|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 48个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]晶圆浸泡槽-CN201910344800.8有效
-
王静强;徐福兴;黄锡钦
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2019-04-26
-
2023-07-25
-
H01L21/67
- 为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本发明提供了晶圆浸泡槽，槽体内设置有用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件；拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；槽体外部设置有第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
- 浸泡
- [实用新型]一种可进行角度调节的晶圆浸泡槽-CN202221077603.8有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2022-04-29
-
2022-12-16
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种可进行角度调节的晶圆浸泡槽，包括浸泡槽本体、用于放置晶圆的片盒和角度调节驱动机构；角度调节驱动机构包括横梁支架、升降座框、升降驱动组件、转动驱动组件和调节板，升降座框的宽度方向两侧均向下延伸设置有一侧板，调节板的上方一侧设置有一驱动齿轮，驱动齿轮通过转轴与两块侧板转动连接，且转动驱动组件的驱动轴上设置有齿条与驱动齿轮啮合连接；调节板的活动侧设置有一立板，本实用新型将片盒与角度调节驱动机构配合使用，在片盒内的晶圆于浸泡槽本体内进行浸泡时，通过角度调节驱动机构带动片盒进行角度调节时可使片盒实现晃动，这样在提高晶圆浸泡质量的同时，还能降低晶圆的浸泡时间，使用效果较佳。
- 一种进行角度调节浸泡
- [实用新型]一种晶圆浸泡晃动装置-CN202220977758.0有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2022-04-26
-
2022-09-06
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆浸泡晃动装置，包括浸泡槽本体、晶圆放置提篮和晃动驱动机构；浸泡槽本体的宽度方向两侧内壁均设置有一直线滑槽，每个直线滑槽上均滑动连接有一直线滑台，且两个直线滑台的同侧端部通过固定杆连接；晶圆放置提篮的相对两侧表面均设置有一搭接杆，两个直线滑台的上表面均配合设置有一搭接槽，晃动驱动机构包括转动驱动组件和曲柄，且转动驱动组件的输出端连接有转轴穿过浸泡槽本体并通过曲柄与一直线滑台连接，本实用新型不仅能方便晶圆放置提篮搭放，且在晃动驱动机构的驱动下，晶圆放置提篮能实现晃动，这样在提高晶圆浸泡效果的情况下，还能减少晶圆的浸泡时间，使用效果较佳。
- 一种浸泡晃动装置
- [实用新型]一种晶圆双面清洗一体装置-CN202220978321.9有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2022-04-26
-
2022-09-06
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆双面清洗一体装置，包括清洗槽、晶圆换面机构、清洗机构；清洗槽的内部排列设置有两个支撑基座，且两个支撑基座上都设置有用于放置晶圆的第一中空座体和第二中空座体；清洗机构包括三轴驱动组件和清洗枪，晶圆换面机构包括晶圆翻转搬运组件、晶圆接取组件和晶圆接取驱动组件，且晶圆接取组件设置在第二中空座体内部并与晶圆接取驱动组件连接以将晶圆翻转搬运组件搬运的晶圆接放在第二中空座体的搭接台阶上，本实用新型设置的第一中空座体和第二中空座体与晶圆换面机构配合使用，不仅能将晶圆进行定位放置，且还能实现晶圆换面，这样清洗机构便可对晶圆的两面进行清洗，提高了晶圆的清洗质量，具有较高的使用价值。
- 一种双面清洗一体装置
- [实用新型]一种防护式晶圆清洗机台装置-CN202221024918.6有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2022-04-29
-
2022-09-06
-
B08B3/04
- 本实用新型公开了一种防护式晶圆清洗机台装置，包括机台本体和旋转式防护门，机台本体的内部设置有清洗槽，机台本体的上表面沿其四周边缘设置有顶部敞开的防护挡罩，旋转式防护门包括第一旋转门、第二旋转门、第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件，且每根转轴均于防护挡罩的外部安装有一驱动齿轮，第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件的驱动轴上均设置有与驱动齿轮相啮合连接的直线齿条，本实用新型通过在机台本体上设置有防护挡罩并通过第一伸缩驱动组件和第二伸缩驱动组件与第一旋转门和第二旋转门配合使用，能对防护挡罩进行密封，这样在不影响晶圆上下料的情况下，还能避免清洗溶剂挥发对操作人员的身体产生影响，具有较高的使用价值。
- 一种防护式晶圆清洗机台装置
- [实用新型]一种晶圆片表面洁净度检测装置-CN202121101947.3有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2021-05-21
-
2022-03-15
-
G01N21/95
- 本实用新型公开了一种晶圆片表面洁净度检测装置，包括检测组件、放置基台、顶料组件、转运机械手和用于进行整体控制的外部控制器，放置基台的内部剖设有中空槽，中空槽的上部四周成型有用于放置晶圆片的搭接台阶，顶料组件包括顶料驱动气缸和顶料板，顶料驱动气缸设置在放置基台的底部下方并与中空槽位置相对应，且顶料板与顶料驱动气缸的伸缩端固接，检测组件包括CCD高清相机和机架，机架固设在放置基台的后部，CCD高清相机固设在机架的最高位底部，转运机械手设置在放置机台的旁侧，本实用新型能实现对清洗后的晶圆进行转运上料、检测以及转运下料，自动化程度较高，相较于现有技术中的人工检测工艺，工作效率大大提高，也降低了企业的生产成本。
- 一种晶圆片表面洁净检测装置
- [实用新型]一种晶圆清洗用浸泡装置-CN202121303426.6有效
-
周志刚;王静强;徐福兴;黄锡钦;陈亮
-
昆山基侑电子科技有限公司
-
2021-06-10
-
2022-03-15
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆清洗用浸泡装置，包括浸泡箱、升降式密封盖、竖向支撑台、升降驱动机构和摆动驱动机构，升降式密封盖设置在浸泡箱上方，浸泡箱中间设有隔板将其分隔成两个浸泡槽，隔板与浸泡箱的底面设有流通间隔，竖向支撑台设置在浸泡箱的后部；升降驱动机构包括伺服液压缸和滑动座，竖向支撑台的前部表面设置有两条直线导轨，摆动驱动机构包括两个电动推杆驱动组和两个固定座，两个固定座相对设置在滑动座上，两个电动推杆驱动组分别设置在两个固定座上，本实用新型能向多个提篮内放置晶圆片进行浸泡，同时在浸泡进行浸泡时，摆动驱动机构能驱动提篮进行摆动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
- 一种清洗浸泡装置
|
