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[实用新型]一种上下料晶圆片篮传送装置-CN202320161415.1有效
发明人：左国军;饶相松;李雄朋 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体湿法清洗技术领域，具体涉及一种上下料晶圆片篮传送装置，具有：多个直线阵列的第一缓存位，多个所述第一缓存位用以放置片篮，初始位，所述初始位位于多个所述缓存位的一端；下料机构，所述下料机构位于多个所述第一缓存位的另一端；分离合并机构，所述分离合并机构位于多个所述第一缓存位的一侧，所述分离合并机构设有数个第二缓存位；传送机构，所述传送机构位于所述第一缓存位和所述分离合并机构之间，所述传送机构用以带动片篮在所述第一缓存位、所述初始位、所述下料机构、所述第二缓存位之间移动转载。
一种上下料晶圆片篮传送装置

[实用新型]片材翻转设备-CN202123182485.5有效
发明人：左国军;饶相松;邱瑞;陈雷 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种片材翻转设备，包括：盛放台，用于放置多个片材；夹持装置，用于在盛放台上取出或放置部分片材；夹持装置包括：至少两个相对设置的转动件；工作夹板，可拆卸地设于转动件，工作夹板背离转动件的一端设有多个夹持部；夹持装置位于盛放台上方时，转动件带动工作夹板转动，以使夹持部间隔地在盛放台上夹取或放置片材。通过将工作夹板设置为与转动件可拆卸的连接方式，从而可以在当前的工作夹板与片材的尺寸不适配时，将其更换为与当前片材尺寸适配的工作夹板，使片材翻转设备适用于多种规格的片材，提高工作效率，降低更换成本。
翻转设备

[实用新型]用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备-CN202122570308.8有效
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于机械手抓手清洗的槽体结构以及清洗设备，槽体结构包括：底座、安装在底座上的至少一个清洗槽、以及设于清洗槽中的进水管，底座安装有对清洗槽进行水平调节的水平调节组件。清洗槽设有喷洗区，清洗时机械手抓手位于喷洗区中，进水管排布有若干个对准喷洗区的喷水口。清洗槽的槽口上方安装有吹气管组件，吹气管组件包括：排布有吹气口的两个吹气管，两个吹气管的吹气口相对设置，且两个吹气管之间设有间距形成允许机械手抓手活动穿过的干燥区。本实用新型可通过水平调节组件及时对清洗槽的水平状态进行调整，利用喷水口向抓手喷水以冲洗机械手抓手的残留药液，喷水压力大，清洗速度快且效果好。
用于机械手抓手清洗结构以及设备

[实用新型]清洗槽和清洗装置-CN202122377057.1有效
发明人：左国军;陈雷;李雄朋;邱瑞;饶相松;龚泽熙 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种清洗槽和清洗设备，其中，清洗槽包括：槽体组件，槽体组件设有开口，内部具有腔体；第一挡板，设于槽体组件的开口一侧，并遮挡部分开口；第二挡板，设于槽体组件的开口一侧，与第一挡板相对设置，并遮挡部分开口；盖板组件，设于槽体组件开口处，盖板组件能够开启或闭合，其中，在盖板组件闭合时，盖板组件的至少部分位于第一挡板和第二挡板之间，以关闭开口。本实用新型提出的清洗槽，第一挡板和第二挡板可以针对槽体组件的结构，将结构复杂，无法设置可开合盖体组件的部分进行遮挡，增强第一挡板和盖板组件之间的密封性，增强第二挡板和盖板组件之间的密封性，减少了清洗槽开口处的缝隙，减少清洗液的蒸发量，节约成本。
清洗装置

[实用新型]自动气液分离供酸系统-CN202122096489.5有效
发明人：左国军;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;邱瑞;申斌 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B01F33/80 文献下载
摘要：本申请提出了一种自动气液分离供酸系统，属于半导体及泛半导体技术领域，自动气液分离供酸系统包括：药液桶，药液桶用于盛放液体；泵体，泵体的一端与药液桶连通；气液分离罐，与泵体的另一端连通，气液分离罐中设有网板，网板上设有通孔，其中，泵体用于抽取液体到气液分离罐中，网板用于打散液体中的气泡。通过本申请的技术方案，可自动过滤泵体抽空产生的气泡，不需要人干预，从而提高配液精度，进而改善工艺槽配液精度。
动气分离系统

[实用新型]载体摆动机构和处理设备-CN202120762605.X有效
发明人：左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型的实施例提供了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本实用新型的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。
载体摆动机构处理设备

[实用新型]晶圆烘干槽、晶圆烘干装置-CN202120768649.3有效
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干装置

[发明专利]载体摆动机构和处理设备-CN202110402756.9在审
发明人：左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种载体摆动机构和处理设备，其中载体摆动机构包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。本发明的技术方案中，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。
载体摆动机构处理设备

[发明专利]晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置-CN202110402817.1在审
发明人：左国军;陈雷;成旭;李雄朋;申斌;谈丽文;邱瑞;饶相松 -专利权人：创微微电子（常州）有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆烘干设备技术领域，提供了一种晶圆烘干槽、晶圆烘干方法和晶圆烘干装置，用于对晶圆进行烘干。晶圆烘干槽包括：槽体；管道系统，管道系统用于朝向槽体内的不同方向通入气体，以在槽体内交汇形成混合气流场。本申请将多个晶圆置于槽体内，通过管道系统从多个方向朝向槽体内通入气体，可以在槽体内形成混合气流场，混合气流场是流动的，因此，在槽体内形成的烘干区域能够覆盖整个晶圆尺寸范围，以保证晶圆表面的洁净度。
烘干方法装置

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