专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果13个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种重掺砷硅单晶的放肩工艺-CN202211553223.1在审
  • 王凯磊;李英涛;王万华;皮小争;方峰;崔彬 - 山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
  • 2022-12-02 - 2023-06-06 - C30B27/02
  • 本发明公开了一种重掺砷硅单晶的放肩工艺。该放肩工艺的参数设定为:根据放肩长度将放肩过程分为放肩初期、放肩中期和放肩后期,其中,放肩初期为放肩长度为1‑40mm的区间;放肩中期为放肩长度为40‑220mm的区间,放肩后期为放肩长度为220mm以上的区间;将降温速度定义为放肩温度差值除以放肩长度差值;将降温速率定义为放肩温度差值除以原始温度;在放肩初期,每20mm降温1‑3SP值,降温速度为0.05‑0.15,降温速率降低;在放肩中期,每20mm降温1‑12SP值,降温速度为0.05‑0.6,降温速率呈现增大、减小、增大的趋势;在放肩后期,每20mm降温3‑15SP值,降温速度为0.15‑0.75,降温速率较小。该放肩工艺可大大提高放肩成活率。
  • 一种重掺砷硅单晶工艺
  • [发明专利]一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法-CN202211534968.3在审
  • 皮小争;李英涛;王万华;王凯磊;崔彬;方峰 - 山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
  • 2022-12-02 - 2023-05-23 - B08B9/035
  • 一种重掺红磷单晶炉管道清理的方法,A、停炉取晶后二次氧化;B、调整吸尘器吸力;C、清理抽气管道:两位工作人员,其中一人为第一人,另外一人为第二人;将该炉体内热场保温部分抬出,露出该第一分管道、第二分管道、第三分管道和第四分管道的顶部开口,并使用金属堵头封堵;分别依次清理第一主管道、第一分管道、第一主管道、第二分管道、第一主管道、第二主管道、第三分管道、第二主管道、第四分管道、第二主管道。清理各个管道时,需要确认其他的管道端口处于关闭状态,只能打开当前需要清理的管道口进行清理。本发明可以避免在清理含有红磷元素的氧化硅粉尘挥发物时,发生爆燃、自燃等危险现象,从而达到使用红磷掺杂元素安全生产的目的。
  • 一种红磷炉管清理方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top