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[发明专利]一种MEMS微镜阵列及制作方法-CN202211033349.6在审
发明人：李伟;李芳萌;徐静 -专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS微镜阵列及制作方法，MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且MEMS微镜的正面具有电极焊盘；布线基板具有开孔，且布线基板的背面具有焊盘；通过将布线基板固定于MEMS微镜基板上方，使得焊盘与电极焊盘对应电连接，以实现MEMS微镜基板与布线基板的直接电连接，且开孔与反射镜一一对应设置以显露反射镜。本发明可减少传输路径降低损耗、显著提高MEMS微镜阵列的成品率、降低MEMS微镜阵列的加工制造难度、降低制造成本，从而有助于进一步拓展MEMS微镜阵列的应用领域。
一种 mems 阵列制作方法

[发明专利]高占空比MEMS微镜、微镜阵列及制备方法-CN202111004154.4有效
发明人：李伟;徐静 -专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高占空比MEMS微镜、微镜阵列及制备方法，该MEMS微镜的第一可动梳齿、第一固定梳齿位于反射镜硅层的下方，在实现两个方向大角度偏转的同时，提高了MEMS微镜的占空比，有效减小了MEMS微镜的体积反射镜硅层下方带有加强筋结构，有效改善了MEMS微镜在静止及运动过程中的表面平整度。此外，本发明的MEMS微镜提供了包括双面电极结构在内的多种电极引出形式，应用时可以根据实际情况进行选择，更有利于MEMS微镜及微镜阵列的市场化应用。
高占空 mems 微镜阵列制备方法

[实用新型]一种MEMS微镜阵列-CN202222262196.4有效
发明人：李伟;李芳萌;徐静 -专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MEMS微镜阵列，MEMS微镜基板包括连接在一起的呈阵列分布的MEMS微镜，且MEMS微镜的正面具有电极焊盘；布线基板具有开孔，且布线基板的背面具有焊盘；通过将布线基板固定于MEMS微镜基板上方，使得焊盘与电极焊盘对应电连接，以实现MEMS微镜基板与布线基板的直接电连接，且开孔与反射镜一一对应设置以显露反射镜。本实用新型可减少传输路径降低损耗、显著提高MEMS微镜阵列的成品率、降低MEMS微镜阵列的加工制造难度、降低制造成本，从而有助于进一步拓展MEMS微镜阵列的应用领域。
一种 mems 阵列

[发明专利]一种调节微透镜阵列焦距的方法及装置-CN201711204830.6有效
发明人：马文英;汪为民 -专利权人：成都信息工程大学
申请日： 2017-11-27 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G02B7/10 文献下载
摘要：本发明涉及微光学元件技术领域，具体涉及一种调节微透镜阵列焦距的方法及装置，包括设有微透镜阵列，微透镜阵列设有微透镜，其特征在于：还设有微镜阵列，微镜阵列设有微镜，所述微镜阵列的每个微镜沿光轴前后移动，从而改变聚焦光斑的位置，实现对与之对应的微透镜焦距的调节和改变。应用本方法的装置中包括一个微透镜阵列和一个微镜阵列，二者具有相同的单元间距。入射平行光将首先穿过微透镜阵列，继而被微镜阵列反射，反向穿过微透镜阵列，最终汇聚为一个光斑阵列，且其单元间距同样与微透镜阵列的单元间距相等。本发明解决了微透镜阵列无法调焦的问题，且方法简单、操作方便。
一种调节透镜阵列焦距方法装置

[发明专利]基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪-CN201610880144.X有效
发明人：代克杰;赵志敏;高玲肖;王艳辉;卞和营 -专利权人：平顶山学院
申请日： 2016-10-10 - 公布日： 2017-12-22 - 主分类号： G01J3/433 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于分区式数字微镜的高光通量光谱仪；该光谱仪中的分区式数字微镜含有两个分别编码调制的微镜阵列区第一微镜阵列区和第二微镜阵列区；光源射出的光线经过准直透镜后到达分光器件，第一会聚透镜设置在分光器件的出射光路，分区式数字微镜的第一微镜阵列区设置在第一会聚透镜的出射光路，第二会聚透镜设置在第一微镜阵列区开状态时的出射光路，反射镜设置在第一微镜阵列区关状态时的出射光路，分区式数字微镜的第二微镜阵列区设置在反射镜的出射光路，第三会聚透镜设置在第二微镜阵列区开状态时的出射光路，单点探测器同时位于第二会聚透镜和第三会聚透镜的焦点处；本发明不仅具有较高的光通量，而且结构紧凑、生产成本低。
基于分区数字光通量光谱仪

