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- [发明专利]大尺寸硅片统一精准切割设备及方法-CN202210938795.5有效
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冯震坤;章祥静
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无锡荣能半导体材料有限公司
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2022-08-05
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2023-07-11
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B28D5/04
- 本发明公开了大尺寸硅片统一精准切割设备及方法,包括防护外壳,防护外壳的顶部固定连接有轴箱,轴箱的内部转动连接有收放辊,收放辊的外壁设有导电切割线,收放辊的一侧固定连接有外接转辊,外接转辊的外壁固定连接有第一传动齿轮,第一传动齿轮的底部啮合有活动齿条,防护外壳的底部固定安装有支撑架,活动齿条滑动连接在支撑架的顶部,活动齿条的一侧固定连接有对应型挤压块。本发明通过设置了对应型挤压块和限位夹板,硅片切割时收放辊使外接转辊转动,外接转辊通过第一传动齿轮使活动齿条移动,最终使限位夹板对导电切割线固定,解决了硅片切割时导电切割线会发生晃动影响切割精度以及如何筛选大尺寸硅片被切割后是否变形的问题。
- 尺寸硅片统一精准切割设备方法
- [实用新型]一种切割浆液用离子交换罐-CN202222536071.6有效
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章祥静;陈滔
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无锡京运通科技有限公司
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2022-09-22
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2023-05-09
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B08B9/087
- 本实用新型公开了一种切割浆液用离子交换罐,包括罐体,所述罐体内设有第一刮除机构和第二刮除机构,所述罐体内活动连接有第二连接轴,第二连接轴的外侧固定连接有第三锥齿轮,且第二连接轴通过第三锥齿轮带动第一刮除机构和第二刮除机构转动,所述罐体的外侧固定连接有支撑板,支撑板的上表面固定连接有电机,且电机输出轴穿过罐体与第二连接轴相固定。本实用新型不仅能够对离子交换罐的内壁进行刮除清理,从而使离子交换罐清洗的更加干净,提高了离子交换罐的清洗效果,而且能够对离子交换罐内的水进行搅动,从而能够更好的对离子交换罐进行清洗,进一步提高了离子交换罐的清洗效果,还能够提高离子交换罐放置的稳定性。
- 一种切割浆液离子交换
- [实用新型]一种硅片清洗用风机-CN202222427905.X有效
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章祥静;黄新普
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无锡荣能半导体材料有限公司
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2022-09-14
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2023-01-03
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F04D25/08
- 本实用新型公开了一种硅片清洗用风机,包括主筒体,所述主筒体的外壁固定套设有支撑板,支撑板的顶部固定连接有处理器,支撑板的底部固定连接有红外测距仪,支撑板的底部固定连接有底条,底条的一侧固定连接有红外感应器,所述主筒体的圆周内壁固定连接有支撑架,支撑架的顶部固定连接有电机,电机的输出端固定连接有扇叶,所述主筒体的底端固定连接有扩口罩,扩口罩的圆周内壁固定连接有多个三角截面板,多个三角截面板的另一端固定连接有锥形块,所述主筒体的顶端固定连接有固定筒。本实用新型能够控制电机转动的频率,从而控制风力的大小,进而根据不同薄厚的硅片对风机的风力进行调整。
- 一种硅片清洗风机
- [实用新型]一种清洗机水位传感装置-CN202222428376.5有效
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章祥静;茆春生
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无锡京运通科技有限公司
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2022-09-14
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2023-01-03
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B08B3/14
- 本实用新型公开了一种清洗机水位传感装置,包括支撑板,所述支撑板一侧的顶部固定连接有气缸,气缸的活塞杆一端固定连接有壳体,壳体在支撑板上滑动,壳体内固定连接有电机,电机的输出端固定连接有U形管,U形管的一端固定连接有多个弧形波浪管,弧形波浪管外壁设有多个出料孔,所述U形管的外壁固定连接有吸水管,吸水管的顶端插接有连接管,吸水管的一侧设有电磁阀,所述支撑板的一侧固定连接有两个安装杆,所述支撑板的一侧固定连接有处理器,所述支撑板一侧的底部设有两个卡孔。本实用新型能够将除杂剂从出料孔均匀地洒在更换的清洗液中,从而对更换的清洗液进行除杂,以便更换后清洗液的接着使用。
- 一种清洗水位传感装置
- [实用新型]一种硅片切割张力控制机构-CN202222515846.1有效
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章祥静;王伟
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无锡荣能半导体材料有限公司
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2022-09-22
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2023-01-03
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B28D5/04
- 本实用新型公开了一种硅片切割张力控制机构,包括切割机组件外壳和金刚石切割线,所述切割机组件外壳的底部外壁固定连接有防护罩,防护罩的两侧之间转动插接有螺纹杆,切割机组件外壳的底部外壁固定连接有第一电机,第一电机的输出端与螺纹杆的一端固定连接,螺纹杆的外壁螺纹套设有螺纹套,螺纹套的底部固定连接有连接支架,连接支架的一侧转动连接有第一浮轮,金刚石切割线与第一浮轮绕接,所述切割机组件外壳的一侧外壁滑动连接有调节板。本实用新型能够调节金刚石切割线切割的张紧度,进而使得切割线的张力更均匀,还能够随着金刚石切割线的减少调节其的张紧度,从而更好的对硅片进行切割。
- 一种硅片切割张力控制机构
- [发明专利]一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构-CN202210099423.8有效
