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[发明专利]用于监视和控制半导体生产过程的方法和装置-CN03821970.0有效
发明人：梅里特·芬克;雷蒙德·比德森 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-09-25 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了一种包括图形用户接口(GUI)的高级过程控制(APC)系统用于监视和控制由半导体处理系统执行的半导体制造过程。该半导体处理系统包括多个处理工具、多个处理模块(室)和多个传感器，并且APC系统包括APC服务器、数据库、接口服务器、客户工作站和GUI组件。GUI是基于网络的并且用户能够通过网络浏览器进行查看。
用于监视控制半导体生产过程方法装置

[发明专利]一种半导体制造系统数据预处理方法及装置-CN202110206516.1在审
发明人：林国义;李莉 -专利权人：同济大学
申请日： 2021-02-24 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G06K9/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造系统数据预处理方法及装置，能够对半导体制造系统数据进行变换、清理和规约，提高了数据预处理的准确性和效率，能够可靠地去除异常的数据点，便于进一步的分析研究。本发明提供的半导体制造系统数据预处理方法，包括以下步骤：获取半导体制造系统的数据；对数据进行规范化处理；对数据的缺失值进行填补；基于数据聚类分析对所述补缺数据进行异常值探测，将异常值替换；基于变量聚类对数据进行冗余变量检测
一种半导体制造系统数据预处理方法装置

[发明专利]用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖-CN201210366180.6有效
发明人：包中诚;陈超 -专利权人：上海宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： F04D29/52 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖。用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连。所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。所述泵抽吸端口遮挡盖包括：环形侧壁、以及布置在环形侧壁外周的密封圈。
用于半导体制造抽吸端口遮挡

[发明专利]半导体用洗涤液及使用该洗涤液的洗涤方法-CN201380035843.9在审
发明人：佐佐卓;志垣修平 -专利权人：日产化学工业株式会社
申请日： 2013-07-08 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的课题是提供用于在半导体元件制造工序中，预先防止抗蚀剂图案形成后或半导体基板加工后产生的半导体基板上所产生的缺陷，为了在光刻工序中，在光刻用药液向半导体制造装置内通液之前，除去药液通液部分所存在的金属杂质等作为解决本发明的课题的方法是一种洗涤液，其用于对制造半导体的光刻工序中所使用的半导体制造装置内的光刻用药液的通液部分进行洗涤，所述洗涤液包含无机酸、水和亲水性有机溶剂。
半导体洗涤液使用洗涤方法

[实用新型]半导体制冷设备-CN95201226.X无效
发明人：吴建国 -专利权人：吴建国
申请日： 1995-01-20 - 公布日： 1995-11-15 - 主分类号： F25B21/00 文献下载
摘要：一种半导体制冷设备，它包括有壳体(1)，该壳体有底板(10)和侧板(11)，在其底板或侧板上安装有半导体制冷机芯总成。由于该设备无压缩机，不用制冷剂，因此，它具有无噪声、无污染、节约能源、体积小、重量轻、制造成本低的优点，可广泛用于渔船在捕捞过程中冷冻鱼虾等。
半导体制冷设备

[实用新型]清除半导体元器件上残胶的装置-CN200620036412.1无效
发明人：邹利华 -专利权人：成都华冠精密电子机械有限公司
申请日： 2006-11-27 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清除半导体元器件上残胶的装置，主要涉及半导体制造业。本实用新型要解决的问题是提供一种节约水资源、操作简单、环保的清除半导体元器件上残胶的装置。本实用新型所采用的技术方案是：清除半导体元器件上残胶的装置包括顺序设置切残胶单元、刷残胶单元；其中切残胶单元包括用于切割残胶的刀具(4)以及其他相应的器件；刷残胶单元包括用于刷除残胶的毛刷(5)、残胶废料收集装置以及其他相应的器件本实用新型主要用来清除半导体制造过程中元器件上的残胶。
清除半导体元器件上残胶装置

