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[发明专利]铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池-CN202310173503.8有效
发明人：王海北;李拓夫;牛犁;郑朝振;马浩;张学友 -专利权人：矿冶科技集团有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C04B35/547 文献下载
摘要：本申请提供一种铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池，涉及材料领域。铜铟镓硒靶材的制备方法，包括：采用气雾化法制备CuInGa三元合金粉，将所述CuInGa三元合金粉与Se粉混合，然后依次进行低温烧结和高温烧结得到铜铟镓硒粉末，将所述铜铟镓硒粉末采用热等静压法制备得到铜铟镓硒靶材铜铟镓硒靶材，使用所述的铜铟镓硒靶材的制备方法制得。太阳能电池，其原料包括所述的铜铟镓硒靶材。该制备方法得到的CIGS靶材致密度好、能够避免大范围的偏析、成分配比精准；可以一步溅射直接得到CIGS薄膜太阳能电池吸收层，省略溅射后的硒化步骤，缩短了工艺流程、节省了成本，提升了CIGS吸收层的质量。
铜铟镓硒靶材及其制备方法太阳能电池

[发明专利]设有间隔物的旋转靶材绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置-CN202110605654.7在审
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种设有间隔物的旋转靶材绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。该旋转靶材的去氧化物绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将金属筛网伸入背管与靶管之间的间隙，利用金属筛网的表面刮擦背管外表面和靶管内表面，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率其中，注铟完成后还将金属筛网装回间隙内，金属筛网的存在可以增加铟液连接层的导电导热性能，并且所需铟液较少，减少成本。
设有间隔旋转绑定方法计算机可读存储介质装置

[发明专利]制备铟靶材的方法-CN201711395674.6在审
发明人：阿南·辛格·迪欧达特;程其兵;朱刘;黄宇彬 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种制备铟靶材的方法，其包括步骤：检查背板；将背板固定于可控温平板加热炉的平板上；将挡板固定于背板的上表面的四周缘；设定可控温平板加热炉的温度为预热温度；将铟锭样品加入可控温熔料浇注炉中，设定可控温熔料浇注炉的加热温度以将铟锭样品熔化为铟液；将可控温熔料浇注炉内的铟液浇注在容置腔中；将容置腔中的铟液上面漂浮的杂质清理干净；使可控温平板加热炉停止对容置腔中的铟液加热；在室温下冷却容置腔中的铟液以使铟液固化在背板上而形成铟靶材；将铟靶材取出；将铟靶材的未焊合有固体铟的背板的四周缘的部分切除；对成型的铟靶材进行超声探伤扫描以检查铟靶材有无缺陷以及背板与固体铟的焊合有无缺陷。
铟靶可控温背板容置腔平板加热炉浇注炉熔料焊合制备铟锭加热熔化超声探伤样品加入杂质清理挡板上表面浇注预热固化成型冷却切除漂浮检查取出扫描

[发明专利]一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法-CN202211101171.4在审
发明人：陈明飞;刘永成;王金科;郭梓旋;徐胜利;陈明高;江长久;王志杰;莫国仁;李跃辉 -专利权人：长沙壹纳光电材料有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡锌靶材、氧化物薄膜及其制备方法与应用。本发明的氧化铟锡锌靶材包含In、Sn、Zn、O，以原子摩尔比计In：Sn：Zn＝0.6988：M+N：N，其中，所述M满足0＜M≤0.0199；所述N满足0＜N＜0.33945；所述氧化铟锡锌靶材的相对密度大于采用本发明的氧化铟锡锌靶材制得的氧化物薄膜表面粗糙度低，相对于氧化铟锡靶材其膜层透过率和电阻无显著性变化，具有广泛的应用价值。
一种氧化铟锡锌靶材氧化物薄膜及其制备方法

[发明专利]一种硅靶材组件的钎焊方法-CN201210367293.8无效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅靶材组件的钎焊方法。本发明硅靶材组件的钎焊方法以铟为钎焊材料，在硅靶材和背板的焊接面上涂覆一层铟钎料层，之后将涂覆有铟钎料层的硅靶材和背板的焊接面相贴合，进行钎焊，形成靶材组件。经检验，采用本发明制得的硅靶材组件中，硅靶材和背板的结合率达到95%以上，其完全满足磁控溅射过程中，对于硅靶材和背板高强度结合的要求。
一种硅靶材组件钎焊方法

