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[发明专利]依靠激光结晶设施的Mura量化系统与依靠激光结晶设施的Mura量化方法-CN201610404682.1在审
发明人：苏二彬;赵珉煐;赵相熙;金贤中;金成桓 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及Mura量化系统与方法，即，依靠包括激光结晶装置的激光结晶设施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中使得通过激光结晶装置使基板结晶并且当移动结晶基板时实时量化Mura；以及依靠激光结晶设施的
依靠激光结晶设施 mura 量化系统方法

[发明专利]通过激光结晶设施实施的Mura量化系统以及Mura量化方法-CN201610371257.7有效
发明人：朴宪旭;赵相熙;苏二彬;金贤中;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及Mura量化系统与方法，即，通过包括激光结晶装置的激光结晶设施实施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中，使得基板通过激光结晶装置结晶，并且当结晶基板移动时利用紫外线源实时进行Mura量化，以及通过激光结晶设施的Mura量化方法。
通过激光结晶设施实施 mura 量化系统以及方法

[发明专利]一种结晶动力学实验装置-CN202010062804.X在审
发明人：贺三;王帅达;邹永莉;徐兆立;张小卓;张伊恒;刘阳 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2020-01-19 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种结晶动力学实验装置，包括结晶系统、激光测量系统和控温系统，结晶系统包括结晶器、搅拌器和温度计，结晶器为玻璃夹套式结晶器；控温系统为硅油循环加热系统，其出入口均与结晶器的夹套连通，激光测试系统包括激光发射器、激光接收器和数字激光功率计。本发明结晶器的夹套设置了多个入口，将其出口设置于底部，夹套内设置折流板，使得流体流动更加均匀，流体湍动程度强，加热更加均匀，同时增加升降装置，可以改变结晶器与激光测量系统的相对位置，使得激光测量系统可以测量结晶器中不同部位
一种结晶动力学实验装置

[实用新型]一种监测结晶过程的监测装置以及带有该监测装置的结晶设备-CN200920249938.1无效
发明人：陈振良;赵文杰;那可;许炜;顾敏;魏晓东;曹柏荣;郁海华 -专利权人：上海医药工业研究院
申请日： 2009-10-19 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于监测结晶体系结晶过程的监测装置，所述监测装置可以安装在可容纳结晶体系的圆柱形容器的外侧，该监测装置包括一激光发射器、与该激光发射器成一定角度设置的能分别监测结晶体系不同结晶阶段的至少两个激光接收器、以及能分别计算接收器激光强度的计算单元，所述激光发射器与激光接收器设置在圆柱形容器外的同一径向横截面上。本实用新型的结晶装置可以对结晶起始阶段、结晶中间阶段以及结晶后半程体系的浊度变化进行动态监控。
一种监测结晶过程装置以及带有设备

[实用新型]一种结晶动力学实验装置-CN202020071744.3有效
发明人：贺三;王帅达;邹永莉;徐兆立;张小卓;张伊恒;刘阳 -专利权人：西南石油大学
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G01N25/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种结晶动力学实验装置，包括结晶系统、激光测量系统和控温系统，结晶系统包括结晶器、搅拌器和温度计，结晶器为玻璃夹套式结晶器；控温系统为硅油循环加热系统，其出入口均与结晶器的夹套连通，激光测试系统包括激光发射器、激光接收器和数字激光功率计。本实用新型结晶器的夹套入口有多个且位于夹套周侧面上，其出口设置于底部，夹套内设置折流板，使得流体流动更加均匀，流体湍动程度强，加热更加均匀，提高实验的准确性。
一种结晶动力学实验装置

[发明专利]单结晶基板制造方法及内部改质层形成单结晶部件-CN201180067352.3有效
发明人：国司洋介;铃木秀树;松尾利香;池野顺一 -专利权人：信越聚合物株式会社;国立大学法人埼玉大学
申请日： 2011-02-10 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够容易地制造比较大且较薄的单结晶基板的单结晶基板制造方法及内部改质层形成单结晶部件。单结晶基板制造方法具有下述工序：在单结晶部件（10）上非接触地配置激光聚光单元的工序；向上述单结晶部件（10）的表面（10t）照射激光（B），在单结晶部件（10）内部对激光（B）进行聚光的工序；使激光聚光单元与单结晶部件（10）相对移动，在单结晶部件（10）内部形成平面状的改质层（12）的工序；以及通过将由改质层（12）分隔的单结晶层（10u）从单结晶层（10u）与改质层（12）的界面剥离，形成单结晶基板（10s）的工序
结晶制造方法内部改质层形成部件

