“靶材用大”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4550078个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种光通信和磁储存镀膜用稀土-过渡金属旋转靶材及其制备方法-CN201610581335.6有效
发明人：徐从康 -专利权人：浙江舒玛新材料有限公司
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及了一种光通信和磁储存镀膜用稀土‑过渡金属旋转靶材及其制备方法，采用真空等离子喷涂的方法进行制备，得到的稀土‑过渡金属旋转靶材的尺寸不受限制，厚度可达到3～13mm，是大尺寸一体化靶材，克服了绑定拼接靶材容易引起的电弧放电和靶材黑化问题，另外靶材纯度高，克服了传统等离子喷涂工艺制备的靶材纯度低、致密度差、氧、氮含量高等问题。
一种光通信储存镀膜稀土过渡金属旋转及其制备方法

[发明专利]一种大尺寸靶材用锗晶片的加工方法-CN202010175416.2在审
发明人：秦瑶;陆海凤;李刚;王卿伟;王铭捷;彭大文 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸靶材用锗晶片的加工方法，包括如下：(1)根据靶材用锗单晶方片的宽度尺寸为直径拉制锗单晶晶棒；(2)按靶材用锗单晶方片的长度将所述晶棒截断；(3)采用线切割机纵向切取毛坯片：沿线切割机的进刀方向纵向放置所述晶棒，依次启动线切割机纵向切掉晶棒各侧面宽度达不到要求的部分；再将所述晶棒切片获得毛坯方片；(4)将上述毛坯方片进行平面研磨，获得所述靶材用锗单晶方片所要求的厚度尺寸；(5)对上述方片边缘倒角，使方片达到最终图纸要求的尺寸本发明既能满足靶材用锗晶片对大尺寸的要求，又可以最大化的利用锗单晶，且加工工艺简单，易于实现批量生产。
一种尺寸靶材用锗晶片加工方法

[发明专利]一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材及其制备方法-CN202010976305.1在审
发明人：文宏福;李鹏 -专利权人：韶关市欧莱高新材料有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将氧化钕、氧化铝、氧化铟和氧化锌粉末混合研磨制浆得到混合浆料，用混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；S2、将步骤S1所得的造粒粉依次进行模压和等静压成型得到靶材素坯；S3、将步骤S2得到的靶材素坯进行烧结得到烧结坯；其中，烧结包括：脱脂、烧成和降温三个阶段；S4、将步骤S3得到的烧结坯经机械加工和邦定得到大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材；本发明还公开了一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材本发明采用模压和等静压成型工艺得到靶材素坯，采用脱脂、烧成和降温三个阶段烧结工艺，控制合理的烧结条件，提高了靶材均匀度，提高了大尺寸靶材的成品率。
一种尺寸钕铝铟锌氧化物平面及其制备方法

[发明专利]一种整体成形大长径比钨管靶材的制备方法-CN201610184555.5有效
发明人：谢飞;崔子振;石刚;黄国基;王俊虎 -专利权人：航天材料及工艺研究所;中国运载火箭技术研究院
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种磁控溅射镀膜用整体成形大长径比钨管靶材的制备方法，该方法以纯度为99.9％～99.999％的钨粉为原料，将钨粉装入包套，然后真空热除气，将除气完成的包套与成形工装装配在热等静压机中压制后通过机械加工获得与背管整体绑定的大长径比钨管靶材；本发明制备的整体成形大长径比钨管靶材具有以下优点：(1)钨管靶材致密度高，密度达到19.1g/cm³以上，相对密度大于99％；(2)氧含量在10～1000ppm可控；(3)晶粒细小均匀，平均晶粒尺寸100μm以下；(4)钨管靶材的长径比大于15：1，直线度小于3mm；(5)钨管靶材层与背管达到冶金结合绑定良好，能够满足高端溅射镀膜行业的需求。
一种整体成形长径钨管靶材制备方法

[发明专利]一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法-CN202010333199.5有效
发明人：李庆丰;骆树立;王建堂;骆如河;骆胜华;骆胜磊;骆利军;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 -专利权人：河北恒博新材料科技股份有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C04B35/622 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法，属于靶材制备技术领域，包括以下步骤1）制作靶材坯体，2）成型模具，3）靶材坯体脱脂，4）预烧结靶材坯体，5）烧结靶材。本发明提供的一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法，提高了靶材成材率，降低了原材料报废率，降低了生产成本。
一种尺寸旋转陶瓷制备方法

