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[实用新型]单晶硅棒截断机-CN201520748707.0有效
发明人：卢建伟 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2016-04-20 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒截断机，包括：机座；设于机座的物料输送台，用于承载待切割的单晶硅棒并驱动单晶硅棒沿着单晶硅棒的轴向进行输送；多线切割装置，包括设于机座的机架和设于机架且通过一升降机构而可升降地设于物料输送台的上方的多个线切割单元，多个线切割单元在升降机构的控制下同步下降至物料输送台并同时对单晶硅棒进行切割以将单晶硅棒切割为多个单晶硅区段，切割后的多个单晶硅区段再通过物料输送台进行依序卸料。本实用新型通过多线切割装置可以同时将待切割的单晶硅棒切割成多段，切割速度快，切割完的单晶硅区段由物料输送台分段移出到收料台进行依序卸料，保证每个单晶硅区段不碰撞。
单晶硅截断

[实用新型]一种单晶硅棒开方夹持装置-CN201821888906.1有效
发明人：朱文志;黄奇勋;黄田玉;林孝狮;李元业;林光展 -专利权人：福州天瑞线锯科技有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒开方夹持装置，包括单晶硅棒夹持机构；所述单晶硅棒夹持机构包括前端夹持机构、尾端夹持机构及单晶硅棒夹持机构驱动机构；所述尾端夹持机构与前端夹持机构正对设置，用于夹持和旋转单晶硅棒；所述单晶硅棒夹持机构驱动机构设置于尾端夹持机构和前端夹持机构之间，用于驱动尾端夹持机构和前端夹持机构相互靠近或远离；所述尾端夹持机构和前端夹持机构均设置有传感器，所述传感器用于扫描单晶硅棒的形状特征。本实用新型具有在夹持单晶硅棒的同时，能够检测出单晶硅棒的中轴线和晶线所处位置，从而调节单晶硅棒位置提供了信息，保证切割机构始终是沿着单晶硅棒的晶线进行切割的优点。
夹持机构单晶硅棒尾端本实用新型夹持装置驱动机构开方传感器夹持切割机构所处位置位置提供形状特征正对设置中轴线切割扫描驱动检测保证

[实用新型]一种单晶硅粉碎器-CN202222780704.8有效
发明人：杨定勇;张力峰;邹文龙 -专利权人：扬州晶樱光电科技有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B02C1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶硅粉碎技术领域，具体为一种单晶硅粉碎器，包括单晶硅粉碎器主体、伺服电机和液压杆，所述单晶硅粉碎器主体的顶端固定连接有进料口，所述单晶硅粉碎器主体的内部开设有输送槽，所述单晶硅粉碎器主体的内部固定安装有伺服电机，所述输送槽的底端固定连接有出料口，所述单晶硅粉碎器主体的内部开设有筛分槽。本实用新型通过设置有伺服电机，伺服电机带动螺旋叶片将单晶硅慢慢输送到右侧，掉落在斜杆上方，小颗粒的单晶硅会从斜杆之间落下，大颗粒的单晶硅会在两组斜杆之间滑动，最终滑动到斜杆的左侧，分别掉落在第一漏斗和第二漏斗内，进入粉碎槽挤压粉碎，避免不同大小的单晶硅粉碎效果不好。
一种单晶硅粉碎

[实用新型]一种单晶硅棒截断传送装置-CN201621412418.4有效
发明人：汪沛渊;陈伟;李林东;欧子杨;陈林军;邓清香;肖贵云;胡颖;金浩 -专利权人：晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅棒截断传送装置，包括两块以预设夹角固定的支撑板，两块支撑板的内侧壁上设有多个便于单晶硅棒沿其轴线方向移动的滚轮，单晶硅棒和滚轮相互接触。应用本实用新型提供的传送装置时，单晶硅棒和滚轮相互接触，使得在推动单晶硅棒的时候，可以使得滚轮进行自转，因此可以减少单晶硅棒移动时的阻力，便于工作人员推动单晶硅棒，使得单晶硅棒更容易的被送入截断机内。
一种单晶硅截断传送装置

[发明专利]N型单晶硅的制造方法及掺磷N型单晶硅-CN201180068406.8有效
发明人：児玉义博;佐藤贤一;中泽庆一 -专利权人：信越半导体股份有限公司
申请日： 2011-02-23 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： C30B13/12 文献下载
摘要：本发明是一种N型单晶硅的制造方法，其是利用FZ法来制造单晶硅，其特征在于，通过使用以Ar为基础成分的PH3气体与以Ar为基础成分的B2H6气体，作为掺杂气体进行掺杂，来制造N型单晶硅。由此，提供一种N型单晶硅制造方法及N型单晶硅，所述N型单晶硅制造方法即使是在利用FZ法来制造单晶硅，尤其是制造直径8英寸（200mm）以上的单晶硅时，也可以防止产生OSF。
单晶硅制造方法