[实用新型]一种硫酸铵介稳区测量装置-CN202022725321.1有效
发明人：李锐;姜永华;解天华;张燕焕;姚旭;黄帮福;李露;代蒙;汪德富;杨征宇;文桢晶;李婉君 -专利权人：云南天朗节能环保集团有限公司;昆明理工大学
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B01D9/02 文献下载
摘要：该装置包括功率接收器、搅拌装置、结晶器、恒温装置、氦氖激光发射器和温度监测装置，结晶器包括中心的结晶腔和外侧的恒温腔，硫酸铵装设在结晶腔内，恒温装置的液体介质管路与结晶器的恒温腔连通，氦氖激光发射器和功率接收器分别设置在结晶器的相对两侧，氦氖激光发射器和功率接收器位于同一水平线上，氦氖激光发射器发射的激光经过结晶器后照射至功率接收器上，温度监测装置设置在结晶器的顶端且温度监测装置的探头插设在结晶器结晶腔的硫酸铵溶液内。本实用新型利用激光法原理的硫酸铵介稳区测量装置可精确测量硫酸铵在不同溶液中的介稳区。
一种硫酸铵介稳区测量装置

[实用新型]一种改进的激光法监测维生素B₁₂结晶过程的实验装置-CN200820074697.7无效
发明人：梁宝臣;陈慧;杨俊杰;邵宝利;宋子兰 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2008-05-09 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： G01N21/51 文献下载
摘要：一种改进的激光法监测维生素B₁₂结晶过程的实验装置。包括结晶瓶，激光发生装置，激光接收记录装置及恒温水槽，结晶瓶是带有双层玻璃夹套层的瓶体，在激光光路通过处的相对一侧的双层玻璃夹套层瓶体上、局部去除部分夹套层形成一对使激光光束能够直接通过内瓶而不再穿过恒温水夹层的激光通路窗口这样，就彻底消除了现有结晶瓶夹层恒温水中存在的颗粒杂质、水锈、水垢等对光信号的干扰，提高了实验数据的精度。本新型仅局部去除恒温水夹层结构，由于去除部分占整个恒温水夹层的比例很小，恒温水的循环不受影响，故不会影响结晶瓶的恒温效果。该结晶瓶结构简单，制作较容易。所述结晶瓶，可用于监测结晶过程，尤其是用于监测维生素B₁₂的结晶过程。
一种改进激光监测维生素 sub 12 结晶过程实验装置

[发明专利]激光结晶设备和激光结晶方法-CN200710101149.9无效
发明人：佐佐木伸夫;宇塚达也 -专利权人：夏普株式会社;株式会社日本激光
申请日： 2004-12-03 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种即便在使用CW激光时也能实现高生产量的激光结晶设备和激光结晶方法。所述激光结晶设备包含支承上面形成有半导体层的衬底的可移动试样台、以时分方式使激光束导向多个光路的器件，以及向试样台支承的衬底上的半导体层聚光并应用通过光路的激光束的光学器件。使用激光束在一个方向上扫描半导体层的第一个区域，并且使用激光束在相反方向上扫描半导体层的第二个区域。
激光结晶设备方法

[发明专利]激光结晶设备及激光结晶方法-CN200510078817.1无效
发明人：高见芳夫 -专利权人：株式会社液晶先端技术开发中心
申请日： 2005-03-11 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光结晶设备(1)，其能够以几μm的高空间分辨率和几纳秒的高瞬时分辨率进行观察，该设备包括用于将激光照射到设置在衬底(26)上的薄膜并熔化和结晶该薄膜的结晶光学系统(2)，所述激光结晶设备(1)包括：照明光源(31)，设置在激光的光学路径之外并发射照亮所述薄膜以便进行观察的照明光；照明光学系统(3)，包括环形光学元件(3A)，环形光学元件(3A)具有位于中心处的激光的光学路径，并将照明光沿所述光学路径从照明光源
激光结晶设备方法

