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[发明专利]光学元件及光拾取装置-CN200780045496.2有效
发明人：多田一成;小川洋一;虫明信雄;西和幸 -专利权人：柯尼卡美能达精密光学株式会社
申请日： 2007-11-26 - 公布日： 2009-10-07 - 主分类号： G02B5/30 文献下载
摘要：在物镜(OL)产生双折射，会引起来自物镜(OL)的射出光产生波像差。而且，在该产生的波像差的像散分量为10mλrms以上时，镀膜物镜(COL)具有使其像散分量降低至5mλrms以下的多层介质膜(MLR)。
光学元件拾取装置

[发明专利]基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法-CN201410360070.8有效
发明人：吴飞斌;唐锋;王向朝;李杰;李永 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明的相位提取方法，消除0级与±1级以外的较高级次衍射项的影响，降低波像差检测中相位提取的系统误差，提高光学系统的波像差检测精度。
基于剪切干涉仪相位提取方法

[发明专利]基于双光栅剪切干涉的一体化激光材料热效应测量装置-CN201711278725.7在审
发明人：陈好;蒋泽伟;贾静;张浩;樊红英;胡绍云;孟庆安;王询;何易德 -专利权人：西南技术物理研究所
申请日： 2017-12-06 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双光栅剪切干涉的一体化激光材料热效应测量装置，光纤激光器出射标准球面波，经准直物镜产生标准平面波前，被测激光材料放置于两平面反射镜之间，标准平面波前依次经两平面反射镜反射，方向发生180°改变，标准平面波前经过被测激光材料后携带被测激光材料的热效应信息，由分光镜分为两束，一束为热效应焦距参数测量光束，进入热效应焦距参数测量模块，进行热效应焦距参数测量，另一束为波像差参数测量光束，进入波像差参数测量模块，进行波像差参数测量。本发明基于双光栅剪切干涉技术，具有光轴辅助调节功能，系统结构简单、操作方便、测量精度高，可实现等效焦距和等效波像差的同步测量。
激光材料热效应波像差标准平面波剪切干涉焦距参数双光栅热效应测量装置平面反射镜参数测量参数测量模块标准球面波测量精度高光纤激光器测量光束测量模块等效焦距辅助调节同步测量系统结构准直物镜一体化分光镜出射光轴反射测量携带

[发明专利]一种基于波像差控制与焦距逼近的反射变焦系统优化方法-CN202211239987.3在审
发明人：常军;纪钟晔;曹佳静;李轶庭 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于波像差控制与焦距逼近的反射变焦系统优化方法，属于反射变焦光学技术领域。本发明利用初始定焦反射结构波像差Zernike系数和特征视场像高差构建用于反射变焦系统优化的评价函数，基于泰勒展开将含微扰时的光学系统等效为线性光学系统，利用光线追迹数据和微扰对于波像差影响的线性光学模型各重结构中微扰对成像质量、焦距的影响进行量化评估；在设定焦距逼近步长的基础上，构建各重结构的像质约束矩阵及主光线位置约束矩阵；以波像差和像高差为优化目标，基于像质约束矩阵及主光线位置约束矩阵进行参数优化求解，优化后得到的最优反射变焦系统
一种基于波像差控制焦距逼近反射变焦系统优化方法

[发明专利]镜面波像差计算方法及激光系统-CN202311115843.1在审
发明人：罗先刚;刘洋;蒲明博;王茂宇;雷健 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2023-08-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请提供一种镜面波像差计算方法及激光系统，涉及激光技术领域。所述镜面波像差计算方法包括：获取入射激光的参数及光学元件的参数；基于入射激光的参数及光学元件的参数，计算入射激光的光子点集数据及反射镜镜面热变形数据；基于光子点集数据，计算入射激光与反射镜镜面的虚拟交点；基于虚拟交点，计算入射激光的入射角；根据反射镜镜面热变形数据及入射角，计算镜面波像差数据；通过镜面波像差数据，计算全激光系统输出端的光强、光程差和相位分布，并根据计算得到的远场光束质量因子、斯特列尔比以及桶中功率比确定光束质量的评价结果
镜面波像差计算方法激光系统

