支撑膜上具有感光性树脂组合物层，支撑膜横向的200℃、30分钟的热收缩率为0.00-4.00％，所述感光性树脂组合物含有：

(A)含羧基的粘合剂聚合物；

(B)分子内有至少一种可聚合的烯类不饱基团的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引发剂。

3.根据权利要求2所述的感光元件，支撑膜横向的150℃、30分钟的热收缩率为0.00-0.20％。

4.根据权利要求2所述的感光元件，支撑膜横向的105℃、30分钟的热收缩率为0.00-0.20％。

5.一种感光元件，在支撑膜上具有感光性树脂组合物层，支撑膜横向的150℃、30分钟的热收缩率为0.00-0.20％，所述感光性树脂组合物含有：

(A)含羧基的粘合剂聚合物；

(B)分子内有至少一种可聚合的烯类不饱基团的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引发剂。

6.根据权利要求5所述的感光元件，支撑膜横向的105℃、30分钟的热收缩率为0.00-0.20％。

7.一种感光元件，支撑膜上具有感光性树脂组合物层，支撑膜的水的接触角(°)应满足下列数式(1)：

(X面的接触角)/(Y面的接触角)＞1.1    (1)

X面：涂布、干燥感光性树脂组合物的面；

Y面：涂布、干燥感光性树脂组合物面对侧的面；

所述感光树脂组合物含有：

(A)含羧基的粘合剂聚合物；

(B)分子内有至少一种可聚合的烯类不饱基团的光聚合性化合物，以及

(C)光聚合引发剂。

8.根据权利要求2所述的感光元件，支撑膜为在双轴取向聚酯膜的一侧面上积层了含微粒子树脂层的支撑膜，在已形成所述树脂层的对面上涂布、干燥感光性树脂组合物层。

9.根据权利要求1所述的感光元件，微粒子的平均粒径为0.01-5.0μm。

10.根据权利要求1所述的感光元件，含有微粒子的树脂层厚度为0.05-5.0μm。

11.根据权利要求1所述的感光元件，支撑膜的浊度为0.01-5.0％。

12.根据权利要求1所述的感光元件，支撑膜纵向的105℃、30分钟的热收缩率为0.30-0.60％。

13.根据权利要求1所述的感光元件，支撑膜纵向的150℃、30分钟的热收缩率为1.00-1.90％。

14.根据权利要求1所述的感光元件，支撑膜纵向的200℃、30分钟的热收缩率为3.00-6.50％。

15.根据权利要求1所述的感光元件，(A)含有羧基的粘合剂聚合物的重均分子量为20,000-300,000。

16.根据权利要求1所述的感光元件，(A)含有羧基的粘合剂聚合物的酸值为50-300mg KOH/g。

17.根据权利要求1所述的感光元件，作为(B)光聚合性化合物含有双酚A类(甲基)丙烯酸酯化合物。

18.根据权利要求1所述的感光元件，作为(C)光聚合引发剂含有2，4，5-三芳基咪唑二聚物。

19.根据权利要求1所述的感光元件，(A)成分、(B)成分及(C)成分的配合量为：

(A)成分对(A)成分及(B)成分的总量100重量份为40-80重量份；

(B)成分对(A)成分及(B)成分的总量100重量份为20-60重量份，以及

(C)成分对(A)成分及(B)成分的总量100重量份为0.01-20重量份。