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[发明专利]膜厚传感器-CN201710831065.4有效
发明人：伊藤敦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2017-09-05 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种抗热冲击特性优异的膜厚传感器。本发明的一个实施方式的膜厚传感器具有石英振子。上述石英振子由表面粗糙度(Ra)为0.4μm以下、并且切割水平50％的载荷长度比率(tp)为95％以上的成膜面的AT切型石英振子构成。上述成膜面的切割水平50％的载荷长度比率(tp)优选为97％以上，上述成膜面的表面粗糙度(Ra)优选为0.25μm以下。
传感器

[发明专利]膜评价方法、温度测定方法及半导体装置的制造方法-CN02803087.7无效
发明人：立成利贵 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2002-09-10 - 公布日： 2004-02-18 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种即不使成膜装置的生产性劣化，又可轻易测定成膜装置的成膜温度或膜的特性的方法。其解决手段是，事先制作参照用红外线吸收光谱图案作为资料库。然后，利用傅立叶转换红外线分光(FT－IR)法，测定被测定膜的红外线吸收图案。再次，根据参照用红外线吸收光谱图案，及被测定膜的红外线光谱图案，进行部分最小平方回归(PLS)法的多变量分析的后，再根据分析的结果，算出成膜温度等。
评价方法温度测定半导体装置制造

[发明专利]各向异性磁电阻薄膜的制造方法-CN201410233996.0有效
发明人：刘善善 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： H01F10/14 文献下载
摘要：步骤二、进行Ni81Fe19薄膜的成膜，成膜工艺包括多步沉积和刻蚀工艺。步骤三、进行氮化钽薄膜的成膜。步骤四、进行退火处理。本发明通过在Ni81Fe19薄膜的成膜工艺中采用多步沉积和刻蚀交替进行的方法，能够提高成膜质量，能在不增加薄膜厚度的情况下增加薄膜的AMR值，且能使薄膜的磁特性敏感并具有良好的热稳定性。
各向异性磁电薄膜制造方法

[发明专利]具有减少点燃倾向特性的冒烟物品-CN03802006.8有效
发明人：托马斯·A·克拉克 -专利权人：施韦特－莫迪国际公司
申请日： 2003-01-20 - 公布日： 2005-05-04 - 主分类号： A24D1/16 文献下载
摘要：生产被组合在冒烟物品上时具有减少点燃倾向特性的包装纸的方法。包装纸(14)用成膜组成成分处理，在包装纸(14)上形成处理过的不连续区域(18)。按照本发明，成膜组成成分包括成膜材料。成膜材料具有比较低的粘度。这样，成膜组成成分可有比较高的固体含量和仍可用普通方法，如照相凹版印刷加到包装纸上。
具有减少点燃倾向特性冒烟物品

[发明专利]成膜控制装置、成膜装置以及成膜方法-CN202280005853.7在审
发明人：大泷芳幸;松平学幸;山口刚;宫内充祐 -专利权人：株式会社新柯隆
申请日： 2022-02-04 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：成膜控制装置具有：光源(42)，其对配置于旋转体(25)的基板(S)照射光；受光部(46)，对于从所述光源照射的光，该受光部接收透过形成在所述基板上的薄膜的层的透过光或者被形成在所述基板上的薄膜的层反射的反射光；位置信息取得部(48)，其取得与所述旋转体的圆周方向的位置对应的位置信息；以及控制部(4)，其对成膜条件进行控制，所述控制部包含：时机控制部，其根据由所述位置信息取得部取得的所述旋转体的圆周方向的位置信息来确定作为目标的基板的位置，对接收从所述光源向该确定的位置的基板照射的光的透过光或者反射光的时机进行控制；膜厚判定部，其根据由所述受光部接收到的透过光或者反射光，计算由多个层构成的薄膜的各层的膜厚，判定所述各层的膜厚与构成具有期望的分光特性的薄膜的各层的目标膜厚的膜厚差；以及成膜条件设定部，其在所述各层的膜厚相对于所述目标膜厚存在规定值以上的膜厚差的情况下，对针对该层的成膜条件进行校正以使得存在该膜厚差的层的膜厚成为该层的目标膜厚，然后设定所述成膜条件。
控制装置以及方法

