专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]热处理装置-CN200810094653.5有效
  • 手钱永充 - 爱斯佩克株式会社
  • 2008-04-29 - 2008-11-26 - F27D7/02
  • 本发明提供一种热处理装置,可以使热处理时从被热处理物产生的升华物难以通过气体导出孔流出。热处理装置包括装置主体,装置主体具有:热处理室,收容被热处理物,该被热处理物可以从热处理室中取出;以及加热室,与热处理室联通,其中,在加热室内,对通过设置在加热室的气体导入孔导入到加热室内的热处理用气体进行加热,以对被热处理物进行热处理,并通过设置在热处理室的气体导出孔,将热处理完毕的气体从热处理室导出。这种热处理装置设置有触媒,堵塞气体导出孔的入口,触媒可以分解热处理完毕的气体中包含的从被热处理物产生的升华物。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200710145867.6有效
  • 长野由龟雄 - 爱斯佩克株式会社
  • 2007-09-04 - 2008-05-07 - F27D7/00
  • 本发明提供一种热处理装置,其包括:热处理部件,在把被处理件装入到热处理部分内的状态下,通过使所述热处理部分内的空气边循环边加热,来对所述被处理件进行热处理;换气装置,通过把外部气体加热后送入到所述热处理部分内,并且把所述热处理部分内的空气排出,对所述热处理部分内部进行换气;以及换气量调整装置,使所述换气装置的换气量在所述热处理部件不对被处理件进行热处理时比所述热处理部件对被处理件进行热处理时减少。这种热处理装置能降低整个热处理装置的电力消耗。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN202111046701.5在审
  • 中谷淳司 - 光洋热系统株式会社
  • 2021-09-06 - 2022-09-02 - F27B17/00
  • 本发明提供一种热处理装置,在将被处理物输送到热处理炉内并支承于支承件时,不会对被处理构件产生热冲击。所述热处理装置具备:热处理炉,形成热处理空间;支承件,设置在所述热处理空间内;输送装置,在将被处理物从所述热处理空间外输送到所述热处理空间内之后,使所述被处理物支承于所述支承件;以及温度检测装置,检测由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物的温度所述输送装置基于由所述温度检测装置检测到的温度,决定将由所述输送装置输送到所述热处理装置内的所述被处理物支承于所述支承件的时刻。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN202110331757.9在审
  • 山本亮介 - 光洋热系统股份有限公司
  • 2019-05-15 - 2021-07-09 - C21D1/667
  • 本发明提供一种热处理装置。该热处理装置实现以下效果中的至少一个:能够更加提高对被处理物进行热处理的性能;关于热处理装置能够实现简单的结构而更加降低该热处理装置的制造成本;以及能够更加缩短热处理所需的时间。热处理装置(1)包括:加热部件(4),其为了进行热处理而对金属制的被处理物(100)进行加热;冷却喷嘴(11、12、13),其包含在配置有所述加热部件(4)的热处理室(2)内配置的喷射口(11a、12a、13a),为了进行所述热处理而向所述被处理物(100)供给冷却气体;以及保持部件,其为了保持所述被处理物(100)而配置于所述热处理室(2)内,并设置有所述喷射口(11a、12a、13a)。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN202110018775.1有效
  • 奥村昌伦;中谷淳司 - 捷太格特热系统株式会社
  • 2021-01-07 - 2023-07-25 - F27D7/02
  • 本发明提供热处理装置,能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理热处理装置的结构复杂化,并且能够抑制在进行被处理物的热处理热处理室内产生气氛的停滞。热处理装置(1)具有热处理室(11)、水蒸汽供给部(13)以及水蒸汽排出部(15)。热处理室设置有供被处理物(10)搬入的入口(31)和供被处理物搬出的出口(32),并且进行从入口向出口运送的被处理物的热处理。水蒸汽供给部设置在热处理室的加热区域(HR),向热处理室内供给过热水蒸汽。水蒸汽排出部在热处理室中相对于水蒸汽供给部分别设置在入口侧和出口侧,将热处理室内的过热水蒸汽向热处理室的外部排出。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN201410058399.9有效
  • 孙少东;周厉颖;王艾 - 北京七星华创电子股份有限公司
  • 2014-02-20 - 2014-05-07 - C30B33/02
  • 本发明涉及半导体处理装置,公开了一热处理装置,包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳,其中:热处理加热结构包括第一保温部及加热部,第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔,加热部部分嵌入所述第一保温部内本发明提供的热处理装置包括置于内层的第一保温部、置于外层的第二保温部、以及置于顶部的第三保温部,具有全方位的良好保温性能,且该热处理装置包括多个长度可根据需求灵活定义的热处理加热结构,在简化热处理装置成型制作过程、提高热处理装置生产效率的同时,还可通过对各热处理加热结构的分别控制实现分段控温,提高了热处理装置热处理质量和效率。