[发明专利]一种大尺寸平面金属靶材的制备方法-CN202111654726.3在审
发明人：李晖云;崔宁 -专利权人：东莞市精研粉体科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种大尺寸平面金属靶材的制备方法，包括以下步骤：先将高纯靶材金属用雾化法制成粉末，再采用超音速冷气动力喷涂法，以高纯氩气或高纯氦气作为气动介质，将高纯靶材成分的金属粉喷涂沉积到衬底板上，待涂层沉积到一定厚度后，对坯靶行真空退火以消除冷喷涂过程产生的应力；随后对靶坯进行3‑9道次冷轧压延加工，获得设定厚度的板材；将板材校平、机加工至合格尺寸，再按照常规工艺绑定背板，即可制成不同规格的平面靶材。本发明工艺制备的靶材，微观结构致密、无孔隙，晶粒尺寸均匀，晶粒尺寸小于10μm，较好地解决了大尺寸平面靶生产中如何实现靶材中晶粒细小，晶粒尺寸均匀这一工艺控制难题。
一种尺寸平面金属制备方法

[发明专利]一种大尺寸靶材的壁厚检测方法-CN202310941508.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸靶材的壁厚检测方法，所述检测方法包括以下步骤：在被测靶材外侧的至少四个方向上分别独立地取至少四个测试点，使用三坐标测量装置对各测试点进行测试，得到靶材外侧测试结果；在被测靶材内侧的至少四个方向上分别独立地取至少四个测试点，使用三坐标测量装置对各测试点进行测试，得到靶材内侧测试结果；将所述靶材外侧测试结果以及靶材内侧测试结果输入作图软件中，并通过作图软件测量出所述靶材的壁厚。所述检测方法可以快速高效的对大尺寸靶材的壁厚进行测试，通过测试结果与标准件的比较，可以对大尺寸靶材的冲压工艺调整产生指导作用。
一种尺寸检测方法

[发明专利]一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法-CN202011232715.1在审
发明人：朱力;万青 -专利权人：南京大学
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C04B37/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种氧化物浆料拼接二次烧结制备大尺寸氧化物靶材的方法。该技术的核心工艺是采用氧化物浆料对已经烧结好的小尺寸氧化物陶瓷靶材进行粘结，随后压紧烘干，进行二次高温烧结，可根据需求制备出大尺寸平面和超长环形靶材。该技术的优势在于不仅解决了当今部分企业利用多片小块靶材进行焊接的途径来制造大尺寸靶材所造成的靶材之间存在缝隙从而聚集大量电荷，使靶材易于黑化，进而恶化薄膜透过率，增大薄膜电阻等缺陷；还可以根据市场需求制备不同形状不同尺寸靶材以适应不同的薄膜沉积设备
一种氧化物浆料拼接二次烧结制备尺寸方法

[发明专利]一种大尺寸平面靶材铜背板制弯的装置和方法-CN202310466496.0在审
发明人：李庆丰;骆胜磊;郝鹏飞;骆胜华;骆利军;骆胜飞;骆胜金;王壮伟;骆胜凯;骆胜喜 -专利权人：河北恒博新材料科技股份有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B21D5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸平面靶材铜背板制弯的装置和方法，装置包括多个支撑柱、设置于多个支撑柱正上方的大尺寸平面靶材铜背板和设置于大尺寸平面靶材铜背板正上方的多个下压柱，多个支撑柱均布设置于大尺寸平面靶材铜背板与平面靶材的绑定区域且绑定区域的起点本发明通过对大尺寸平面靶材铜背板进行制弯预处理，解决了长度2米以上平面靶在绑定过程中因大尺寸平面靶材铜背板与绑定好的平面靶热膨胀系数不一致导致绑定完冷却后背板上鼓弯曲的问题。
一种尺寸平面靶材铜背板装置方法

[发明专利]一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法-CN202310118418.1在审
发明人：贾倩;何金江;张晓娜;李勇军;丁照崇;许兴;刘秀 -专利权人：有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料（山东）有限公司
申请日： 2023-02-02 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种高性能大尺寸碳靶材的制备方法，所述碳靶材以高纯甲烷气体为碳源气体，氮气和氢气为稀释气体和载气，采用化学气相沉积法进行制备；首先，使碳靶材在底部沿水平方向生长1‑5mm，然后，改变气体流型使碳靶材沿垂直方向生长5‑10mm，接着，再在顶部使碳靶材沿水平方向生长1‑5mm，获得两种生长方向的大尺寸碳靶坯，最后，使用机加工的方式将底部及顶部1‑5mm厚沿水平方向生长的碳去除，获得直径≥400mm，厚度5‑10mm，密度≥2.1g/cm3，纯度≥5N的高性能大尺寸碳靶材；该方法与现有技术相比，具有以下优点：(1)可获得大尺寸碳靶材；(2)工艺简单、提高生产效率：(3)靶材密度高
一种性能尺寸碳靶材制备方法