[发明专利]数字微反射镜元件-CN200710127392.8无效
发明人：罗伟诚;许年辉 -专利权人：中强光电股份有限公司
申请日： 2007-07-02 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种数字微反射镜元件，其包含壳体、数字微反射镜芯片、透明封装元件，以及导热片。数字微反射镜芯片位于壳体中。透明封装元件位于数字微反射镜芯片之上，用以封装数字微反射镜芯片，使外界一光束可以由此穿透透明封装元件至数字微反射镜芯片。导热片连接透明封装元件与壳体。本发明数字微反射镜元件采一导热片连接透明封装元件与壳体，以将数字微反射镜元件于工作过程中产生的热能，透过导热片传导至壳体，并可吸收投射至数字微反射镜元件上的杂散光。
数字反射元件

[实用新型]一种投影仪光机装置-CN202320029119.6有效
发明人：韩涛 -专利权人：深圳科田旭光科技有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G03B21/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及激光投影仪技术领域，公开了一种投影仪光机装置，包括数字微镜芯片模组、光学棱镜模组和安装壳体。数字微镜芯片模组，包括数字微镜芯片和水冷板，所述水冷板设置于所述数字微镜芯片背面，所述数字微镜芯片用于处理投影激光光束；光学棱镜模组，用于将投影激光光束光学处理后投影至所述数字微镜芯片；安装壳体，所述数字微镜芯片模组和所述光学棱镜模组均安装于所述安装壳体本实用新型将水冷板设置于数字微镜芯片背面，使得投影机光机装置能够让数字微镜芯片始终处于最佳工作状态。
一种投影仪装置

[发明专利]一种光刻机微反射镜阵列角位置计算方法-CN202310585227.6在审
发明人：黄振鑫 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供一种光刻机微反射镜阵列角位置计算方法，包括步骤：设置光瞳面与微反射镜阵列之间的位置约束条件，并基于位置约束条件设置微反射镜提取约束条件；根据提取半径和提取角度提取光瞳面上的光瞳点，并以象限为规则将提取的光瞳点归类至对应象限的光瞳面队列；提取半径和提取角度提取微反射镜阵列上的各微反射镜，并以象限为规则将提取的微反射镜归类至对应象限的微反射镜队列；将光瞳面队列与微反射镜队列进行赋值运算，根据赋值运算确定光瞳点对应角位置分布的微反射镜在微反射镜阵列上的角位置，微反射镜在微反射镜阵列上的角位置使其反射的光束经偏振转换组件入射至光瞳面后出射的光束满足远心度和偏振均匀性的要求。
一种光刻反射阵列位置计算方法

[发明专利]一种光刻机自由光瞳照明控制系统-CN202310975318.0在审
发明人：陈浩然;童长青;刘清沁 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角位置和初始驱动电压发送至控制中心；控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转；微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至控制中心；控制中心还用于根据实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直至各微反射镜实现目标照明模式。该控制系统能够对若干微反射镜高速、同步、闭环控制，提供精确的照明模式。
一种光刻自由照明控制系统

[发明专利]数字微镜器件及其形成方法-CN201110297787.9有效
发明人：毛剑宏;唐德明 -专利权人：上海丽恒光微电子科技有限公司
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种数字微镜器件及其形成方法，数字微镜器件包括：基底，基底上形成有微镜器件控制电路结构；数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板；相对设置的两个卡口，卡口固定且与微镜器件控制电路结构电连接，反光镜的两相对侧边可活动设置在卡口内，在反光镜与卡口接触时，卡口与反光镜电连接；在其中一个第一极板和对应的第二极板之间具有电压差时，反光镜在第一极板的带动下向对应的第二极板方向偏转。本技术方案结构简单，反射镜的两相对侧边可活动置于卡口内，这样可以提高数字微镜器件的灵敏度。
数字器件及其形成方法