[发明专利]激光结晶设备和激光结晶方法-CN200410098348.5无效
发明人：佐佐木伸夫;宇塚达也 -专利权人：富士通株式会社;株式会社日本激光
申请日： 2004-12-03 - 公布日： 2005-06-08 - 主分类号： H01L21/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种即便在使用CW激光时也能实现高生产量的激光结晶设备和激光结晶方法。所述激光结晶设备包含支承上面形成有半导体层的衬底的可移动试样台、以时分方式使激光束导向多个光路的器件，以及向试样台支承的衬底上的半导体层聚光并应用通过光路的激光束的光学器件。使用激光束在一个方向上扫描半导体层的第一个区域，并且使用激光束在相反方向上扫描半导体层的第二个区域。
激光结晶设备方法

[发明专利]激光结晶装置和结晶方法-CN200610064101.0无效
发明人：高见芳夫;田口龙大 -专利权人：株式会社液晶先端技术开发中心;株式会社岛津制作所
申请日： 2006-12-15 - 公布日： 2007-06-20 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：提供一种具有高产量的激光结晶装置和结晶方法。具有预定光强度分布的激光照射至半导体膜上以熔化和结晶，其中以高定位精度非常快地定位照射位置，由此形成具有大晶粒尺寸的半导体膜。根据本发明的一个方面的激光结晶装置包括结晶激光光源(21)、调制激光以提供预定的光强度分布的移相器(24)，设置在基板(30)上的标记(35)，沿预定方向移动的基板固定台(40)，测量标记(35)通过预定位置的时间的标记测量装置(60)，以及根据该测量时间产生指示照射激光的触发信号的信号产生装置(70)。
激光结晶装置方法

[发明专利]激光结晶装置、激光结晶方法及制造显示装置的方法-CN202211252973.5在审
发明人：李童敏;金长玄;苏炳洙;郑在佑;陈东奎 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C30B28/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种激光结晶装置、一种激光结晶方法和一种制造显示装置的方法。所述激光结晶装置包括：第一固态激光产生器，产生具有第一能量强度的第一固态激光；第二固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第二能量强度的第二固态激光；以及第三固态激光产生器，产生具有低于所述第一能量强度的第三能量强度的第三固态激光
激光结晶装置方法制造显示装置

[发明专利]结晶设备、结晶方法及制造有机发光显示装置的方法-CN201110344773.8有效
发明人：朴喆镐 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2011-11-04 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种结晶设备、结晶方法及制造有机发光显示装置的方法。所述结晶设备使用连续横向固化(SLS)并使形成在基板上的非晶硅层结晶，所述结晶设备包括激光产生装置、第一光学系统、第二光学系统以及路径切换构件。所述激光产生装置被配置为发射激光束。所述第一光学系统被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上。所述第二光学系统与所述第一光学系统平行，并且被配置为处理从所述激光产生装置发射的激光束并将处理后的激光束照射到所述基板上。所述路径切换构件被配置为切换从所述激光产生装置发射的激光束的路径并将所述激光束交替分配到所述第一光学系统和所述第二光学系统。
结晶设备方法制造有机发光显示装置

[发明专利]用激光处理半导体器件的方法-CN95119630.8无效
发明人：香西孝真;张宏勇;宫永昭治 -专利权人：株式会社半导体能源研究所;夏普公司
申请日： 1995-11-17 - 公布日： 2004-03-24 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：用激光处理半导体器件的方法。进行两步独立的激光结晶步骤。先在真空中用稍弱激光进行激光辐照，然后在真空中，在大气或氧气气氛下用较强激光进行另一激光辐照步骤，在真空中所进行的第一步激光辐照不能导至满意的结晶。然而，该辐照能抑制皱脊的产生。在真空，大气或氧气环境中的第二步激光辐照获得满意的结晶，而且不产生皱脊。
激光处理半导体器件方法

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