[发明专利]一种利用单晶硅籽晶诱导生长铸造单晶硅的方法及产品-CN201310754926.5无效
发明人：余学功;原帅;杨德仁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用单晶硅籽晶诱导生长铸造单晶硅的方法及产品，具体是先在坩埚内壁涂上一层高纯的氮化硅或氧化硅层，然后在坩埚底部中心放置一小块无位错单晶硅籽晶，再打开对应于单晶硅籽晶的坩埚底部冷却水或冷却气体对中心的单晶硅籽晶进行冷却，通过热场控制温度梯度为5～30℃/cm，形成以单晶硅籽晶为中心的球冠型固液界面，最后逐步打开保温罩，再经降温冷却后形成全单晶化的铸造单晶硅。所述的制备方法减少了单晶硅籽晶的用量，大幅降低了单晶硅籽晶的制备和材料成本，同时通过改进热场控制有效减少边缘多晶硅区域、提高类单晶的比例；制备得到的铸造单晶硅的位错密度可以有效控制在10⁶
一种利用单晶硅籽晶诱导生长铸造方法产品

[发明专利]一种n型单晶硅的生长方法-CN201610364056.4在审
发明人：张俊宝;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种n型单晶硅生长方法，选择P作为n型单晶硅的主掺杂元素，且在单晶硅生长过程中加入，加入具有相反作用的Ga作为半导体单晶硅副掺杂元素，抵消单晶硅中P浓度增量，控制单晶硅生长过程中的电阻波动。同时当单晶硅的重量达到特定要求时，一次或多次加入副掺杂元素Ga，可进一步精确控制单晶硅中的共掺杂元素综合浓度，减小电阻率的波动，也可以避免副掺杂元素的挥发性对熔体中掺杂元素浓度的影响，提高单晶硅生长的良品率
一种单晶硅生长方法

[发明专利]制造单晶硅的方法-CN201280063685.3在审
发明人：加藤英生;久府真一 -专利权人：硅电子股份公司
申请日： 2012-07-10 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：提供了制造单晶硅的方法，其能够在采用由同一坩埚中的原料熔体提拉多根单晶硅的多重提拉法生长单晶硅时减少单晶硅的位错的产生。解决问题的手段：制造单晶硅的方法涉及采用通过Czochralski法在腔室内由同一坩埚(8)中的原料熔体(7)提拉多根单晶硅(1)的多重提拉法制造单晶硅(1)的方法，该方法包括省略掉单晶硅(1)的尾部的形成的至少一部分并由所述原料熔体分离出单晶硅的步骤
制造单晶硅方法

[发明专利]单晶硅切方机构-CN200510094904.6无效
发明人：冯金生;蔡平 -专利权人：冯金生
申请日： 2005-10-20 - 公布日： 2007-04-25 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅切方机构，机构的床身上固联一支架，支架上固联有直线导轨，直线导轨上设置有工作台，工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置，工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动；工作台上端外侧设置有两台电机，电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动；主轴的前端设置有锯片夹头，锯片夹头上分别夹持有锯片，两锯片间的中心线与单晶硅中心线重合；单晶硅夹持在单晶硅夹具上；单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上，单晶硅夹具体安装在床身上，单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。转动锯片，同时，单晶硅夹具带动单晶硅棒料沿中心线运动，从而切割单晶硅棒料，切割后的单晶硅成对称矩形。锯片为盘锯片，锯片的齿间设置有合金粉末。动力头为机械动力头。本发明结构简单，是当前是理想的单晶硅切方机构之一。
单晶硅机构

[实用新型]单晶硅切方装置-CN200520076510.3无效
发明人：冯金生;蔡平 -专利权人：冯金生
申请日： 2005-10-20 - 公布日： 2006-10-11 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶硅切方装置，装置的床身上固联一支架，支架上固联有直线导轨，直线导轨上设置有工作台，工作台的上端内侧设置有工作台驱动装置，工作台驱动装置可以驱动工作台沿导轨上下运动；工作台上端外侧设置有两台电机，电机通过皮带带动安装在工作台上动力头的主轴转动；主轴的前端设置有锯片夹头，锯片夹头上分别夹持有锯片，两锯片间的中心线与单晶硅中心线重合；单晶硅夹持在单晶硅夹具上；单晶硅夹具沿锯片间中心线安装在单晶硅夹具体上，单晶硅夹具体安装在床身上，单晶硅夹具体可沿锯片中心线运动。转动锯片，同时，单晶硅夹具带动单晶硅棒料沿中心线运动，从而切割单晶硅棒料，切割后的单晶硅成对称矩形。锯片为盘锯片，锯片的齿间设置有合金粉末。动力头为机械动力头。本实用新型结构简单，是当前理想的单晶硅切方装置之一。
单晶硅装置