[发明专利]成膜方法、成膜用掩模和成膜装置-CN200580050206.4无效
发明人：渡部将弘 -专利权人：富士通日立等离子显示器股份有限公司
申请日： 2005-08-26 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜方法，其为将物体(111)的表面部分地掩蔽，利用化学气相沉积法在作为上述表面的露出部分的成膜面(S1)上形成膜的方法，在反应室(310)内成膜时，利用内部具有通气路(75)并且具有与上述通气路(75)和外面相通的通气孔(76)的掩模(71)，进行物体(111)的掩蔽，通过使用掩模(71)内的通气路(75)对供给至由掩模(71)覆盖的非成膜面的原料气体进行排气或稀释，对反应室内的原料物质的浓度分布进行控制，使得在成膜面(S1)内成膜速度均匀。
方法成膜用掩模装置

[发明专利]一种具有压力响应特性的聚偏氟乙烯中空纤维膜及其制备方法-CN201410843482.7在审
发明人：王汉利;王军;杨亮;唐妮 -专利权人：山东华夏神舟新材料有限公司
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： B01D71/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有压力响应特性的聚偏氟乙烯中空纤维膜及其制备方法。具有压力响应特性的聚偏氟乙烯中空纤维膜是由10～25wt％的PVDF、0.5～10wt％的FKM、2～15wt％的致孔剂和50～87.5wt％的溶剂制成。本发明将FKM、PVDF、致孔剂依次加入到溶剂中，加热搅拌溶解3～24小时，静置脱泡2～12小时，制成铸膜液，然后通过干-湿相转化法制备成中空纤维膜。本发明制得的具有压力响应特性的聚偏氟乙烯中空纤维膜，具有压力响应特性，能提高膜的分离性能和抗污染性。
一种具有压力响应特性聚偏氟乙烯中空纤维及其制备方法

[发明专利]高导热陶瓷膜加热管-CN201610232351.4在审
发明人：吴旭东;熊宝春;周凯;汪静;黄书忞;杨金林 -专利权人：上海申航热能科技有限公司
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： H05B3/42 文献下载
摘要：高导热陶瓷膜加热管由管体1、膜加热层2、银电极3、不加热段4组成；其中在包括膜加热层2、银电极3在内的管体1这一段管外面，是采用高温金属氧化物气相沉淀的技术制成的膜加热层；银电极3是涂覆氧化银浆经过高温还原成银形成；由于这种高纯度碳化硅材料具有100W/m.k以上的导热特性，还有耐高温、耐酸碱腐蚀、无毒的特性，这样做成的加热器具有工作稳定、功率密度更高（很轻易超过30W/cm²以上）、耐高温、耐酸碱腐蚀、无毒的特性。
导热陶瓷膜热管

[发明专利]高导热陶瓷膜加热管-CN201710603442.9在审
发明人：熊宝春;杨金林 -专利权人：上海雅米能源科技有限公司
申请日： 2017-07-23 - 公布日： 2017-11-10 - 主分类号： H05B3/42 文献下载
摘要：高导热陶瓷膜加热管由管体1、膜加热层2、银电极3、不加热段4组成；其中在包括膜加热层2、银电极3在内的管体1这一段管外面，是采用高温金属氧化物气相沉淀的技术制成的膜加热层；银电极3是涂覆氧化银浆经过高温还原成银形成；由于这种高纯度碳化硅材料具有100W/m.k以上的导热特性，还有耐高温、耐酸碱腐蚀、无毒的特性，这样做成的加热器具有工作稳定、功率密度更高（很轻易超过30W/cm2以上）、耐高温、耐酸碱腐蚀、无毒的特性
导热陶瓷膜热管

[发明专利]一种耐高温分离糠醛用压滤膜、制备方法及其应用-CN201710515113.9有效
发明人：雷廷宙;杨延涛;林鹿;徐海燕;王志伟;李自杰;陈高峰;关倩;李学琴;辛晓菲;杨淼;李冲 -专利权人：河南省科学院能源研究所有限公司
申请日： 2017-06-29 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： B01D71/34 文献下载
摘要：所述耐高温分离糠醛用压滤膜，制备原料包括：成膜材料、溶剂、成膜添加剂、分散剂、增塑剂、消泡剂、脱水剂、耐高温保护剂、抗压保护剂、辅料等。初步实验检测表明，本申请所提供的压滤膜具有较好耐高温特性，同时具有优良的耐酸碱腐蚀特性，而且具有较高的膜通量、良好机械加工性和热稳定性，对于提高糠醛产率、减少膜分离时间具有十分重要的应用价值，同时由于具有降低膜污染和较长使用寿命特性
一种耐高温分离糠醛压滤制备方法及其应用

