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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]晶圆浸泡槽-CN201910344800.8有效
发明人：王静强;徐福兴;黄锡钦 -专利权人：昆山基侑电子科技有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本发明提供了晶圆浸泡槽，槽体内设置有用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件；拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；槽体外部设置有第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
浸泡

[实用新型]晶圆存放槽-CN201120041317.1有效
发明人：许金海 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-02-18 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型的晶圆存放槽包括第一槽和第二槽；所述第一槽设有第一喷射器，向所述第一槽输送液体；所述第二槽设有第二喷射器，向所述第二槽输送液体，第一槽和第二槽内的液体不断更新，处于最佳状态，避免了槽内的液体腐蚀晶圆
存放

[实用新型]晶圆浸泡槽-CN201920590616.7有效
发明人：陈亮;黄锡钦;徐福兴 -专利权人：昆山基侑电子科技有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：为了解决现有技术中每一次取样都会造成浸泡槽内化学品的大幅度减少的技术问题，本实用新型提供了晶圆浸泡槽，其包括用于承装化学品的槽体，所述槽体具有进液管和排液管，所述槽体的旁侧设置有溢流槽，所述槽体的侧壁设置有与所述溢流槽连通的槽孔，浸泡槽内的化学品溢流进溢流槽中，通过打开溢流槽的排液阀就可以实现化学品少量取样。
化学品溢流槽槽体浸泡槽本实用新型一次取样进液管排液阀排液管槽孔侧壁晶圆取样溢流连通

[实用新型]晶圆清洗槽-CN202022781192.8有效
发明人：刘佳鑫;童灿钊;赵冬冬;李迁;巫礼杰;仰瑞;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2020-11-25 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种晶圆清洗槽，包括清洗池、转轴、晶圆载台和清洗喷头，晶圆载台和清洗喷头均设置在清洗池内，清洗池是由侧壁和底座围成的桶状结构，转轴设置在所述底座上，转轴的一端与所述晶圆载台连接从而带动晶圆载台转动，清洗喷头位于所述晶圆载台的上方，清洗喷头用于向晶圆载台喷淋清洗液，侧壁的内表面对应所述晶圆载台的位置设有缓冲层。清洗时被甩出的清洗液和晶圆碎屑以高速撞击到清洗池侧壁时，先撞击到缓冲层上，基于缓冲层的缓冲作用，有效防止清洗液和晶圆碎屑反弹，提高了晶圆的清洗质量，也避免了晶圆和零件被刮伤。
清洗

[实用新型]晶圆烘干槽、晶圆烘干装置-CN202120768649.3有效
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干装置

[发明专利]一种用于LED晶圆制程的载盘-CN202010807837.2在审
发明人：林志园;洪金居;陈火宾;肖遥;程伟 -专利权人：厦门乾照半导体科技有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于LED晶圆制程的载盘，包括载盘；载盘上设有一晶圆放置面，晶圆放置面上设有晶圆放置槽，晶圆放置槽包括中心晶圆放置槽和若干外围晶圆放置槽；各外围晶圆放置槽以中心晶圆放置槽为中心环绕设置；各外围晶圆放置槽设置有一挡板，且挡板位于外围晶圆放置槽与载盘的平边处；本发明设置与载盘边缘相连的各外围晶圆放槽，增加晶圆放槽的数量，提升了产能；同时，相邻两个外围晶圆放置槽相互紧挨，且与载盘边缘形成一间隙斜面，倾斜面可改善载盘边缘区域的温场及流场，提高沉积混合气体的效率，改善外围晶圆均匀性差的问题。
一种用于 led 晶圆制程

[实用新型]一种用于LED晶圆制程的载盘-CN202021673369.6有效
发明人：林志园;洪金居;陈火宾;肖遥;程伟 -专利权人：厦门乾照半导体科技有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于LED晶圆制程的载盘，包括载盘；载盘上设有一晶圆放置面，晶圆放置面上设有晶圆放置槽，晶圆放置槽包括中心晶圆放置槽和若干外围晶圆放置槽；各外围晶圆放置槽以中心晶圆放置槽为中心环绕设置；各外围晶圆放置槽设置有一挡板，且挡板位于外围晶圆放置槽与载盘的平边处；本实用新型设置与载盘边缘相连的各外围晶圆放槽，增加晶圆放槽的数量，提升了产能；同时，相邻两个外围晶圆放置槽相互紧挨，且与载盘边缘形成一间隙斜面，倾斜面可改善载盘边缘区域的温场及流场，提高沉积混合气体的效率，改善外围晶圆均匀性差的问题。
一种用于 led 晶圆制程

[实用新型]一种嵌入式双层结构碳化硅托盘-CN201821121917.7有效
发明人：徐姗姗;吴疆;丁磊 -专利权人：安徽芯瑞达科技股份有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开一种嵌入式双层结构碳化硅托盘，包括盘体、第一晶圆槽、第二晶圆槽；所述盘体上表面设置有第一晶圆槽，若干第一晶圆槽在盘体上表面呈矩阵分布排列；相邻四个第一晶圆槽之间的盘体上表面设置有第二晶圆槽，若干第二晶圆槽在盘体上表面呈矩阵分布排列；所述第一晶圆槽的深度比所述第二晶圆槽的深度深，第一晶圆槽的深度为第二晶圆槽深度的两倍；所述第一晶圆槽一侧设置有夹放缺口槽，夹放缺口槽深度与第一晶圆槽深度相同；本实用新型具有方便镊子取放托盘内的晶圆，提升LED芯片的制造效率和产能的特点。
晶圆槽盘体上表面托盘本实用新型矩阵分布双层结构嵌入式缺口槽碳化硅盘体镊子产能晶圆取放制造