  • 热处理装置
  • [实用新型]热处理装置-CN201420074350.8有效
  • 孙少东;周厉颖;王艾 - 北京七星华创电子股份有限公司
  • 2014-02-20 - 2014-08-27 - C30B33/02
  • 本实用新型涉及半导体处理装置,公开了一热处理装置,包括热处理加热结构、第二保温部、第三保温部及外壳,其中:热处理加热结构包括第一保温部及加热部,第一保温部环绕待加热样品形成一加热腔,加热部部分嵌入所述第一保温部内本实用新型提供的热处理装置包括置于内层的第一保温部、置于外层的第二保温部、以及置于顶部的第三保温部,具有全方位的良好保温性能,且该热处理装置包括多个长度可根据需求灵活定义的热处理加热结构,在简化热处理装置成型制作过程、提高热处理装置生产效率的同时,还可通过对各热处理加热结构的分别控制实现分段控温,提高了热处理装置热处理质量和效率。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200510080728.0有效
  • 矢坂正男 - 爱斯佩克株式会社
  • 2005-06-30 - 2006-02-22 - F27B5/04
  • 本发明的目的是提一种结构简单、可抑制使伴随着基板的热处理而产生的生成气体冷却而产生的所谓升华物的发生的热处理装置热处理装置(1)包括具有用于向基板处理部(5)供给热风的热风供给部件(14)的空气调整部(11)、以及用于对基板进行热处理热处理室(12)。热处理装置(1)配置有催化壁(40),载持有促进在热处理室(12)的最下游一侧、当处理基板时所产生的生成气体的氧化分解的催化剂。因此,热处理装置(1)因冷却生成气体而产生的所谓的升华物的产生量极低。此外,由于在生成气体氧化分解时会产生反应热,所以热处理装置(1)在热处理时加热混合气体只需很少的耗电量。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN201310064393.8有效
  • 向井正行 - 光洋热系统股份有限公司
  • 2013-02-28 - 2014-04-09 - F27D17/00
  • 本发明提供一种热处理装置,其能够实现节能化,且能够使供给电力的形态更为多样化。热处理装置(1)具备热处理炉(2)、热电转换部件(3)、控制装置(4)以及切换部(5)。热处理炉(2)设置为用于对被处理物(100)进行热处理。热电转换部件(3)用于将来自热处理炉(2)的热能转换为电力。控制装置(4)设置为用于控制热处理炉(2)。切换部(5)将来自外部电源(20)的电力和来自热电转换部件(3)的电力择一供给至控制装置(4)。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN201610228229.X有效
  • 向井正行 - 光洋热系统股份有限公司
  • 2013-02-28 - 2019-01-01 - F27D17/00
  • 本发明提供一种热处理装置,其能够实现节能化,且能够使供给电力的形态更为多样化。热处理装置(1)具备热处理炉(2)、热电转换部件(3)、控制装置(4)以及切换部(5)。热处理炉(2)设置为用于对被处理物(100)进行热处理。热电转换部件(3)用于将来自热处理炉(2)的热能转换为电力。控制装置(4)设置为用于控制热处理炉(2)。切换部(5)将来自外部电源(20)的电力和来自热电转换部件(3)的电力择一供给至控制装置(4)。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200480003856.9有效
  • 上野裕人 - 福泰克炉业株式会社
  • 2004-02-06 - 2006-03-15 - H01F41/18
  • 本发明的热处理装置,在处理对象被热处理的区域中的由磁场产生装置(20)产生的磁场的方向和向热处理容器(2)中输送处理对象的输送装置(10)的输送方向相互平行,而且,相对于热处理装置整体的水平方向平行,上述处理对象配置为其主面在热处理区域中与磁场产生装置(20)产生的磁场的方向相平行,进行热处理热处理装置通过使用小型的螺线管型磁铁(空芯线圈),将磁场产生装置的结构简单化,由此,可以节省装置重量、高度,设置面积可以保持与原来的相同程度,可以设置在通常的无尘室中,而且,和以往相比,可以大量地处理大型的处理对象
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN202011456717.9在审
  • 森拓也;黑岩庆造 - 东京毅力科创株式会社
  • 2020-12-11 - 2021-06-22 - H01L21/67
  • 本发明提供热处理装置,其无论基板的翘曲的大小如何,都能够在面内均匀地进行对该基板的热处理热处理装置,其对基板进行热处理,该热处理装置具有:热处理板,在其上表面载置基板,对被载置的该基板进行加热或冷却;以及变形自如的导热构件,至少其外周面的热导率比所述热处理板的上表面附近的气氛的热导率高,且该导热构件设为覆盖该热处理板的上表面并介于该上表面和晶圆(W)之间,所述导热构件在向所述热处理板的上表面推压基板的力的作用下变形为与该基板的形状对应的形状。
  • 热处理装置

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