[发明专利]液晶显示装置、液晶显示装置的制造方法及电子设备-CN200910001420.0无效
发明人：高野靖;平井利充 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-01-05 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： G02F1/1335 文献下载
摘要：本发明提供一种液晶显示装置，包含：第1基板；与所述第1基板对置的第2基板；配置在所述第1基板及所述第2基板之间的液晶层；和，发色部，具有多层干涉膜，所述多层干涉膜通过分别将第1透明薄膜和第2透明薄膜交替叠层而形成，所述第1透明薄膜由第1形成材料以基于规定的发色特性的厚度成膜并具有第1折射率，所述第2透明薄膜由第2形成材料以基于所述规定的发色特性的厚度成膜并具有第2折射率，所述发色部对通过所述液晶层射入的光赋予所述规定的发色特性后
液晶显示装置制造方法电子设备

[发明专利]一种锂离子电池电解液、锂离子电池-CN201110282636.6无效
发明人：刘萍 -专利权人：广东达之邦新能源技术有限公司
申请日： 2011-09-21 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H01M10/0567 文献下载
摘要：本发明公开了一种锂离子电池电解液，该电解液是由导电锂盐、混合碳酸酯溶剂和添加剂组成，所述添加剂同时包含还原型成膜添加剂碳酸亚乙烯酯和反应型成膜添加剂甲基苯基碳酸酯，加入两种不同类型成膜添加剂具有协同效应，有利于提高电池的循环特性。
一种锂离子电池电解液

[发明专利]延迟或持续释放治疗活性成分的药物组合物-CN02828669.3有效
发明人：桑贾伊·加尔;拉詹·库马尔·维尔马;查曼·拉尔·考尔 -专利权人：科学和工业研究委员会
申请日： 2002-03-22 - 公布日： 2005-06-01 - 主分类号： A61K9/00 文献下载
摘要：延迟释放治疗活性成分的药物组合物，所述药物组合物包含具有弱酸性而且在水性环境中溶解度有限的含有治疗活性成分的片芯组合物，所述治疗活性成分与例如能通过改变芯内微环境pH而改善片芯中所述成分的溶解度的试剂直接接触，且用控释膜包裹所述片芯，所述控制膜含有半透膜成膜聚合物、渗透膜成膜聚合物和至少一种能调整聚合物成膜特性的增塑剂。
延迟持续释放治疗活性成分药物组合

[发明专利]成膜装置-CN202080040665.9在审
发明人：小野大祐 -专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜装置，其可形成抑制光学特性的恶化的平坦的膜。所述成膜装置是在工件10上形成膜的成膜装置，其包括：搬送部30，具有循环搬送工件10的旋转台31；成膜处理部40，具有包含构成膜的材料的靶42、及将被导入靶42与旋转台31之间的溅射气体等离子体化的等离子体产生器，利用等离子体对靶42进行溅射而在工件10上形成膜；以及离子照射部60，照射离子；搬送部30以工件10穿过成膜处理部40与离子照射部60的方式循环搬送工件10，离子照射部60对工件10上的形成途中的膜照射离子
装置

[发明专利]树脂及制备方法、树脂组合物、光学膜、胶粘剂、聚合物-CN202111113030.X在审
发明人：邹海良;黄鑫;李亮亮;邢志浩;白建伟;周炜 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C08F220/30 文献下载
摘要：本申请还提供一种树脂聚合物、该树脂的制备方法、含有该树脂的树脂组合物、光学膜和光学胶粘剂。所述树脂聚合物为四种单体聚合组成的材料，通过四种功能性单体特有的功能特性调节成膜树脂的成膜、粘接特性、相溶性和紫外稳定性。
树脂制备方法组合光学胶粘剂聚合物