专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]透镜曝光装置-CN201180038786.0有效
  • 水村通伸 - 株式会社V技术
  • 2011-07-15 - 2013-04-03 - H01L21/027
  • 本发明提供一种隔开规定间隔固定有透镜阵列和掩模的透镜曝光装置,该透镜曝光装置能够容易且高精度将透镜阵列与曝光用基板之间的间隙调整到透镜的对准焦点位置。曝光用的激光通过透镜阵列3的透镜3a而被照射在蚀剂膜2上。来自显微10的光通过掩模4的Cr膜5的孔5b中,在透镜3b中透射而照射在蚀剂膜2上。通过使用显微10观察在该透镜3b中透射的光是否在蚀剂膜2上对准焦点,从而能够判别由透镜3a聚束于蚀剂膜2的曝光光的对准焦点。
  • 透镜曝光装置
  • [发明专利]一种地弹的电流-CN202210393620.0有效
  • 周泽坤;任航;林镇熙;王卓;张波 - 电子科技大学
  • 2022-04-15 - 2023-02-07 - G05F3/26
  • 本发明属于集成电路技术领域,具体涉及一种地弹的电流。本发明主要由两对电流构成,第一对电流的等效面积比为5:1,由第一PMOS管MP1和栅耦合串接的第二PMOS管MP2~第六PMOS管MP6五个管子构成,也就是这对电流首先将输入IBias缩小到IBias/5,第二对电流起到电流“分配”的作用,由第七PMOS管MP7和栅耦合串接的第八PMOS管MP8~第十七PMOS管MP17十个管子构成电流,在整体上实现了1000倍的电流缩放。本发明提出的一种地弹的电流源,可以有效克服上述缺陷,保障电流源在电源管理芯片当中的实用性,即使有较为严重的地弹,也可以保证电流源上电流值的精确性。使得电流源在地弹较为严重的芯片中有了应用的可能。
  • 一种电流
  • [发明专利]一种用扭梁及具有该扭梁的电磁式扫描-CN202110852470.0有效
  • 顾雯雯;涂旭 - 西南大学
  • 2021-07-27 - 2022-09-30 - G02B26/10
  • 本发明涉及一种弯折梁及具有该弯折梁的电磁式扫描,属于微光机电系统领域。该弯折梁的中间部分经多次弯折形成近回形结构。通过两个弯折梁将板悬置连接在固定边框内侧,板能够绕弯折梁轴线进行偏转。弯折梁能够有效降低梁的扭转刚度,提升扫描的机械扫描性能,还能起到缓冲作用,提高了器件的振动和抗冲击能力,从而弯折梁可以支撑较大尺寸的扫描。可以与板的厚度相同,这不仅减小了器件的加工时间和加工难度,提高加工效率,同样有助于提高器件的结构可靠性。板背面掏槽以减重,提高器件在环境振动中的稳定性,减少谐振频率。利用MEMS技术将固边边框、板与弯折梁集成在一起,工艺简单。
  • 一种微镜用扭梁具有电磁式扫描
  • [发明专利]芯片及激光设备-CN202110529716.0在审
  • 赵飞;冯志宏;徐景辉 - 华为技术有限公司
  • 2021-05-14 - 2022-11-15 - G02B26/08
  • 本申请实施例公开了一种芯片及激光设备,可用于自动驾驶汽车、智能机器人、VR/AR等智能系统。该芯片包括:固定框架、可动部件和第一悬臂,其中,该可动部件通过该第一悬臂和该固定框架连接;该第一悬臂的表面上设有凸部,该凸部的长度不大于该第一悬臂的长度,该凸部的宽度小于该第一悬臂的宽度。由此,通过在第一悬臂上设置凸部,提高了第一悬臂厚度,增大了的振动频率,避免芯片在冲击振动等情况下发生过大形变导致第一悬臂断裂损坏,提升振性能。
  • 芯片激光设备
  • [发明专利]一种磁性位移平台式平面反射激光干涉仪的标定方法和测量方法-CN201510365983.3有效
  • 张白;周春艳 - 北方民族大学
  • 2015-06-29 - 2017-07-28 - G01B9/02
  • 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性位移平台式平面反射激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述磁性位移平台式平面反射激光干涉仪,包括有激光源、微动平面反射、干涉测量光电探测器、移动平面反射、分光组和磁性位移平台,所述微动平面反射设置在所述磁性位移平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动平面反射反射至所述分光组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现环境干扰的目的。
  • 一种磁性位移平台平面反射激光干涉仪标定方法测量方法
  • [实用新型]一种磁性位移平台式角反射激光干涉仪-CN201520454074.2有效
  • 李享梅;许诚昕;张白 - 成都信息工程大学
  • 2015-06-29 - 2015-10-14 - G01B9/02
  • 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性位移平台式角反射激光干涉仪,包括有激光源、微动角反射、干涉测量光电探测器、移动角反射、分光组和磁性位移平台,所述微动角反射设置在所述磁性位移平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动角反射反射至所述分光组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动角反射反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现环境干扰的目的。
  • 一种磁性位移平台反射激光干涉仪
  • [实用新型]一种磁性位移平台式平面反射激光干涉仪-CN201520452679.8有效
  • 周春艳;张白 - 北方民族大学
  • 2015-06-29 - 2015-10-14 - G01B9/02
  • 本实用新型涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性位移平台式平面反射激光干涉仪,包括有激光源、微动平面反射、干涉测量光电探测器、移动平面反射、分光组和磁性位移平台,所述微动平面反射设置在所述磁性位移平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动平面反射反射至所述分光组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现环境干扰的目的。
  • 一种磁性位移平台平面反射激光干涉仪

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