[发明专利]一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置-CN200910089426.8有效
发明人：刘克;李艳秋;刘丽辉;汪海 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2009-07-20 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置。该装置基于Shack-Hartmann测量原理，包括主机和标准镜两大组成部分。标准镜部分包括当标定主机的系统误差时用于折返光路的第一标准镜和当主机测量投影物镜波像差时用于折返光路的第二标准镜。主机和第一标准镜集成在光刻机掩模台上，第二标准镜集成在硅片台上，测量时将掩模台和硅片台移动到测量位置，进行光刻机投影物镜全视场波像差的测量和校正。本发明具有较高的绝对测量精度，适合光刻机投影物镜波像差的现场测量，降低了装置的成本、体积和重量，便于集成。
一种光刻投影物镜波像差现场测量装置

[发明专利]一种用于主动光学校正系统的波前传感器装调方法-CN202210609253.3有效
发明人：朱硕;汪宗洋;黄剑翔;黄孙港 -专利权人：无锡学院
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01J9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于主动光学校正系统的波前传感器装调方法，包括以下步骤：S1：通过波前测试分别得到各个波前传感器的测试视场位置和测试波像差；S2：将各个波前传感器的测试视场位置可视化；S3：初步安装一波前传感工装；S4：使波前传感工装上的各个波前传感器位于对应的测试视场位置；S5：进行波像差测试，得到相应波前传感器的实际波像差；S6：将实际波像差与测试波像差进行对比，根据对比结果调整波前传感工装，直至对比结果小于预设的残差
一种用于主动光学校正系统传感器方法

[实用新型]非对称型移相光栅标记-CN200820056215.5无效
发明人：邱自成;王向朝;袁琼雁 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2008-03-14 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种非对称型移相光栅标记及在光刻机物镜像差检测中的应用，所述标记由两组非对称型移相光栅组成，两组光栅的线条方向分别为90度和0度，所述标记为交替型移相光栅，光栅中两相邻透光区域的相位差为180度；移相光栅的线空比为本实用新型通过优化移相光栅的结构和尺寸，测试标记的像差灵敏度明显提高，利用该测试标记检测光刻机投影物镜的波像差，检测精度明显提高。
对称型移相光栅标记

[发明专利]一种透射式人工晶体像差哈特曼测量仪-CN200710304512.7无效
发明人：戴云;饶学军;王海英;张雨东;王宁利;熊瑛;万修华 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;首都医科大学附属北京同仁医院
申请日： 2007-12-28 - 公布日： 2008-10-08 - 主分类号： A61F9/00 文献下载
摘要：透射式人工晶体波像差哈特曼测量仪主要包括：光源、光束滤波系统、内调焦装置、孔径分割元件、光电探测器和计算机，其中孔径分割元件、光电探测器构成哈特曼波前传感器；由光源发出的光，由光源发出的光经光束滤波系统滤波和准直为平行光后出射，穿过待测人工晶体，透射光波携带人工晶体像差信息进入内调焦装置，通过内调焦装置对人工晶体屈光度进行补偿，补偿后的光波被孔径分割元件分割采样并聚焦到光电探测器上形成光斑阵列，采集光斑数据送入计算机，经处理得到待测人工晶体总的像差本发明结构简单、稳定，为眼科临床人工晶体移植以及个性化人眼像差矫正人工晶体的加工和检测提供方便、快捷和可靠的检测。
一种透射人工晶体像差哈特曼测量仪

[发明专利]高空间分辨率子孔径拼接方法-CN201410032247.1无效
发明人：杨飞;安其昌;赵宏超;苏燕芹;郭鹏 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-01-23 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：高空间分辨率子孔径拼接方法，涉及超高空间分辨率子孔径拼接方法，解决现有技术存在的问题，将干涉仪与高精度六维运动台固定，利用补偿镜头将干涉仪发出的平面波变为待测表面对应的波形；驱动Stewart平台带动小孔径角的镜头围绕待测表面的零像差点进行转动，获得待测表面的子孔径位置以及波像差数据；对子孔径位置及波前数据进行分析，实现待测表面的子孔径拼接；通过获得的子孔径的波前拟合待测表面整体波前的Zernike系数，实现去除子孔径的低阶像差；利用周期图法从子孔径得到整体待测表面的功率谱本发明突破现有CCD成像单元的限制，得到大口径光学表面的超高分辨率面形检测结果。
空间分辨率孔径拼接方法

