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[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN201811107656.8在审
发明人：岩坂英昭;水永耕市;林田贵大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供加热处理装置和加热处理方法。在将基板在热处理空间中加热之际，防止热处理空间内的气流的停滞的产生而使升华物的排气所需要的排气量减少。热处理空间(S)的侧面部由具有外侧闸门(260)和内侧闸门(270)的闸门构件(250)构成。210)的热板(211)上的晶圆(W)相同的高度的、闸门构件(250)下端部的空隙(d1)成为水平层流而朝向晶圆(W)供给，供气(B)从处于比晶圆(W)高的位置的闸门构件(250)的上端部的空隙(d2)向热处理空间
热处理空间供气闸门构件晶圆加热处理装置加热处理闸门排气量减少水平层流侧面部流量比上端部升华物下端部载置台基板热板排气加热停滞

[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN201980019855.X在审
发明人：大塚幸信;相良慎一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：对形成于基板的涂布膜进行加热处理的加热处理装置具有：载置部，其载置基板；加热部，其用于将载置的基板进行加热；环状体，其以包围该载置部的外周的方式设置；盖体，其覆盖该载置部，并且通过盖体的下表面与所述环状体抵接或接近来形成加热处理空间；中央排气部，其配置于该盖体的中央部，用于对该加热处理空间内进行排气；以及控制部，其对载置于该载置部的基板的加热处理进行控制，其中，该控制部进行控制以进行以下工序：第一加热处理工序，在形成该加热处理空间并且在该加热处理空间内存在基板的状态下，不对该加热处理空间内进行排气，进行该基板的加热；以及第二加热处理工序，使该中央排气部工作来对该加热处理空间内进行排气，并且进行该基板的加热。
加热处理装置方法

[发明专利]加热处理装置以及加热处理方法-CN202010592474.5在审
发明人：高木慎介;久我恭弘;大塚幸信;相良慎一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种加热处理装置以及加热处理方法。抑制在对基板进行加热时产生的升华物所带来的不良影响。一种加热处理装置，其在处理容器内对形成有涂布膜的基板进行加热，该加热处理装置具有：载置部，其设于所述处理容器内，用于载置所述基板；加热部，其用于对载置于所述载置部的基板进行加热；抽吸管，其与形成于所述载置部的抽吸口相通，贯穿所述载置部并向正下方延伸；以及收集容器，其设于所述抽吸管和抽吸机构之间的抽吸路径，所述收集容器构成为，设于俯视时所述载置部的正下方，与所述抽吸管连接，用于收集所述处理容器内的升华物。
加热处理装置以及方法

[发明专利]加热处理装置及加热处理方法-CN201410011601.2有效
发明人：冈本敏宏;平田利雄;狩山昌弘;藤原惠子;矢泽真裕 -专利权人：藤原酿造机械株式会社
申请日： 2014-01-10 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： A23L3/16 文献下载
摘要：提供能够不夹装防倒流用的机械装置而将粉粒体向冷凝性气体投入且加热效率良好的加热处理装置及加热处理方法。一种加热处理装置（1），具备供给粉粒体（10）的供给机构（6）、被从供给机构（6）投入粉粒体（10）的粉粒体投入部（7）、向供给机构（6）或粉粒体投入部（7）吹入非冷凝性气体的非冷凝性气体供给部（20、23）、向粉粒体（10）和非冷凝性气体的混合物吹入冷凝性气体的冷凝性气体供给部（26）、和通过冷凝性气体将粉粒体（10）加热的加热部（8）；粉粒体投入部（7）配置为，使与非冷凝性气体混合的粉粒体（10）朝向加热部（8）从上方向下方流动；粉粒体（10）在加热部（8）中被投入到加压的冷凝性气体的气流中而被加热处理。
加热处理装置方法

[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN201510916892.4有效
发明人：水田诚人;川路辰也;中野圭悟 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2015-12-10 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种在对形成于晶片的涂敷膜进行加热处理时，能够防止升华物向处理容器外部泄露且对于涂敷膜的膜厚能够获得良好的面内均匀性的技术。在将涂敷有SOC膜的晶片载置于处理容器(1)内，加热晶片使交联反应进行时，一边从中央排气口(34)以少的流量排气，并从外周排气口(31)以大的流量排气，一边使交联反应进行。在另一例中，从晶片的加热开始起仅进行外周排气口(31)的排气，从晶片的加热开始起20秒后除了从外周排气口(31)排气之外，还从中央排气口(34)排气。在又一例中，从晶片的加热开始的20秒间仅从外周排气口(31)排气，之后，停止外周排气口(31)的排气，并且从中央排气口(34)排气。
加热处理装置方法