[发明专利]运输载体对接装置-CN202110784148.9在审
发明人：黄志宏;吴政隆;朱延安;李瑄;白峻荣 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：当气密密封存在于运输载体周围时，运输工具可以取得运输载体中的半导体晶片，这防止及/或减小半导体制造设施中的污染物触及半导体晶片的可能性。运输载体周围的气密密封可以减少由污染物引起的半导体晶片的缺陷、可以提高半导体制造厂的制造良率和质量、及/或可以允许持续缩小半导体晶片上所形成的集成电路及/或半导体元件的元件及/或构件的尺寸。
运输载体对接装置

[发明专利]多运输载体对接装置-CN202110787326.3在审
发明人：黄志宏;吴政隆;朱延安;李瑄;白峻荣 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：晶片运输工具可以取得运输载体中的半导体晶片，而围绕运输载体的气密密封防止及/或减小半导体制造设施中的污染物触及半导体晶片的可能性。围绕运输载体的气密密封可以减少由污染物引起的半导体晶片的缺陷、可以提高半导体制造厂的制造良率和质量、及/或可以允许持续缩小半导体晶片上所形成的集成电路及/或半导体元件的元件及/或构件的尺寸。
运输载体对接装置

[发明专利]面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法-CN201010291914.X有效
发明人：徐华;王巍;高士云;李垒;邓俊辉;潘晨光 -专利权人：清华大学
申请日： 2010-09-26 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H04L29/06 文献下载
摘要：本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的通信协议模式配置方法，包括以下步骤：将数字IO端口配置为布尔类型通信协议，将模拟IO端口配置为数值类型通信协议，将串口端口、以太网端口和DeviceNet端口配置为字符串类型通信协议本发明对外提供了统一的一个配置界面，针对三种通信协议类型的封包、解包、赋值过程中的调用接口也是使用同一种接口。另外，本发明可以配置出半导体制造装备领域的所有通信协议格式，因此在半导体制造装备领域具有通用性的特点。
面向半导体制造装备功能仿真通信协议模式配置方法

[发明专利]一种用于冷链运输的可控制冷量与风量的半导体制冷储藏箱-CN201910325880.2在审
发明人：邱兰兰;王瑜;鲍俊;许鑫洁;牛晓熠;刘金祥 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： F25D11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于冷链运输的可控制冷量与风量的半导体制冷储藏箱，包括保温的储藏箱箱体，在所述的箱体顶部设有一个制冷箱盖，在所述的制冷箱盖上设有自动控制的半导体制冷模块，所述的半导体制冷模块包括半导体制冷片，所述的半导体制冷片包括散热面和制冷面，其中散热面向上，与散热翅片贴合，散热翅片与散热风扇贴合将热端热量与外界空气换热；制冷面向下，与导冷风扇贴合。在半导体制冷储藏箱中应用激光感应器自动控制半导体制冷片启停的数量，通过点击按钮手动控制导冷风扇风速，能有效提高半导体制冷效率，系统结构简单，适用于冷链运输和配送过程。
半导体制冷储藏箱半导体制冷片冷链运输贴合半导体制冷模块散热翅片可控制冷风扇制冷箱风量冷量感应器自动控制点击按钮散热风扇手动控制外界空气系统结构箱体顶部应用激光散热面制冷面散热换热配送启停热端风速制冷保温

[发明专利]采用半导体制冷的换热装置及空调-CN202010314034.3在审
发明人：蒋国嵩;谢有富;邓朝胜 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用半导体制冷的换热装置及空调，所述换热装置包括：内换热器，所述内换热器为环状；半导体制冷装置，所述半导体制冷装置具有冷端和热端，所述半导体制冷装置的热端贴设在所述内换热器的外周壁上；外换热器，所述外换热器为环状，所述外换热器套设在所述内换热器上，所述半导体制冷装置的冷端贴设在所述外换热器的内周壁上。本发明的换热装置，通过将环状的外换热器套在内换热器外部，并将半导体制冷装置设置在二者之间，从而可以通过内换热器对半导体制冷装置热端散热，在内换热器不断散热过程中半导体制冷装置冷端的温度跟随不断变低，从而提高制冷效果
采用半导体制冷装置空调

