专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]清洗单元的清洗效率侦测方法-CN201510971819.7在审
  • 秦海燕;李儒兴;程君 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2015-12-22 - 2016-05-11 - H01L21/66
  • 一种清洗单元的清洗效率的侦测方法,包括:提供若干批次基底,基底表面具有凹槽,凹槽的顶部宽度大于底部宽度,对不同批次基底进行如下处理:形成覆盖基底且填充满凹槽的多晶硅材料层;对多晶硅材料层进行化学机械研磨,形成表面与基底表面齐平的多晶硅层;对研磨后的多晶硅层表面宽度进行测量,获得第一宽度;采用清洗单元对多晶硅层表面进行清洗;刻蚀多晶硅层,使多晶硅层的顶部宽度减小;对刻蚀后多晶硅层表面宽度进行测量,获得第二宽度;进行上述处理之后,按照清洗顺序,依次比较每个批次的基底所对应的第一宽度与第二宽度之间的差值;根据差值变化,判断所述清洗单元的清洗效率是否下降。上述方法可以实现对清洗单元的清洗效率的侦测。
  • 清洗单元效率侦测方法
  • [发明专利]效率清洗装置-CN201911403813.4有效
  • 周昌伟;张华平 - 重庆华彬伟玻璃有限公司
  • 2019-12-30 - 2020-12-25 - B08B3/02
  • 本发明涉及玻璃清洗技术领域,公开了一种高效率清洗装置,包括清洗桶,清洗桶的上部和下部均开设有开口,清洗桶内转动连接有中空的传送轴,传送轴的外周固定有螺旋叶片;传送轴的上部连通有水源,传送轴的下端固定连接有从齿轮,从齿轮啮合有由驱动件驱动的主齿轮;清洗桶上沿其轴向设置有若干清洗组,清洗组包括与传送轴连通的水喷头和位于水喷头下方的若干气喷头,气喷头沿清洗桶的轴向均布。本发明结构简单,在玻璃碎片的清洗过程中,将玻璃碎片上的杂质进行清理,避免了玻璃碎片重复清洗的目的,提高了玻璃碎片的清洗效率
  • 高效率清洗装置
  • [发明专利]干冰清洗效率检测方法-CN201310167852.5无效
  • 刘世念;吕旺燕;马存仁;魏增福 - 广东电网公司电力科学研究院
  • 2013-05-08 - 2013-09-18 - B08B7/00
  • 本发明的一种干冰清洗效率检测方法,包括以下步骤:a、记录待清洗物件表面的污垢种类及各种类污垢的量;b、开启干冰清洗装置;c、改变干冰清洗装置的干冰流量和/或调节干冰清洗装置供气压力和/或调节干冰清洗装置上喷嘴与待清洗物件表面之间的角度和/或调节干冰清洗装置上喷嘴与待清洗物件之间的距离,使干冰清洗装置上的喷嘴按照调整后的要求对准待清洗物件表面上的污垢,经过时间T,再次记录待清洗物件表面的污垢种类及各种类污垢的量;d、对a、c步骤记录的待清洗物件表面的污垢种类及各种类污垢的量进行分析计算,得出c步骤改变各项参数后的清洗效率。通过对前后记录的数据进行分析计算,可以得出在每次调节后对应的清洗效率
  • 干冰清洗效率检测方法
  • [发明专利]清洗机台清洗效率的测试方法-CN201510988275.5在审
  • 秦海燕;李儒兴;程君 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2015-12-24 - 2016-04-13 - G01M99/00
  • 一种清洗机台清洗效率的测试方法,用于测试清洗机台是否适合于对半导体结构中的多晶硅结构进行清洗,所述清洗机台清洗效率的测试方法包括:提供晶圆;在晶圆表面形成多晶硅层,多晶硅层具有初始厚度;对多晶硅层进行平坦化处理;在平坦化处理后,在待测试的清洗机台中,对多晶硅层进行清洗处理;在清洗处理后,对多晶硅层进行刻蚀处理;测试刻蚀处理前后多晶硅层的厚度差异;根据多晶硅的厚度差异,判断清洗机台是否适合于对半导体结构中的多晶硅结构进行清洗所述测试方法能够及时有效测试出清洗机台的清洗情况是否正常,从而消除相应清洗机台出现清洗异常时,对后续刻蚀处理过程产生的不利影响。