[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN201480035268.7在审
发明人：池田伸一;仁衡琢磨;高梨宏一;真野泰広 -专利权人：独立行政法人产业技术综合研究所;企鹅系统有限公司;NEC照明株式会社
申请日： 2014-09-12 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： E04G23/02 文献下载
摘要：排列多个包括热辐射光源(101)和反射镜(102)的聚光加热单元(11)而构成的加热处理头(10)沿着被加热体的表面移动，同时加热处理被加热体。加热处理头(10)包括沿着所述加热处理头(10)的移动方向上排放有2个以上的聚光加热单元(11)的单元列。构成各单元列的聚光加热单元(11)中，加热处理头(10)的移动方向上前方的聚光加热单元(11)的热辐射光源(101)比后方的聚光加热单元(11)的热辐射光源(101)的供给功率低。
加热处理装置方法

[发明专利]加热处理装置和加热处理方法-CN200580032828.4有效
发明人：冈田民雄;重光硕;佐佐木忠男;吉川英雄;白川克行;岸田了一;竹内晋之介;大须贺繁;大泽文明 -专利权人：日本坩埚株式会社
申请日： 2005-09-01 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： F27D7/02 文献下载
摘要：一种加热处理装置，包括：具有燃烧室(13)的装置本体(10)；将加热气体供给至燃烧室(13)的燃烧器(20)；将在上述燃烧室(13)中产生的燃烧气体向外部排出的烟道；和收容在燃烧室(13)中的加热容器(加热容器(15)有底，在上部具有开口，该开口利用盖体(16)自由开闭，形成有在关闭盖体(16)的状态下与燃烧室(13)的上部连通的连通部(153)。利用该加热处理装置，能够使处理中产生的排出气体保持清洁，同时在废弃物中含有有价金属的情况下，能够高效地将其回收。
加热处理装置方法

[发明专利]一种厚壁容器局部热处理方法-CN201910839562.8在审
发明人：杨红权;李秋石;徐祥久 -专利权人：哈尔滨锅炉厂有限责任公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C21D9/50 文献下载
摘要：一种厚壁容器局部热处理方法，属于容器局部热处理方法技术领域。一、在需要局部热处理的焊缝上布置加热器，该加热器的引出导线由镍基材料Cr20Ni80制成，导线的长度根据局部热处理位置到炉门的距离确定，加热器电阻丝由0Cr27Al7Mo2材质制成；加热宽度300‑400mm，在局部热处理的焊缝上布置热电偶用以控制加热器，在容器的其他位置布置热电偶，控制整体热处理的加热；二、使用热处理炉对产品进行整体热处理的加热；在产品温度加热到距整体热处理保温温度50‑90℃时，使用电加热器对局部热处理焊缝进行辅助加热，使局部热处理焊缝的温度高于整体热处理的温度，使用热电偶分别控制整体热处理和局部热处理的加热，最终达到局部热处理和整体热处理的温度要求。
局部热处理整体热处理加热焊缝热电偶加热器厚壁容器加热器电阻控制加热器热处理电加热器辅助加热距离确定镍基材料热处理炉容器局部位置布置温度要求引出导线炉门保温

[发明专利]一种汽车生产制造零件加热处理系统-CN201510707412.3在审
发明人：赵航 -专利权人：重庆航利实业有限责任公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： C21D9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种汽车生产制造零件加热处理系统，包括加热处理系统、供风系统、加热系统、输送物料轨道系统、温度测试系统、温度显示系统，其中，加热处理系统地面上安装有输送物料轨道系统，加热处理系统墙壁采用隔热防火模块铺设，供风系统安装在加热处理系统侧面墙壁送风口与加热处理系统相连，加热系统安装在加热处理系统从侧面供风系统中间位置，加热系统上安装有加热口。该发明用隔热防火模块堆砌成较大的加热处理系统，能够针对大型汽车生产制造零件进行热处理，并能针对热处理过程中的温度予以监控，更好地实现对汽车生产制造零件的热处理。
一种汽车生产制造零件加热处理系统