[发明专利]测量投影物镜波像差的装置及方法-CN201110117158.3有效
发明人：马明英;王帆 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-05-05 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种测量投影物镜波像差的装置，包括：用以产生第一次衍射光的物面粗测光栅标记与精测光栅标记；包含像面粗测光栅标记与精测光栅标记的像面光栅标记；图像探测器；物面光栅标记发生的衍射光被投影物镜汇聚于像面光栅标记处根据图像探测器测量得到的剪切干涉图案计算得到投影物镜波像差。本发明同时公开一种测量投影物镜波像差的方法。
测量投影物镜波像差装置方法

[实用新型]一种光刻投影物镜系统波像差测量装置-CN201420224944.2有效
发明人：卢增雄;齐月静;苏佳妮;丁功明;周翊;王宇 -专利权人：中国科学院光电研究院
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜系统波像差测量装置，该装置主要由准分子激光器、扩束棱镜、匀光聚焦物镜系统、光纤耦合物镜、多模光纤、成像物镜、照明掩模板、准直物镜及夏克-哈特曼波前传感器组成；其中，从准分子激光器输出的狭长的矩形光斑经扩束棱镜扩束后得到方形光斑，方形光斑经过匀光聚焦物镜系统和光纤耦合物镜后被耦合入多模光纤中；由多模光纤出射的发散球面波经成像物镜后成像到照明掩模板上产生多个球面波，这些球面波经过投影物镜系统后携带其波像差信息，再经过准直物镜后成为平面波，平面波被夏克-哈特曼波前传感器的微透镜阵列分成多个子光束，这些子光束聚焦到夏克-哈特曼波前传感器的探测器上，测得投影物镜系统的波像差信息。
一种光刻投影物镜系统波像差测量装置

[发明专利]一种复合式波前校正器-CN201410010120.X在审
发明人：薛丽霞;张小军;官春林 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-01-09 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合式波前校正器，可同时校正低阶倾斜波像差和其它高阶波像差。它由倾斜结构、连接结构、变形镜和支撑结构组成。使用连接结构将倾斜结构与变形镜连接在一起，使得此结构既可以校正低阶倾斜波像差，又可以通过变形镜校正高阶波像差。
一种复合式波前校正

[发明专利]一种基于单视场的主次镜系统装配误差计算方法及系统-CN202110683348.5在审
发明人：尚建忠;吴伟;罗自荣;白向娟;曹俊宏;蒋涛;卢钟岳 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于单视场的主次镜系统装配误差计算方法，包括如下步骤：在单一视场下，获取处于不同失调状态的主次镜系统的三阶波像差系数测量值；随机生成测试装配状态种子；将测试装配状态种子输入至预设的主次镜系统仿真模型中进行数值模拟以获取三阶波像差系数模拟值；根据三阶波像差系数测量值与模拟值，计算优化评价函数值；若优化评价函数值小于预设优化评价阈值，则将测试装配状态种子的装配误差值输出为主次镜系统的装配误差值。针对主次镜系统因存在“零慧差自由点”P而导致计算装配误差时需要测量多个视场波像差的技术问题，本方法及系统无需反复测量多个视场，能节省大量的时间、人力和物力，具有更强的工程应用性和操作性。
一种基于视场主次系统装配误差计算方法

[发明专利]一种波像差测量装置及光刻机-CN201910365328.6有效
发明人：夏建培;马明英 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种波像差测量装置及光刻机。所述波像差测量装置包括：照明系统，以及物面光栅板、投影物镜、像面光栅板和光电探测器；物面光栅板和像面光栅板均为透明光栅板；物面光栅板包括物面光栅，物面光栅由多个间隔均匀的凸起部或凹陷部排列组成，凸起部的高度或凹陷部的深度为本发明实施例提供的技术方案，提高了用于波像差测量的光的光强，以及波像差测量的精度，且物面光栅和像面光栅的制备工艺简单，制备成本低。
一种波像差测量装置光刻

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