[发明专利]一种基于半导体制冷的毛发移植分体设备-CN202210118992.2在审
发明人：孙志万 -专利权人：孙志万
申请日： 2022-02-08 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： A01N1/00 文献下载
摘要：本发明涉及毛发移植设备技术领域，具体涉及到一种基于半导体制冷的毛发移植分体设备。本申请的一种基于半导体制冷的毛发移植分体设备，包括一平台、半导体制冷机构、散热机构，所述半导体制冷机构安装于所述平台内，所述散热机构外接于所述平台外部，且所述散热机构与所述半导体制冷机构通过一管路相连通，所述半导体制冷机构内存储有用于吸收所述半导体制冷机构的热量的循环液，所述循环液经管路将吸收热量输送至所述散热机构，所述散热机构用于将循环液热量散去，并将散热后的循环液循环至半导体制冷机构内，实现制冷平台，大大提高毛发移植过程中夹取毛囊的安全性及方便性。
一种基于半导体制冷毛发移植分体设备

[实用新型]一种基于半导体制冷龙骨的战术背心及防暴装备-CN202020313785.9有效
发明人：陈泓斌;杨健;贾杭举;王超凡;郑金虎;夏嘉余;谢小燕;张藩潇 -专利权人：中国人民武装警察部队警官学院
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： F41H1/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种基于半导体制冷龙骨的战术背心及防暴装备。基于半导体制冷龙骨的战术背心可以包括背心本体。在背心本体内设置有半导体制冷龙骨。半导体制冷龙骨的冷端位于背心本体内侧，半导体制冷龙骨的热端位于背心本体的外侧。在背心本体上还是设置有电源。电源与半导体制冷龙骨电连接。本申请实施例的基于半导体制冷龙骨的战术背心及防暴装备可以利用半导体制冷龙骨将体表温度热转换至背心本体外，形成较好的散热效果，可以减小炎热天气对战术背心穿戴舒适性的不利影响。防暴装备同时可以背负盾牌，支撑盾牌，减缓冲击力，从而节省单兵持盾防御、奔袭过程中体力，实现单兵高效进攻与防守快速转换。
一种基于半导体制冷龙骨战术背心防暴装备

[实用新型]采用半导体制冷的换热装置及空调-CN202020600905.3有效
发明人：蒋国嵩;谢有富;邓朝胜 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2020-04-20 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种采用半导体制冷的换热装置及空调，所述换热装置包括：内换热器，所述内换热器为环状；半导体制冷装置，所述半导体制冷装置具有冷端和热端，所述半导体制冷装置的热端贴设在所述内换热器的外周壁上；外换热器，所述外换热器为环状，所述外换热器套设在所述内换热器上，所述半导体制冷装置的冷端贴设在所述外换热器的内周壁上。本实用新型的换热装置，通过将环状的外换热器套在内换热器外部，并将半导体制冷装置设置在二者之间，从而可以通过内换热器对半导体制冷装置热端散热，在内换热器不断散热过程中半导体制冷装置冷端的温度跟随不断变低，
采用半导体制冷装置空调

[实用新型]一种用于冷链运输的可控冷量与风量的半导体制冷储藏箱-CN201920552653.9有效
发明人：王瑜;邱兰兰;刘金祥 -专利权人：南京工业大学
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： F25D11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于冷链运输的可控冷量与风量的半导体制冷储藏箱，包括保温的储藏箱箱体，在所述的箱体顶部设有一个制冷箱盖，在所述的制冷箱盖上设有自动控制的半导体制冷模块，所述的半导体制冷模块包括半导体制冷片，所述的半导体制冷片包括散热面和制冷面，其中散热面向上，与散热翅片贴合，散热翅片与散热风扇贴合将热端热量与外界空气换热；制冷面向下，与导冷风扇贴合。在半导体制冷储藏箱中应用激光感应器自动控制半导体制冷片启停的数量，通过点击按钮手动控制导冷风扇风速，能有效提高半导体制冷效率，系统结构简单，适用于冷链运输和配送过程。
半导体制冷片半导体制冷储藏箱贴合半导体制冷模块冷链运输散热翅片冷风扇制冷箱感应器自动控制本实用新型点击按钮散热风扇手动控制外界空气系统结构箱体顶部应用激光散热面制冷面散热风量风速换热可控冷量配送启停热端制冷保温