[发明专利]热处理装置-CN200810094653.5有效
发明人：手钱永充 -专利权人：爱斯佩克株式会社
申请日： 2008-04-29 - 公布日： 2008-11-26 - 主分类号： F27D7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，可以使热处理时从被热处理物产生的升华物难以通过气体导出孔流出。热处理装置包括装置主体，装置主体具有：热处理室，收容被热处理物，该被热处理物可以从热处理室中取出；以及加热室，与热处理室联通，其中，在加热室内，对通过设置在加热室的气体导入孔导入到加热室内的热处理用气体进行加热，以对被热处理物进行热处理，并通过设置在热处理室的气体导出孔，将热处理完毕的气体从热处理室导出。这种热处理装置设置有触媒，堵塞气体导出孔的入口，触媒可以分解热处理完毕的气体中包含的从被热处理物产生的升华物。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN201410058399.9有效
发明人：孙少东;周厉颖;王艾 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2014-02-20 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体处理装置，公开了一热处理装置，包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳，其中：热处理加热结构包括第一保温部及加热部，第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔，加热部部分嵌入所述第一保温部内，加热部朝向待加热样品的一侧裸露。本发明提供的热处理装置包括置于内层的第一保温部、置于外层的第二保温部、以及置于顶部的第三保温部，具有全方位的良好保温性能，且该热处理装置包括多个长度可根据需求灵活定义的热处理加热结构，在简化热处理装置成型制作过程、提高热处理装置生产效率的同时，还可通过对各热处理加热结构的分别控制实现分段控温，提高了热处理装置的热处理质量和效率。
热处理装置

[实用新型]热处理装置-CN201420074350.8有效
发明人：孙少东;周厉颖;王艾 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2014-02-20 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体处理装置，公开了一热处理装置，包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳，其中：热处理加热结构包括第一保温部及加热部，第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔，加热部部分嵌入所述第一保温部内，加热部朝向待加热样品的一侧裸露。本实用新型提供的热处理装置包括置于内层的第一保温部、置于外层的第二保温部、以及置于顶部的第三保温部，具有全方位的良好保温性能，且该热处理装置包括多个长度可根据需求灵活定义的热处理加热结构，在简化热处理装置成型制作过程、提高热处理装置生产效率的同时，还可通过对各热处理加热结构的分别控制实现分段控温，提高了热处理装置的热处理质量和效率。
热处理装置

[实用新型]一种三层皮革表面处理设备-CN201820306183.3有效
发明人：杨子玉 -专利权人：广州晨鑫机械设备有限公司
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： D06N3/00 文献下载
摘要：三层皮革表面处理设备，包括热处理装置、放卷装置、冷却装置和收卷装置，热处理装置包括热处理支架，在热处理支架上设有热处理箱体，在热处理箱体内设有第一加热管、第二加热管和第三加热管，第一加热管处于第二加热管和第三加热管的上方，在第一加热管的下方设有第一传导辊组和第二传导辊组，在第二加热管和第三加热管的上、下方分别设有多个传导辊，在第一加热管与第二加热管、第三加热管之间设有隔离板，在热处理支架上且处于热处理箱体的下方设有三个调节松紧装置，该热处理装置内的第一加热管、第二加热管和第三加热管的结构布局合理，可以保证热处理装置的体积小的前提下，尽可能的使皮革料进行充分的热处理工序。
加热管热处理热处理装置传导辊支架皮革表面处理三层调节松紧装置热处理工序放卷装置结构布局冷却装置收卷装置隔离板皮革料保证

[实用新型]一种双层皮革表面处理设备-CN201820308346.1有效
发明人：杨子玉 -专利权人：广州晨鑫机械设备有限公司
申请日： 2018-03-06 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C14B1/44 文献下载
摘要：双层皮革表面处理设备，包括热处理装置、放卷装置、冷却装置和收卷装置，所述热处理装置包括热处理支架，在热处理支架上设有第一热处理箱体和第二热处理箱体，在第一热处理箱体内设有第一加热管、第二加热管和第三加热管，第一加热管处于第二加热管和第三加热管的上方，在第二热处理箱体内设有平行设置的多个第四加热管，在第一加热管、第四加热管的下方设有多个传导辊，在第二加热管和第三加热管的上、下方分别设有多个传导辊，该热处理装置内的第一加热管、第二加热管、第三加热管和第四加热管的结构布局合理，可以保证热处理装置的体积小的前提下，尽可能的使皮革料进行充分的热处理工序。
加热管热处理热处理装置表面处理设备双层皮革传导辊支架热处理工序放卷装置结构布局冷却装置平行设置收卷装置皮革料保证

[实用新型]多级综合加温油气处理装置-CN201220422204.0有效
发明人：刘桂林;朱颉榕 -专利权人：广州联田能源科技有限公司
申请日： 2012-08-23 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： F23K5/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多级综合加温油气处理装置，包括最少两级加热处理罐，第一级加热处理罐设置有燃料入口，所述第一级加热处理罐与第二级加热处理罐通过管道连接，所述第二级加热处理罐设置有燃料出口，所述加热处理罐为电磁加热处理罐本实用新型的具有的优点是：燃油通过加热处理罐进行逐级通过高频加热处理，可以有效的改善燃油的流动性，使部分大分子分解成小分子，最终处理成油气混合状态，点火燃烧容易，燃烧也更加充分。
多级综合加温油气处理装置

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