|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3146088个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]晶圆片背面金层蒸镀工艺用的装片夹具-CN201020684390.6有效
-
黄仕锋;吕春林
-
扬州晶新微电子有限公司
-
2010-12-28
-
2011-08-17
-
C23C14/50
- 晶圆片背面金层蒸镀工艺用的装片夹具，包括装片锅(1)、多个装片环(5)和保护片(9)，装片锅上设有多个装片环安装孔(3)，围绕各个装片环安装孔安装有多个弹簧卡片(4)，装片环包括安装在装片环安装孔内的装片环主体(8)，该装片环主体的下端形成有晶圆片止挡翻边(6)。本实用新型的装片夹具与晶圆片是面接触，因此能够承受较大的压力，不会由于安装夹具出现碎片问题；此外，所述装片环的晶圆片止挡翻边挡住了晶圆片的边缘，从而在蒸发时晶圆片的边缘蒸不到金，保留了原来的硅材料，在锯片时由于保护膜与硅粘接牢度高，切割晶圆片时管芯就不会脱膜，从而避免了锯片时管芯掉落或出现打刀现象，降低了生产成本、加快了生产流程。
- 晶圆片背面金层蒸镀工艺夹具
- [实用新型]自动放片机-CN202022594475.1有效
-
戴言培
-
麒安科技有限公司
-
2020-11-11
-
2021-05-07
-
H01L33/48
- 一种自动放片机，包括晶圆平边对位单元、第一晶圆移动模块、第二晶圆移动模块、模具平边对位单元及移载机构，晶圆平边对位单元包括可转动的晶圆承载座及第一摄影模块，第一晶圆移动模块包括第一放置区及平移机构，第一放置区供第一晶圆片放置，平移机构将第一晶圆片由第一放置区移载至晶圆承载座上；第二晶圆移动模块包括第二放置区及翻面机构，第二放置区供第二晶圆片放置，翻面机构自第二放置区吸取第二晶圆片且翻转后放置于晶圆承载座上；模具平边对位单元包括可转动的模具承载座及第二摄影模块；移载机构依序将放置晶圆承载座的第一晶圆片、第二晶圆片移载至模具承载座上的模具上，以此将第一晶圆片及第二晶圆片特定表面对合且堆栈于模具上。
- 自动放片机
- [发明专利]一种裂片装置-CN202110078467.8有效
-
张紫辰;侯煜;张喆;王然;岳嵩;李曼;张昆鹏;石海燕;薛美
-
中国科学院微电子研究所
-
2021-01-20
-
2023-05-23
-
H01L21/67
- 本发明提供了一种裂片装置，该裂片装置用于对切割后的晶圆进行裂片，该裂片装置包括支撑结构、承片环、绷膜框、裂片台，裂片台具有用于抵压在晶圆膜的第二面上的凸起曲面，裂片台能够相对承片环沿承片环的轴向穿过承片环通过使凸起曲面抵压在晶圆膜上，使裂片台不与晶圆直接接触。在裂片台相对承片环沿承片环的轴向穿过承片环时，覆盖在凸起曲面上的晶圆膜使粘附在晶圆膜上的晶圆都沿同一方向折弯，晶圆切割道内部裂纹沿着切割道生成，使晶圆会沿切割道裂开。且由于晶圆膜沿同一方向折弯，使裂开后切割道的两个侧壁具有V字形的夹角，防止晶圆切割道两侧的侧壁发生碰撞，防止晶圆的切割道崩边、晶圆的金属层断裂等不良缺陷，提高产品良率。
- 一种裂片装置
|
