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- [发明专利]曝光方法和曝光装置-CN02154533.2无效
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平柳德行
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株式会社尼康
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2002-12-06
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2003-06-18
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G03F7/20
- 在真空初缩掩模版库64上设有用于承载放置被搬运的初缩掩模版的多级初缩掩模版台68。在该初缩掩模版台68内形成液道68a。通过使温度调节用的水流过初缩掩模版台68的液道68a，可以对初缩掩模版台上的初缩掩模版进行温度调节。另一方面，在大气初缩掩模版库66上设有多级初缩掩模版台69。初缩掩模版容器67分别放置在各初缩掩模版台69上。在初缩掩模版容器67和各初缩掩模版上贴有条形码70。当搬运初缩掩模版时，通过读取贴在初缩掩模版上的条形码70，可以对所搬运的初缩掩模版进行确认。
- 曝光方法装置
- [发明专利]蛋白纤维合成喷丝乳液的制备方法及纤维制品-CN200310121718.8有效
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苗晓光;牛珂
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苗晓光;牛珂
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2003-12-19
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2004-12-15
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D01F1/00
- 一种具有蓄能双向调温和自释电产生负离子功能蛋白纤维的合成喷丝乳液的制备方法，①把一种以石蜡油或聚乙二醇的物质为芯材的，能耐高温、水和溶剂不溶的微胶囊或颗粒物质以5－30％∶95－70％混入水性高分子聚合初缩体里使之充分分散；②将加工成亚纳米以下、在压力和摩擦力下可产生静电场的无机材料粉体以0.5－4％∶99.5－96％混合于高分子初缩体或混合单体里并充分分散；③把蛋白质以10－50％溶解于水性溶解剂里；之后，把上述蛋白质溶液以10－60％∶90－40％混合于高分子初缩体或混合单体里并充分分散；④把上述三种混合体与高分子初缩体或混合单体充分混合后即制成具有蓄能双向调温和自释电产生负离子功能蛋白纤维的合成喷丝乳液。
- 蛋白纤维合成乳液制备方法纤维制品
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