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[实用新型]一种硅片清洗设备-CN202223378262.0有效
发明人：赵占起;杨应得;吴川;杨文波;常宜龙 -专利权人：中凯达建设工程（上海）有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片清洗领域，尤其涉及一种硅片清洗设备。所述硅片清洗设备包括超声波清洗机和驱动组件；所述驱动组件通过电动推杆设置在超声波清洗机内部，所述驱动组件包括支撑框，所述支撑框顶部的四角均设有电机，每个所述电机的顶部均设有转动盘，每个所述转动盘的顶部均设有凸条本实用新型提供的硅片清洗设备，通过驱动组件的工作，即可带动内部的连接环进行转动和上下往复移动，连接环即可顺利通过内部的放置框带动所需清洗的硅片进行转动和往复移动，改变硅片与卡框之间的接触位置，因此降低清洗时硅片出现死角的现象，可使硅片后期的清洗更加全面。
一种硅片清洗设备

[实用新型]一种半导体生产用清洗装置-CN201921160691.6有效
发明人：沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体生产用清洗装置，包括硅片清洗机本体，所述硅片清洗机本体的底部固定连接有底座，所述底座底部两侧的前侧和后侧均开设有动力槽，所述动力槽内壁的外侧固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有正反牙螺杆本实用新型通过设置硅片清洗机本体、底座、动力槽、电机、正反牙螺杆、螺套、第一连接柱、连接杆、固定板、第二连接柱、支撑板和滑轮的配合使用，解决了现有的清洗装置体积较大，太过笨重，在需要调整位置时需多人合作才能抬起，从而造成清洗装置灵活性太差的问题，该半导体生产用清洗装置，具备便于移动的优点，便于使用者的使用，提高了清洗装置的实用性。
一种半导体生产清洗装置

[实用新型]一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置-CN202122720341.4有效
发明人：薛佳勇;薛佳伟;王海军 -专利权人：天津众晶半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F16P3/14 文献下载
摘要：一种单晶硅片全自动清洗机的开门安全保护装置，该单晶硅片全自动清洗机前方安装有防护门，本开门安全保护装置包括PLC模块单元、一组交流接触器、空气开关和安装在防护门上的闭合接近开关，所述的闭合接近开关与PLC保证在有人进入时，单晶硅片全自动清洗机自动停止工作，起到对操作不当或误入人员有效的保护作用。
一种单晶硅全自动清洗开门安全保护装置

[实用新型]一种硅片清洗装置-CN202020663188.9有效
发明人：嵇峰 -专利权人：江苏晶科天晟能源有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片制造领域的一种硅片清洗装置，所述清洗装置本体由若干组独立的清洗机构及配合清洗机构设置的烘干机构组成，若干组独立的清洗机构自进料口处到出料口依次按顺序排布设置，所述烘干机构设置在最后一道清洗机构的前一道工序；所述清洗装置本体还配合设置有操作面板，所述清洗装置本体的四周及操作平台上还配合设置有防护栏，所述清洗机构和烘干机构上还设置有运输装置；该实用新型提供一种硅片清洗装置，对硅片实行多级分段式清洗，彻底清洗硅片表面的杂质，提高硅片使用效率；避免在清洗过程中产生的不必要的损坏，降低不良率，减少成本。
一种硅片清洗装置

[实用新型]一种超声波太阳能硅片清洗机-CN201420550051.7有效
发明人：申炳荣 -专利权人：浙江昊能光电有限公司
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超声波太阳能硅片清洗机，属于硅片清洗技术领域。它解决了现有的清洗机的平移支架较庞大，占用空间，耗能的问题。本超声波太阳能硅片清洗机包括机架和用于放置硅片的吊篮，机架上设有若干个呈一条直线排列的水槽，机架上还设有与水槽排列方向平行的导柱和齿条，导柱上套有沿着导柱滑动的滑座，滑座上端面垂直固连有立柱，立柱上开有竖直的滑槽
一种超声波太阳能硅片清洗

