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[发明专利]大尺寸蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法-CN200510010116.4有效
发明人：韩杰才;孟松鹤;左洪波;张明福 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2005-06-24 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石单晶生长方法，具体为一种冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶生长方法。将坩埚内的原料加热至熔化后，通过观察液面表面形态，调节炉内加热体发热量，使液面对流形态稳定；加热量调节范围100－2500W/h；熔体内冷心位置与坩埚几何中心相对偏差不大于Φ20.0mm。在引晶工艺过程中，缓慢调节籽晶使其下端至熔体液面以上5－20mm处预热，消除热应力；利用传统提拉法工艺，沿冷心偏离方向的5－15次引晶后使结晶中心转移至冷心，配合旋转控制结晶端部形状使其沿籽晶中心轴对称并开始自冷心放肩
尺寸蓝宝石冷心放肩微量制备

[发明专利]300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法-CN200910072378.1有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 -专利权人：哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2009-11-18 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种300mm以上蓝宝石单晶的冷心放肩微量提拉制备法。在300mm蓝宝石单晶生长炉内，完成装炉、真空条件下化料、引晶、放肩、等径生长、拉脱、冷却及退火及出炉工艺过程，本发明在原有冷心放肩微量提拉制备法基础上进行了很大改进，具有晶体尺寸更大，品质更高，尺寸更加合理
300 mm 以上蓝宝石冷心放肩微量制备

[发明专利]一种生长方形蓝宝石的方法-CN201310424424.6无效
发明人：张向锋;贾宝申;陆玉龙;高培波;赵杰;江左林 -专利权人：无锡鼎晶光电科技有限公司
申请日： 2013-09-17 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：该方法包括：加热方形坩埚内的原料至熔化，调节电压，使方形坩埚内熔体表面对流形态稳定，并使冷心偏离方形坩埚几何中心位置；调节籽晶位置使其逐渐接近熔体液面，同时调节电压，籽晶预热，利用传统提拉工艺，配合旋转，同时调节温度，控制结晶端部的尺寸，最终结晶端部覆盖冷心并开始放肩晶体放肩至预定尺寸之后，稍稍升高电压促使放肩完成，其后持续、缓慢降温使得晶体逐渐生长成形，至生长末端时再升高电压以使晶体生长顺利收尾；降低电压直至关闭电源
一种生长方形蓝宝石方法

[发明专利]一种镓酸锂晶体的制备方法-CN200910055070.6有效
发明人：杨卫桥;王康平;李抒智;马可军;周颖圆;叶小钰 -专利权人：上海半导体照明工程技术研究中心
申请日： 2009-07-20 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C30B29/22 文献下载
摘要：本发明提供一种镓酸锂晶体的制备方法，包括：将Li2CO3和Ga2O3作为原料混合后压块得到成型体，烧结所述成型体；在真空条件下加热所述成型体得到熔体，将籽晶下到所述熔体的冷心处浸泡同时旋转籽晶，然后经过放肩然后，将成型体在真空条件下加热形成熔体，取籽晶下到熔体的冷心处浸泡同时旋转籽晶以降低温场的不均匀性，然后经过放肩、等径提拉得到镓酸锂晶体。采用冷心下种，可以使固液界面的顶端与籽晶中心重合防止晶体偏心生长，有利于挥发性物质的排出，从而提高晶体质量。
一种镓酸锂晶体制备方法

[发明专利]冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法-CN200910072376.2有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 -专利权人：哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2009-11-18 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶的快速退火方法，采用冷心放肩微量提拉法生长蓝宝石单晶，生长完毕后，保持晶体生长炉内真空度，不关电源，按一定的降温程序减小加热功率直至功率等于零，再通入惰性气体进行快速冷却
冷心放肩微量提拉法生长尺寸蓝宝石快速退火方法

[实用新型]一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体-CN200920100239.0有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 -专利权人：哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖、金属筒组成，本实用新型采用鸟笼结构钨发热体，有利于提供均匀稳定的温场，并保证其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，轴向和径向温度梯度小，符合冷心放肩微量提拉法对于温场分布的要求本实用新型采用冷心放肩微量提拉法，具有温场分布均匀稳定、轴向和径向温度梯度都比较小，保温效果好等特点。
一种用于生长 300 mm 以上尺寸蓝宝石单晶炉炉体

[发明专利]C偏M向蓝宝石单晶的生长方法-CN201510331362.3有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 -专利权人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2015-06-16 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：该蓝宝石单晶生长方法包括以下阶段升温化料、引晶、放肩、等径、收尾拉脱和降温退火阶段，根据生长晶体重量及晶向要求，籽晶端面晶向为C偏M1°~89°，籽晶直径12~22mm。升温化料阶段适当延长保温时间；引晶阶段，适当增大籽晶杆水流量，做5~15个引晶层；放肩阶段以两次90度旋转人为分三段控制，减小斜肩几率。本发明针对C偏M向晶体特点，在冷心放肩微量提拉法蓝宝石单晶生长炉结构的基础上改进单晶炉，通过对生长工艺进行控制，形成适于生长高品质、无斜肩的C偏M向蓝宝石单晶。
蓝宝石生长方法

[发明专利]一种用于人造蓝宝石的冷心放肩提拉制备方法-CN201710166588.1在审
发明人：胡明理;李业林;杨博;王春刚;李伟国 -专利权人：宁夏佳晶科技有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石加工技术领域，具体涉及一种用于人造蓝宝石的冷心放肩提拉制备方法，一方面通过在“冷心位置”放肩，使得整个结晶过程中，蓝宝石单晶的晶向遗传特性良好，保证蓝宝石的单晶生长质量；通过炉内的清洗处理工作
一种用于人造蓝宝石冷心放肩提拉制备方法