[实用新型]一种太阳能单晶硅棒-CN201220437377.X有效
发明人：王桂奋;谢德兵;王迎春 -专利权人：金坛正信光伏电子有限公司
申请日： 2012-08-30 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能单晶硅棒，包括复数根单晶硅棒体叠加而成，单晶硅棒体的上表面设有与单晶硅棒体相贴合的保护膜，保护膜上覆盖有粘贴层，单晶硅棒体的下部设有底板，底板上涂覆有环氧树脂粘贴层，单晶硅棒体的两侧均设有挡板，单晶硅棒体通过挡板粘贴在底板上。所述的太阳能单晶硅棒，此设计的硅棒，能够在进行线网切割时，避免出现厚度不均匀的现象，能够有效地提高晶片的质量。
一种太阳能单晶硅

[发明专利]一种太阳能单晶硅片切片装置-CN201810532985.0在审
发明人：顾雨彤;刘昊天 -专利权人：顾雨彤
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明属于切片技术领域，具体的说是一种太阳能单晶硅片切片装置，包括安装架、单晶硅棒、切片单元、推片单元和张紧单元，安装架水平放置在地面上，安装架为L型，安装架上放置单晶硅棒，单晶硅棒为长方体；切片单元安装在安装架上，切片单元用于对单晶硅棒进行切片；推片单元用于将单晶硅棒推向切片单元；张紧单元用于配合切片单元和推片单元对单晶硅棒进行切割，工作时，手动将需要单晶硅棒放入推片单元中的放置座上，推片电机带动凸轮转动从而使切片单元中的切刀往下运动，推片单元带动单晶硅棒运动至合适位置时，切片单元对单晶硅棒进行切割，通过推片单元和张紧单元的相互配合实现对单晶硅棒的等分切片，提高切片效率。
单晶硅棒切片单元推片安装架张紧单元太阳能单晶硅片切片装置切片切割电机带动凸轮合适位置切片技术切片效率放置座放入切刀配合转动

[发明专利]单晶硅太阳能电池及其制作方法-CN201210529746.2有效
发明人：杨瑞鹏;张开军;付建明;温显 -专利权人：杭州赛昂电力有限公司
申请日： 2012-12-06 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种单晶硅太阳能电池及其制作方法，所述单晶硅太阳能电池的制作方法包括：提供基片，所述基片为第一类型单晶硅片；对所述基片的表面进行第二类型掺杂，形成第一类型单晶硅层和位于所述第一类型单晶硅层上表面的第二类型单晶硅层；在所述第二类型单晶硅层的表面形成第一应力层；在所述第一应力层表面形成第一电极，在所述第一类型单晶硅层的下表面形成第二电极。所述单晶硅太阳能电池的制作方法能够有效提高单晶硅太阳能电池中载流子的迁移率，提高单晶硅太阳能电池的转换效率。
单晶硅太阳能电池及其制作方法

[发明专利]单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机-CN201710359458.X有效
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机，该方法应用于具有切圆及粗磨装置的单晶硅棒多工加工机中，包括步骤：将所述待加工的单晶硅棒置于所述切圆及粗磨装置的作业区；令所述切圆及粗磨装置对所述单晶硅棒的第一对及第二对连接棱面进行切圆作业；令所述切圆及粗磨装置对所述单晶硅棒的第一对及第二对侧面进行粗磨作业。利用本申请公开的单晶硅棒多工位加工方法及单晶硅棒多工位加工机，可对单晶硅棒进行包括切圆及粗磨作业的多工位加工作业，可提高生产效率并提高单晶硅棒加工作业的品质。
单晶硅棒多工位加工方法

[实用新型]一种微电子温度传感器-CN201120244390.9有效
发明人：秦明;蔡春华 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-07-12 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G01K5/48 文献下载
摘要：一种微电子温度传感器，在玻璃衬底上设置两个单晶硅锚区，之间的水平中心线上设置一条与玻璃衬底之间设有间距的单晶硅锁存杆，单晶硅锁存杆与上、下两个单晶硅锚区之间分别悬浮联接一组完全对称的多条斜向、间隔并行设置的单晶硅感温梁，在单晶硅锁存杆右侧，上下各设置3个单晶硅锚区，外侧的锚区与中间的锚区之间悬浮连接一热执行器，内侧的锚区悬浮连接一条水平单晶硅锁存钩，其钩头与单晶硅锁存杆的锁头相配，钩头背面与热执行器活动铰支联接，所有的单晶硅锚区均生根于玻璃衬底上表面
一种微电子温度传感器