  • 清洗机台效率测试方法
  • [实用新型]清洗效率高的表盖清洗-CN202221332090.0有效
  • 何爱明;刘观石 - 东莞塘厦泰兴表业制造有限公司
  • 2022-05-31 - 2022-09-20 - B08B3/12
  • 本申请属于零部件清洗技术领域,涉及清洗效率高的表盖清洗机,包括超声波清洗装置主体,所述超声波清洗装置主体的上端部固定连接有连接架,所述连接架的内侧与外侧固定安装有驱动组件,所述驱动组件的内侧固定安装有转动组件该清洗效率高的表盖清洗机,通过电动推杆和顶块顶起放置架后,即可放置表盖至放置架内,而降下的放置架会带动限位杆对滑动块和连接弹簧造成挤压,而启动的电机则可通过转杆带动转盘转动,来反复挤压顶起挤压块,从而带动放置架抖动,即可带动位于放置架内的表盖抖动,使表盖能被连接架内的清洗清洗更为彻底,来提高清洗效率
  • 清洗效率
  • [实用新型]效率蔬菜清洗装置-CN202023015836.9有效
  • 彭德强 - 丰宁昌达农业开发有限公司
  • 2020-12-14 - 2021-07-27 - A23N12/02
  • 本实用新型公开了高效率蔬菜清洗装置,包括清洗仓,所述清洗仓的一端嵌入安装有控制开关,所述清洗仓的另一端贯穿安装有进水管,所述清洗仓的一端对应进水管一侧位置处贯穿安装有排水管,所述清洗仓的内部放置有清洗斗,所述清洗仓的底端内壁安装有污泥传导块,本实用新型结构科学合理,使用安全方便,通过设置的污泥清理收集机构,可将污泥传导块顶端的污泥从排放槽输送至收集仓内,便于蔬菜清洗过程中污泥的快速收集和清理,减少该蔬菜清洗装置使用后清洗所需的时间,通过设置的振荡清洗机构,可带动清洗斗顺着振荡导轨往复移动,能够对蔬菜进行横向往复移动,便于对蔬菜清洗时进行振荡,提高了蔬菜清洗的洁净程度和效率
  • 高效率蔬菜清洗装置
  • [发明专利]提高清洗效率与质量的化工清洗装置-CN201711038913.2在审
  • 蔡利平;王燕军;谭问非;苏保宁;罗继忠 - 四川爱尔西科技有限公司
  • 2017-10-30 - 2018-01-26 - B08B9/34
  • 本发明公开了提高清洗效率与质量的化工清洗装置,包括竖直设置的清洗圆筒,所述清洗圆筒的上端开口,清洗圆筒外上下两端设有同轴的固定环,固定环通过滑动杆清洗圆筒的外壁连接,两个固定环之间设有竖直刷杆,刷杆上设有刷毛;清洗圆筒的开口处设有压塞板,压塞板的上方连有压杆,压杆通过驱动机构推动压塞板沿着清洗圆筒的内壁向下运动,清洗圆筒的侧壁上设有喷水管,压塞板上连有入水管。本发明的清洗器,代替人进入反应釜对反应釜的内壁进行刷洗,通过水喷出的冲力以及刷毛,可以全面的清洗到反应釜周向的各个部位,结构简单而且实用性强,可以轻松实现对庞大的反应釜的清洗,提高了清洗效率,降低了人工劳动强度并提高了安全性
  • 提高清洗效率质量化工装置
  • [发明专利]效率的硅片清洗水槽和清洗方法-CN201010128853.5有效
  • 张晨骋 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2010-03-19 - 2010-07-21 - B08B3/10
  • 本发明提供高效率的硅片清洗水槽,通过将水槽上部和水槽下部集成到一起,并设置一个可升降板,可升降板和水槽上部的侧壁可形成独立水槽,水槽上部的深度大于硅片半径的3倍,水槽上部设有纯水进水管和防漏槽,防漏槽上设有排水管,水槽下部的深度大于硅片半径的3倍,水槽下部设有药液进液口和药液排液口,在水槽下部还设有排气管从而大大减少了清洗水槽的占地面积;本发明还提供利用清洗水槽的硅片清洗方法,通过可升降板在水槽下部、以及水槽上部与水槽下部的连接处运动,完成药液清洗和纯水清洗,能够方便快捷的清洗硅片。
  • 高效率硅片清洗水槽方法

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