[实用新型]一种两槽手动清洗机片盒挂件-CN201520191609.1有效
发明人：胡晓亮;赵文龙;高烨;崔小换 -专利权人：麦斯克电子材料有限公司
申请日： 2015-04-01 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：一种两槽手动清洗机片盒挂件，适用于单晶硅清洗机在清洗单晶硅片时将装有硅片的片盒在两个槽体间移动。本实用新型采取在侧挡板（1）顶部增加手柄（2）的设计方便现场搬运，在两块侧挡板（1）之间的中间位置及靠近侧挡板（1）内侧位置上焊有四根固定横梁（5），并在固定横梁（5）上分别开有与硅片片盒宽度尺寸相同的4英寸硅片卡槽（6）、5英寸硅片卡槽（7）的技术方案，通过可移动挡板（4）完成不同规格尺寸的硅片清洗过程，不需要频繁更换不同规格尺寸的片盒挂件。本实用新型所用组件数量少，加工工艺简单，安装操做方便，有效解决了因清洗的硅片规格尺寸不同而频繁更换片盒挂件问题。
一种手动清洗机片盒挂件

[发明专利]干湿一体机及生产线-CN201710204558.5有效
发明人：上官泉元;谭兴波;杨虎 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本发明的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术在此基础上，本发明还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。
干湿一体机生产线

[实用新型]干湿一体机及生产线-CN201720329247.7有效
发明人：上官泉元;谭兴波;杨虎 -专利权人：常州比太科技有限公司
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本实用新型的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术在此基础上，本实用新型还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。
干湿一体机生产线

[发明专利]全自动硅片清洗机-CN201711242776.4有效
发明人：轩云喜 -专利权人：北京南轩兴达电子科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动硅片清洗机，其技术方案要点是：包括架体，架体内清洗层，清洗层内设有固定架，固定架内设有若干个清洗槽，清洗槽内设有摆放硅片的承接架，固定架上设有带动承接架摆动的驱动机构。本发明的优点是可以让硅片与清洗液充分接触碰撞摩擦，提高硅片的清洗效果。
全自动硅片清洗

[实用新型]一种超声波硅片清洗机-CN202320448324.6有效
发明人：姜李斌;许晓辉;孙文兵 -专利权人：浙江艾科半导体设备有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声波硅片清洗机，包括清洗机体，所述清洗机体顶端的一侧开设有清洗槽，所述清洗槽的底部固定安装有震动面钢板，所述清洗槽槽底等距固定安装有多个超声波换能器，所述超声波换能器的顶端与震动面钢板底端接触连接，所述清洗槽内壁两侧均开设有滑槽，两个所述滑槽的内部均滑动连接有滑块。本实用新型通过安装的伺服电机带动梯形丝杆的转动，通过梯形丝杆的转动带动滑块的升降，通过滑块的移动带动金属滤网的升降，通过金属滤网的升降，便于对清洗后的硅片提出，方便清洗后的硅片滤水和硅片的提拿，通过安装的水循环机构，水循环机构便于实现对清洗槽内部的清洗水内循环处理，确保了超声波硅片的清晰效果。
一种超声波硅片清洗

[发明专利]一种半导体硅片清洗机双头清洗枪-CN201610145371.8在审
发明人：李赵和 -专利权人：李赵和
申请日： 2016-03-15 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体硅片清洗机双头清洗枪，包含一固定底座，在所述的固定底座上设有一加压缸，在所述的加压缸上设有一第一喷射口和一第二喷射口，在所述的第一喷射口和第二喷射口上设有一控制压片，所述的第一喷射口为线形喷射口由于本发明的半导体硅片清洗机双头清洗枪在本体上设置了一个固定底座，在这个固定底座上设置了一个加压缸，加压缸上设置了两个喷射口，一个喷射口为直线喷射口，另外一个喷射口为雾化喷射口，两个喷射口相互配合，从而大大提高了半导体硅片清洗机双头清洗枪的清洗效率
一种半导体硅片清洗机双头