[实用新型]一种用于大尺寸蓝宝石单晶生长炉的鸟笼状电阻发热体-CN200920100240.3有效
发明人：左洪波;杨鑫宏;宋波;王玉平;王天成 -专利权人：哈尔滨工大奥瑞德光电技术有限公司
申请日： 2009-06-26 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：本实用新型发热体具有热量供给均匀，温场分布均匀稳定等特点，而且其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，非常适合于冷心放肩微量提拉法生长大尺寸蓝宝石单晶。结合冷心放肩微量提拉法的要求，本实用新型发热体还应具备其它特点：其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度。
一种用于尺寸蓝宝石生长鸟笼电阻发热

[实用新型]一种用于冷心放肩蓝宝石的晶体炉提拉装置-CN201720271425.5有效
发明人：胡明理;李业林;杨博;王春刚;李伟国 -专利权人：宁夏佳晶科技有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石晶体冷心放肩提拉装置领域，具体涉及一种用于冷心放肩蓝宝石的晶体炉提拉装置，包括底板以及提拉机，提拉机内部设置有驱动电机，驱动电机通过电机轴连接设置有齿轮，齿轮与齿条配合安装，齿条可滑动的设置在提拉机前面的提拉槽内
一种用于冷心放肩蓝宝石晶体炉提拉装置

[发明专利]泡生法蓝宝石引晶形态控制方法-CN201210279358.3有效
发明人：贾宝申;张向锋 -专利权人：无锡鼎晶光电科技有限公司
申请日： 2012-08-08 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种泡生法蓝宝石引晶形态控制方法，其包括如下步骤：a.将氧化铝原料装入单晶炉坩埚内，在籽晶杆上安装籽晶，启动真空系统及加热系统，调节加热系统的电压，以使得氧化铝原料全部融化并达到熔体表面对流稳定状态，并使得液面冷心与坩埚几何中心偏离小于同时调节加热系统的工作电压，以避免籽晶熔融；c.在籽晶的下端部与上述熔体液面2～5mm处预热30min；d.利用传统提拉工艺，旋转籽晶，调节加热系统的工作电压，控制结晶端部的直径小于50mm，并使得结晶端部覆盖冷心后开始放肩
泡生法蓝宝石晶形控制方法

[实用新型]一种用于冷心放肩蓝宝石晶体的抛光设备-CN201720273015.4有效
发明人：胡明理;李业林;杨博;王春刚;李伟国 -专利权人：宁夏佳晶科技有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石抛光设备领域，具体涉及一种用于冷心放肩蓝宝石晶体的抛光设备，包括抛光筒以及相互匹配的从动齿轮和主动齿轮；抛光筒内壁设置有若干弹性橡胶材质的连接棒，连接棒內端设置有毛刷；抛光筒的底部设置有轴承
一种用于冷心放肩蓝宝石晶体抛光设备

[发明专利]一种重掺砷硅单晶的放肩工艺-CN202211553223.1在审
发明人：王凯磊;李英涛;王万华;皮小争;方峰;崔彬 -专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C30B27/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种重掺砷硅单晶的放肩工艺。该放肩工艺的参数设定为：根据放肩长度将放肩过程分为放肩初期、放肩中期和放肩后期，其中，放肩初期为放肩长度为1‑40mm的区间；放肩中期为放肩长度为40‑220mm的区间，放肩后期为放肩长度为220mm以上的区间；将降温速度定义为放肩温度差值除以放肩长度差值；将降温速率定义为放肩温度差值除以原始温度；在放肩初期，每20mm降温1‑3SP值，降温速度为0.05‑0.15，降温速率降低；在放肩中期，每20mm降温1‑12SP值，降温速度为0.05‑0.6，降温速率呈现增大、减小、增大的趋势；在放肩后期，每20mm降温3‑15SP值，降温速度为0.15‑0.75，降温速率较小。该放肩工艺可大大提高放肩成活率。
一种重掺砷硅单晶工艺

[实用新型]一种用于冷心放肩蓝宝石片状晶体的夹持装置-CN201720271037.7有效
发明人：胡明理;李业林;杨博;王春刚;李伟国 -专利权人：宁夏佳晶科技有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石生产设备领域，具体涉及一种用于冷心放肩蓝宝石片状晶体的夹持装置，包括弹性夹持块和螺纹套，所述螺纹套内匹配设置有弹簧钢材质的螺纹杆，所述螺纹杆的外形为锥形结构，所述螺纹套的内孔为与所述螺纹杆相匹配的锥形螺纹孔
一种用于冷心放肩蓝宝石片状晶体夹持装置

[发明专利]一种大直径单晶硅放肩生长工艺-CN202010860262.0有效
发明人：李永博;王利超;尚锐刚;王永涛;崔彬;方峰 -专利权人：有研半导体硅材料股份公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种大直径单晶硅放肩生长工艺。在放肩过程中，放肩初始时放肩温度SP值减少0‑5，在1mm时放肩温度SP值减少1‑2；在15mm时放肩温度SP值减少5‑6，降温速率为0.3；在30mm时，放肩温度SP值减少10‑12，降温速率为0.3；在45mm时放肩温度SP值减少20‑22，降温速率为0.5；在60mm时放肩温度SP值减少31‑33，降温速率为0.7；在75mm时放肩温度SP值减少50‑55，降温速率为1.2；在90mm时放肩温度SP值减少69‑71，降温速率为1.35；在105mm时放肩温度SP值减少90‑92，降温速率为1.42。该工艺能够保证放肩时功率不发生反弹。
一种直径单晶硅生长工艺

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