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- [发明专利]微镜器件-CN202080030775.7有效
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直野崇幸
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富士胶片株式会社
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2020-04-24
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2023-07-07
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G02B26/10
- 致动器(14)具备压电元件(40),压电元件(40)的上部电极(33)由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部(i1~i8)构成,该压电元件(40)包括由多个个别电极部(i1~i8)分别规定的多个压电部(41~48),该第1应力反转区域中,在以使反射镜部绕第1轴产生倾斜振动的第1共振模式驱动时的最大位移状态下,在压电膜(32)的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转,该第2应力反转区域中
- 器件
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