[发明专利]一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置-CN201910287022.3有效
发明人：代俊;李凯权;吴娇娇;常辉;熊壮;谢晋;隋丽;石庚辰 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G02B6/35 文献下载
摘要：本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构组成。MOEMS光开关的通和断是通过固定式光纤和可动式微镜组成的反射式光路的通和断实现，可动式微镜的运动通过电热驱动器机构实现，微镜上设计有保险槽和定位槽，利用电热保险机构卡入保险槽和定位槽实现对微镜的保险和定位本发明要解决的技术问题为：解决引信全电子安全系统电磁兼容性差的问题，具有下述优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(3)电磁兼容性好；(4)工作可靠、适用性强。
一种基于电热驱动式微 moems 开关装置

[发明专利]折反射光场镜头和包括折反射光场镜头的图像拾取设备-CN201480067614.X有效
发明人：李星昊;李太熙;韩熙喆 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： G02B17/08 文献下载
摘要：该折反射光场镜头具有：可更换微反射镜阵列，所述可更换微反射镜阵列包括以同心环的形式被布置的多个微反射镜；光入射区域，所述光入射区域形成在微反射镜阵列的周围；主反射镜，所述主反射镜被构造为反射通过光入射区域入射的光并将光会聚在微反射镜阵列；光出射区域，所述光出射区域穿过主反射镜的中心部分形成以面向微反射镜阵列。
反射光镜头包括图像拾取设备

[发明专利]MEMS微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质-CN202010367849.8在审
发明人：余晖俊;沈文江;黄艳飞;李小光;史庆刚 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS微镜的驱动控制方法、装置及计算机存储介质，所述驱动控制方法包括：获取MEMS微镜的当前环境温度；根据温度与目标电压值的对应关系计算MEMS微镜在当前环境温度下的目标电压值；获取MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值；判断当前电压值与目标电压值之间的差值是否大于预定的电压阈值；若大于，则调整MEMS微镜的驱动信号，以使得差值小于电压阈值。本发明根据MEMS微镜的当前环境温度来获得目标电压值，通过比较MEMS微镜在当前环境温度下的当前电压值与目标电压值之间的大小来判断是否需要对MEMS微镜的驱动信号进行调整，从而在实时监测MEMS微镜的偏转角度的同时考虑环境温度对MEMS微镜的偏转角度的影响，以实现对MEMS微镜的偏转角度的精确控制。
mems 驱动控制方法装置计算机存储介质

[发明专利]一种针对拉曼光谱仪应用的反射微镜控制电路-CN202011318948.3在审
发明人：邓哲文;汪洁;王晓荣;蒋旭 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对拉曼光谱仪应用的反射微镜控制电路，包括：包括主控单元、反射微镜控制单元和微镜反射单元；控单元，用于控制系统启动并向控制电路部分发送指令；反射微镜控制单元，用于将主控单元发送的指令转换为微镜反射单元执行所需的指令，建立主控单元与微镜之间的联系，根据检测原理选配适应元件；微镜反射单元，用于接收反射微镜控制单元发送的指令，并根据指令使部分微镜翻转，使照射在其表面的一部分光被反射。本电路很好的解决市场上常用电路针对反射微镜的控制电路适用性不足和价格高的问题，并且很好地对微镜反射单元实现控制，使其具有较好的稳定性和抗干扰能力，能够较好地适用于拉曼光谱仪领域。
一种针对光谱仪应用反射控制电路

[发明专利]微反射镜阵列反射光光斑位置标定方法、装置及标定设备-CN202310587554.5在审
发明人：黄振鑫 -专利权人：上海镭望光学科技有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种微反射镜阵列反射光光斑位置标定方法、装置及标定设备，标定方法包括步骤：采集各微反射镜在若干组初始电压下产生的光斑位置，并计算光斑位置所对应的光斑质心坐标；将微反射镜所在阵列排布中的位置、所对应的初始电压和所述初始电压产生的光斑质心坐标按预设数据格式存储，生成微反射镜标定数据集，并根据微反射镜标定数据集生成插值表；采用插值方法将插值表中的微反射镜标定数据集与目标光斑位置坐标进行插值运算，以获得目标光斑位置坐标所对应的微反射镜的目标标定电压，通过目标标定电压对微反射镜的反射光光斑位置进行标定由微反射镜的电压直接对微反射镜的反射光光斑位置进行标定，能够更精确地控制微反射镜反射。
反射阵列反射光光斑位置标定方法装置设备