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冯震坤;章祥静
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无锡荣能半导体材料有限公司
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2022-01-26
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2022-12-13
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C30B33/00
- 本发明涉及单晶硅片清洗技术领域,具体的说是一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构,包括清洗池,所述清洗池上安装有用于排放清洗剂的排水管,所述调节机构上安装有对放置机构进行抖动的摇摆机构,所述清洗池上安装有与摇摆机构抵触的驱动机构;将装有单晶硅片的收纳盒放置到放置机构的内部,将配重结构滑动到单晶硅片的一侧,实现了调节机构类似跷跷板倾斜,此时单晶硅片浸入到清洗池的内部,实现了对单晶硅片的清洗,清洗完成后可以将配重的结构移动另一个放置机构一侧,实现了清洗池内部的放置机构移出清洗池,将未清洗的单晶硅片放置到配重结构一侧的放置机构上,那么清洗过的单晶硅片得到晾晒的时间,避免了清洗液滴落污染台面。
- 一种磨损单晶硅清洗脱胶机构
- [发明专利]用于单晶硅生产的插片机用阻挡结构-CN202210120845.9有效
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冯震坤;章祥静
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无锡京运通科技有限公司
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2022-02-09
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2022-12-13
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B65G57/32
- 本发明涉及单晶硅生产技术领域,具体的说是用于单晶硅生产的插片机用阻挡结构,包括收纳盒,所述收纳盒的内壁开设有多组用于放置单晶硅片的放置槽,所述收纳盒上安装有码垛机构,侧壁开口的所述收纳盒上相对安装有两组阻挡机构,两组所述阻挡机构上均安装有限位机构,两组所述阻挡机构上均安装有与限位机构连接的驱动机构,两组所述阻挡机构上均安装有多组与放置槽对应的防护机构;两个阻挡机构的内壁均设有防护机构,在单晶硅片下料的时候可以对单晶硅片进行缓冲,避免单晶硅片在下料的时候与收纳盒发生破桩造成破碎,利于生产单晶硅片;单晶硅片下料后可以将收纳盒通过码垛机构码垛在一起,使多个收纳盒放置的更加紧凑,减小占地面积。
- 用于单晶硅生产插片机用阻挡结构
- [实用新型]一种用于硅片清洗的分片输送机构-CN202222188874.7有效
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章祥静;周裕吉
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无锡京运通科技有限公司
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2022-08-19
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2022-12-13
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B65G59/04
- 本实用新型公开了一种用于硅片清洗的分片输送机构,包括输送台,所述输送台的一端固定连接有支撑板,支撑板的底部固定连接有第一电机,第一电机的输出端穿过支撑板固定连接有第一螺杆,第一螺杆的顶端螺纹套设有套筒,套筒的顶部固定连接有放置板,所述支撑板的顶部固定连接有两个伸缩杆,伸缩杆的顶端与放置板固定连接,所述输送台的一侧固定连接有侧板,侧板的一侧滑动连接有滑板,滑板的底部固定连接有吸盘,滑板的顶部固定连接有抽吸泵。本实用新型通过在抽吸泵的作用下使得硅片吸在吸盘上,然后,在第二电机的带动下使得滑板进行移动,从而将硅片移动到输送台的上方,从而对硅片进行分片,且效率高。
- 一种用于硅片清洗分片输送机构
- [实用新型]一种硅片插片用压片除水机构-CN202222123536.5有效
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章祥静;代正华
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无锡京运通科技有限公司
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2022-08-12
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2022-12-13
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种硅片插片用压片除水机构,包括底座和两个输送带,所述底座顶部的两侧均固定连接有侧板,侧板的顶部固定连接有固定块,两个固定块之间固定连接有固定板,所述固定板的底部固定连接有多个第一支撑块,两个第一支撑块之间转动连接有支撑辊,所述底座的顶部设有安装口,安装口的底部内壁固定连接有第一电机,第一电机的输出端键连接有螺杆,螺杆的外壁螺纹套设有U形架。本实用新型通过在第一电机的带动下使得U形架向上移动,进而带动顶杆向上移动与硅片的底部接触,同时通过支撑辊与硅片的顶部接触,从而对硅片进行固定,避免硅片在吹风的过程中将硅片吹歪,以免影响后续硅片的运输和插片。
- 一种硅片插片用压片机构
- [实用新型]一种薄片化硅片清洗装置-CN202222402395.0有效
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章祥静;王伟
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无锡荣能半导体材料有限公司
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2022-09-09
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2022-12-06
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B08B3/12
- 本实用新型公开了一种薄片化硅片清洗装置,包括底座,底座的上表面固定连接有顶罩,所述底座的上表面固定连接有多个气缸,多个气缸的输出端固定连接有同一个垫板,且垫板的上表面放置有超声波清洗槽、超声碱洗槽、超声漂洗槽、双氧水槽、纯水超声溢流漂洗槽、慢提拉脱水槽、热风烘干槽和冷风槽,且超声碱洗槽有三个,纯水超声溢流漂洗槽有四个,热风烘干槽有两个。本实用新型中各槽体之间呈点状分布的设计可以将薄片化硅片进行超声清洗、超声碱洗、双氧水清洗、慢提拉脱水等及烘干、冷却等工序,避免薄片化硅片在清洗过程中进行转运,减少了薄片化硅片的清洗时间,提升了薄片化硅片的加工效率,保障薄片化硅片的加工应用。
- 一种薄片硅片清洗装置
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