[发明专利]一种晶棒槽晶向测量仪和测量方法-CN202210186628.X在审
发明人：甄茹葶;甄伟 -专利权人：丹东奇伟企业管理咨询有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01N23/207 文献下载
摘要：本发明提供一种晶体槽晶向测量仪和测量方法，其中晶棒槽晶向测量仪器包含载物机构、晶向测量机构、测角仪、槽深测量机构，所述载物机构能够承载晶棒并带动晶棒旋转，所述测角仪能够测量晶棒旋转角度，所述槽深测量机构能够测量所述晶棒的槽深，所述晶向测量机构能够测量所述晶棒上指定点晶向。该晶体槽晶向测量仪能够自动化测量槽任意底部端点的晶向，测量效率和测量精度高。
一种晶棒槽晶测量仪测量方法

[实用新型]晶圆托盘及晶圆片溅镀设备-CN202220644073.4有效
发明人：洪俊 -专利权人：颀中科技（苏州）有限公司;合肥颀中科技股份有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了晶圆托盘及晶圆片溅镀设备，其中，晶圆托盘包括：托盘本体，具有朝上开口设置并用于定位晶圆的晶圆定位槽；内防反溅槽，设置在所述晶圆定位槽内并向所述晶圆定位槽暴露，所述内防反溅槽呈弧形设置在所述晶圆定位槽的边缘，并在所述晶圆定位槽的中心相对形成用于支撑晶圆的晶圆支撑台。本实用新型在晶圆定位槽的边缘设置内防反溅槽，能够有效的避免边缘部上沉淀形成的金属薄膜在等离子体作用下对晶圆表面的飞溅，有效的避免了晶圆定位槽内沉积的离子溅镀到晶圆上表面的发生，从而提升了镀膜的品质。
托盘晶圆片溅镀设备

[发明专利]晶硅制绒槽-CN201510541923.2有效
发明人：刘尧平;陈伟;杨丽霞;杜小龙 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶硅制绒槽，包括沿所述晶硅的操作方向依次排列的金属催化刻蚀槽、残余金属清洗槽、二次清洗槽和干燥预处理槽。本发明的晶硅制绒槽成本低、通用性好，能用于单晶硅和多晶硅的制绒工艺中。
晶硅制绒槽

[实用新型]晶圆酸洗槽系统-CN201721088756.1有效
发明人：周文华 -专利权人：上海强华实业股份有限公司
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆酸洗槽系统，酸洗槽内设有石英托板，清洗花篮放置在所述石英托板，清洗花篮用于承载晶圆片，酸洗槽的底部设有喷淋管，喷淋管下弯连接一个带加热系统的升温管的出口端，升温管的进口端用于输入酸液，酸洗槽的底面呈现为倾斜状，酸液的流向侧壁设有第一排废管，酸洗槽的上部外套一个双层石英缸，双层石英缸用于承接酸洗槽溢出的酸液，双层石英缸的底部连接第二排废管，第一排废管和第二排废管汇接后连通起冷却作用的螺旋废液瓶的入口，螺旋废液瓶的外壁紧贴安装有螺旋石英管
酸洗槽排废管酸液双层石英废液瓶喷淋管升温管石英托板清洗花篮螺旋石英管底部连接加热系统紧贴安装冷却作用出口端进口端晶圆片倾斜状侧壁汇接晶圆外壁下弯种晶连通溢出承接承载回收出口

[实用新型]晶硅制绒槽-CN201520662516.2有效
发明人：刘尧平;陈伟;杨丽霞;杜小龙 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶硅制绒槽，包括沿所述晶硅的操作方向依次排列的金属催化刻蚀槽、残余金属清洗槽、二次清洗槽和干燥预处理槽。本实用新型的晶硅制绒槽成本低、通用性好，能用于单晶硅和多晶硅的制绒工艺中。
晶硅制绒槽

[实用新型]味精助晶槽结构-CN202021773943.5有效
发明人：冯文清;苏丽敏;伍钧;王景林;张国平;刘志坚;黄东江;何文杰 -专利权人：广州奥桑味精食品有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B01F13/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种味精助晶槽结构，味精助晶槽结构包括：助晶槽外壳，助晶槽外壳包括固定连接的入料区和搅拌区，入料区和搅拌区沿长度方向的尺寸相等，搅拌区在宽度方向上呈半圆形；输气管，输气管设置于搅拌区的底部并穿入助晶槽外壳内部通过本实用新型的技术方案，能够减少残留在助晶槽底部味精半成品，提升助晶槽对味精半成品的搅拌效果。
味精助晶槽结构

[发明专利]晶圆放置装置及放置晶圆的方法-CN201610239031.1在审
发明人：年四军;简子杰;李小金;董攀林 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆放置装置及放置晶圆的方法，其中晶圆放置装置包括盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接的卡槽位于同一层。所述晶圆放置装置包括引导装置，晶圆能够通过引导装置中的引导槽滑入卡槽中，能够避免人工放置晶圆到晶圆放置装置中的过程中发生刮伤。
放置装置方法

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