[发明专利]氧化铟锡废靶材中回收制备铟锡合金的方法、装置-CN202211673175.X在审
发明人：宋建勋;苏鲜伟;李少龙;吕泽鹏;杨斌;何季麟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C25C3/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟锡废靶材中回收制备铟锡合金的方法，该方法包括：氧化铟锡废靶材制成氧化铟锡废靶颗粒，铺设在电解槽底部；熔盐电解质铺设在氧化铟锡废靶颗粒上方；氧化铟锡废靶材制作成棒状电极，设置在熔盐电解质中；以氧化铟锡棒状电极为阳极，氧化铟锡废靶颗粒作为阴极，与熔盐电解质形成电解体系；加热电解体系使熔盐电解质熔融，连接电解电源进行恒电位电解；电解过程中，氧化铟锡废靶颗粒被还原为液态铟锡合金，液态铟锡下沉到电解槽底部，进行收集；向电解槽中连续加入氧化铟锡废靶颗粒参与电解反应，电解过程连续进行，连续收集铟锡合金。
氧化铟锡废靶材中回收制备合金方法装置

[发明专利]一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法-CN202310941481.5在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;张余 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铟锡靶材组件的焊接方法，通过在背板上设置凸台，改进氧化铟锡靶材组件的焊接结构，解决了焊接难的问题，使得靶材的焊接结合率提升至99％以上；且由于凸台的存在，装夹靶材组件时只需夹持凸台的侧面，不会夹持到氧化铟锡靶材的侧面，方便后续安全稳定加工。
一种氧化铟锡靶材组件焊接方法

[发明专利]一种平面绑定靶材及一种平面靶材的绑定方法-CN202011146925.9有效
发明人：张凤戈;魏铁峰;张立强;岳万祥;李建奎 -专利权人：北京安泰六九新材料科技有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种平面绑定靶材、及一种平面靶材的绑定方法。按照所述平面绑定靶材的厚度方向，所述平面绑定靶材依次包括：背板、第一导电粘结层、非磁性金属网、第二导电粘结层金属铟层和靶材；所述第一导电粘结层为通过PVD法镀制到所述背板上，所述第二导电粘结层为通过PVD法镀制到所述靶材上，所述铜网层为通过PVD法镀制到第一导电粘结层或第二导电粘结层上。所述平面靶材的绑定方法中，金属铟层通过PVD法涂布到背板与靶材之间，涂层均匀，且金属铟的用量仅为传统用量的1％‑20％，大大节省铟的用量，节约了靶材绑定的成本。
一种平面绑定方法

[发明专利]铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层及其制备方法和应用-CN201310409032.2无效
发明人：缪向水;黄醒 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层的方法，包括如下步骤：（1）采用贫铜铜铟镓硒靶材，溅射第一贫铜铜铟镓硒预置层；（2）采用富铜铜铟镓硒靶材，在第一贫铜铜铟镓硒预置层上溅射富铜铜铟镓硒预置层；（3）采用贫铜铜铟镓硒靶材，在富铜铜铟镓硒预置层上溅射第二贫铜铜铟镓硒预置层；（4）热处理得到铜铟镓硒吸收层；贫铜铜铟镓硒靶材中，铜原子与铟和镓原子数之和的比为0.5～1.0，即0.5≤Cu/(In+Ga)≤1.0；富铜铜铟镓硒靶材中，铜原子与铟和镓原子数之和的比为1.0～1.5，即1.0≤Cu/(In+Ga)≤1.5。
铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收及其制备方法应用

[发明专利]一种银钯铟靶材及其制备方法-CN202110818657.9在审
发明人：张小军;陈林玉 -专利权人：昆山嘉美荣材料科技有限公司
申请日： 2021-07-20 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种银钯铟靶材及其制备方法，包括以下步骤：向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼；待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸，冷却后获得铸锭；对铸锭进行轧制，获得半成品；对半成品进行热处理；后处理获得银钯铟靶材成品本发明提供的银钯铟靶材及其制备方法，操作简单，所制备的银钯铟靶材抗盐雾和抗氧化能力强，材料晶粒细化程度高。
一种银钯铟靶材及其制备方法