[实用新型]全自动硅片清洗机的换药结构-CN201921198646.X有效
发明人：冯艳林;冯艳红 -专利权人：天津创昱达光伏科技有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，公开了一种全自动硅片清洗机的换药结构，针对现有的硅片清洗效率低和效果差的问题，现提出如下方案，其包括底板，所述底板的顶部安装有支撑柱，支撑柱的顶部安装有横板，所述横板上安装有气缸，气缸的活塞杆连接有升降板，升降板位于横板的下方，所述升降板的底部滑动安装有移动板，移动板的底部连接有两个连杆，两个连杆的底部之间安装有清洗花篮，所述底板的顶部转动安装有转板，所述转板的顶部安装有两个清洗箱本实用新型实现硅片清洗机的换药，交替使用，节省等待时间，提高清洗效率，通过清洗时摆动硅片，提高清洗质量，易于推广。
升降板底板顶部安装横板清洗本实用新型硅片清洗机移动板支撑柱换药气缸转板活塞杆连接底部连接硅片加工硅片清洗滑动安装交替使用清洗效率转动安装清洗箱组装板摆动硅片花篮

[实用新型]一种太阳能电池组件用自动给片装置-CN201220026255.1有效
发明人：冯文宏;朱国新 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种太阳能电池组件用自动给片装置，用于辅助清洗机对电池硅片的清洗，包括：能够带动所述电池硅片移动并与所述清洗机配合设置的传送带(1)；设置在所述传送带(1)顶端且具有硅片出口(7)的硅片载料框本实施例提供的太阳能电池组件用自动给片装置中，用机械部件代替了人工操作，不仅节省了劳动力还使得电池硅片的摆放更加精准，大大提高了生产效率，同时也降低了因人工失误而造成碎片的几率，降低了生产成本，增加了经济效益
一种太阳能电池组件自动装置

[实用新型]一种废水回收系统-CN201220520470.7有效
发明人：崔盼;高世超 -专利权人：蠡县英利新能源有限公司
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： E03F1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废水回收系统，包括水槽，该水槽通过第一隔板分为过滤槽和抽水槽；其中，过滤槽与硅片清洁机的排水口连通，抽水槽通过设置于其内的抽水系统与预清洗水槽连通。由于在清洗过程中通过溢流来保持水的洁净程度，清洗机的进水口一直处于打开状态，因此废水经由排水口不断流入水槽的过滤槽内。废水在过滤槽过滤沉淀后水位达到第一隔板高度时，相对清洁的水由第一隔板流入抽水槽，再经由抽水槽内的抽水系统将过滤后的水抽入硅片预清洗槽内待喷淋使用。该废水回收系统，将清洗机所排的废水全部利用，抽入预清洗槽内进行粗略喷淋使用，并且因为由清洗机排出的废水水温适中，预清洗硅片时无需再次加热，从而实现了节能减排的目的。
一种废水回收系统

[发明专利]制备薄片化单晶硅片减投清洗剂的加药装置-CN202210938828.6有效
发明人：冯震坤;章祥静 -专利权人：无锡京运通科技有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明公开了制备薄片化单晶硅片减投清洗剂的加药装置，具体涉及硅片制备领域，包括主体机构，主体机构的一侧设有第一清洗机构，第一清洗机构的顶部固定安装有用于调节其高度的调节机构，第一清洗机构的顶部固定安装有用于固定硅片的硅片限位机构，第一清洗机构的顶部设有用于清洗硅片表面的第二清洗机构，主体机构包括混合仓，混合仓的顶部连通设有多个加药管，混合仓的底部固定安装有支撑架，混合仓的一侧连通设有流通管。本发明通过在添加药物时，使药物在单独硅片的表面进行均匀分散，而加快对单独硅片表面的均匀反应，更便于对硅片表面杂质的消除，同时避免杂质混入清洁池，从而提升对清洁剂的重复利用率，减少成本。
制备薄片单晶硅片减投清洗剂装置