[发明专利]一种氧化铝靶材的制备方法-CN202011324764.8有效
发明人：刘文杰;钟小华;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C04B35/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后，先进行降温有氧烧结，再进行升温烧结，这样得到的氧化铝靶材密度更大，且无需进行真空烧结，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。
一种氧化铝制备方法

[发明专利]一种大晶圆用高性能超长大型旋转钛管靶材及制备工艺-CN202211739623.1在审
发明人：宁航;宁湘翼 -专利权人：宝鸡市飞腾金属材料股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种大晶圆用高性能高精度超长大型旋转钛管靶材及制备工艺，该工艺包括从原材料海绵钛源头控制质量，采用高纯海绵钛熔炼成钛锭后，再锻造成高纯钛棒、制管坯、挤压管坯、热处理、轧制和精密机加的连续工艺，以实现批量生产，能满足8～12英寸晶圆制程对高纯高性能大规格钛管靶材的需要。本发明真空自耗电弧(VAR)熔炼，纯度达到99.9995％，实现了大规格高性能纯钛旋转管靶材的全流程生产，钛管靶材长度超过2.5m、外径≥128mm、管壁厚为13～33mm、光洁度Ra1.0，技术效果显著
一种大晶圆用高性能超长大型旋转钛管靶材制备工艺

[发明专利]金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶-CN202210330774.5在审
发明人：谢迎春;黄仁忠;王高民;孙文;王昊 -专利权人：广东省科学院新材料研究所
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C24/04 文献下载
摘要：本发明涉及大尺寸旋转靶材制造领域，公开了金属靶背管表面金属靶材的沉积装置、方法和金属靶。金属靶背管表面金属靶材的沉积装置，包括：第一电磁感应线圈、第二电磁感应线圈以及金属粉喷射装置；第一电磁感应线圈和第二电磁感应线圈在同一方向上间隔且同轴设置，金属粉喷射装置的喷头位于第一电磁感应线圈和第二电磁感应线圈之间的间隔处在靶材背管表面沉积金属靶材的方法，采用前述的装置在靶材背管表面沉积大厚度高致密金属靶材。金属靶，通过在靶材背管表面采用前述方法沉积大厚度高致密金属沉积层得到。通过上述方案制得的金属靶材，厚度不受限，组织致密，溅射性能好，不开裂。
金属靶背管表面沉积装置方法

[发明专利]一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用-CN202210053774.5在审
发明人：姚力军;潘杰;郭红波;李伟;王林生;吴庆勇 -专利权人：宁波江丰钨钼材料有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种大尺寸钼靶材及其制备方法与应用，所述制备包括依次进行的高纯钼粉装模、冷等静压、烧结、热轧、校平、热处理、机械加工、清洁包装，进而制备得到所述大尺寸钼靶材；其中，所述热轧采取阶段热轧法进行本发明提供的大尺寸钼靶材的制备方法简单，可操作性强；制备得到的大尺寸钼靶材实现了晶粒的多样性控制，满足不同的溅射要求；也可以实现大尺寸高世代线靶材的生产。
一种尺寸钼靶材及其制备方法应用

[发明专利]一种物理气相沉积镀膜用靶材及其制备方法与应用-CN202310346001.0在审
发明人：莫伟铭;胡健;陈成;屈建国 -专利权人：深圳市金洲精工科技股份有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种物理气相沉积镀膜用靶材及其制备方法与应用，所述物理气相沉积镀膜用靶材包括靶面上设置有至少一个凹槽的基体靶材，每个所述凹槽内嵌入有镶嵌靶材；所述基体靶材与镶嵌靶材中的一种为石墨靶材。本发明提供的物理气相沉积镀膜用靶材的基体靶材靶面上可以镶嵌不同形状、尺寸与数量的镶嵌靶材，实现靶材成分的多元化；所述镶嵌靶材通过机械的方式镶嵌于所述基体靶材靶面上的凹槽中，使物理气相沉积镀膜用靶材的结构更加稳定，避免了分层与裂纹等缺陷的产生；所述基体靶材靶面上镶嵌靶材的面积与基体靶材的靶面面积之比可以根据实际生产需要进行调控，从而制备出具有不同成分占比的碳基涂层。
一种物理沉积镀膜用靶材及其制备方法应用

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条