[实用新型]一种旋转靶材绑定的装置-CN201821990202.5有效
发明人：陆映东;张倍维;梁盈祥;莫斌 -专利权人：广西晶联光电材料有限责任公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种旋转靶材绑定的装置，包括机架、铟溢流封口头、具有加热功能的铟注入封口头组件、若干个靶材位置调节座、1对管支架和用于密封背管的油浴堵头、油浴加热堵头。铟溢流封口头通过1个管支架支撑在机架上，铟注入封口头组件放置在机架上交通过另1个管支架支撑，靶材位置调节座放置在机架上并位于铟溢流封口头和铟注入封口头组件之间。采用本实用新型进行旋转靶材绑定时，旋转靶材是平躺放置，绑定效果好。一方面，通过调整铟溢流封口头和铟注入封口头之间的距离，本实用新型能够适用于各种长度的旋转靶材绑定；另一方面，由于采用平躺放置的形式对旋转靶材进行绑定，不需要进行高空作业，且对厂房的高度没有特殊要求。
封口头旋转靶材绑定溢流本实用新型靶材位置管支架堵头平躺高空作业加热功能油浴加热组件放置背管对管油浴支撑支架密封厂房

[发明专利]旋转靶材的去氧化物绑定方法、计算机可读存储介质及绑定装置-CN202110605656.6在审
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军;刘芳 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种旋转靶材的去氧化物绑定方法、靶材绑定装置以及计算机可读存储介质。该旋转靶材的去氧化物绑定方法自下而上地注入铟液，且在注入铟液前先将震动敲击装置的金属片伸入背管与靶管之间的间隙，驱动金属片震动以敲击背管外表面和/或靶管内表面，利用敲击带动背管和靶管震动，除去两者上的氧化铟层(或其他氧化物)，提升铟与靶材/背管的贴合率。
旋转氧化物绑定方法计算机可读存储介质装置

[发明专利]一种靶材再生处理及粘靶方法-CN202011562033.7有效
发明人：胡超川;朱磊;何涛;张继凡 -专利权人：安徽立光电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材再生处理及粘靶方法，具体步骤依次为：冷校正、金属化、线切割、靶材除油、靶材粘接、热校正和靶面整理。本发明的有益效果在于：利用泊重量具对铜板进行校正，提高了铜板的平整度；ITO平面靶材使用后利用线切割机切割，一分为二，调换位置再生使用，二次使用后再切割后拼接使用第三次，使得靶材的利用率提升了3倍；粘靶时，通过高温下带铟打磨靶材及铜背板，使铟与之融合，提升了粘靶牢固性；通过耐高温胶布、塞尺、600目砂纸、专用间隙片、抛光片，有效隔离了铟并去除了残留铟。
一种再生处理方法

[发明专利]一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法-CN202310885547.3在审
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人：赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本申请涉及一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法，包括通过注浆成型加中高温烧结的方式制作氧化铟锡、氧化铟锌或是氧化铟锡锌靶材以及对应的含银氧化铟锡、含银氧化铟锌或是含银氧化铟锡锌靶材，借由添加氧化银粉末或是纯银粉末降低烧结温度，提高靶材密度及导电性；将玻璃基板或完成PECVD工艺的N型硅片，以及靶材和对应的含银靶材放入真空溅镀机中，在室温条件下进行镀膜，形成电镀铜多层薄膜结构，并进行黄光制程及蚀刻制程，形成铜金属栅线，完成薄膜线路的制作本发明可实现将靶材与传统的透明导电膜靶材放在同一个溅镀机上溅镀，能够满足异质结电池及异质结钙钛矿叠层电池的铜电镀金属化的性能需求。
一种用于电镀工艺透明导电薄膜线路制备方法

[实用新型]一种小尺寸金属靶材的批量绑定装置-CN202320008029.9有效
发明人：高明;王方方;张虎;陈浩杰 -专利权人：北京航空航天大学宁波创新研究院
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请涉及磁控溅射靶材制备的技术领域，特别是涉及一种小尺寸金属靶材的批量绑定装置。该批量绑定装置包括：加热平台、防护堤坝和涂铟机构；所述防护堤坝置于所述加热平台的上方且呈合围结构，合围结构的内部形成用于放置背板、靶材及铟焊材的容纳空间；所述涂铟机构用于将熔融状态的铟焊材涂抹到所述背板与所述靶材焊接结合表面本申请的小尺寸金属靶材的批量绑定装置，可以实现小尺寸靶材的批量润湿、统一堤坝防护和快速调整，大大提升了靶材的绑定效率，减少了操作者面对加热平台的操作时间。
一种尺寸金属批量绑定装置