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[实用新型]一种靶材帮定控温装置-CN202020614865.8有效
发明人：李兵 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G05D23/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器，温控表电连接于温控记录仪的信号接收口，温控记录仪电连接于温控器的信号接收口，温控器电连接于调功器的信号接收口，调功器于发热件电连接；通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置，对帮定平台上的温度进行实时监控和加热，使得帮定平台不同区域之间的温度相近，提高帮定效果。
一种靶材帮定控温装置

[实用新型]一种靶材帮定自动控温装置-CN201820246435.8有效
发明人：李兵 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： G05D23/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材帮定自动控温装置，控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度比较曲线或时间温度对照表进行比较本实用新型通过记录仪记录并保存加工过程的带有时间标记的热电偶的电压信号，形成一时间温度比较曲线，在批量加工过程中将当前各热电偶的电压信号与时间温度比较曲线的相应时间点的电压信号比较，自动控制背板的温度，提高靶材帮定质量
电压信号热电偶温度比较靶材温度比较单元自动控温装置本实用新型电流信号记录仪输入端电连接记录仪记录温度对照表批量加工时间标记电连接时间点背板存储保存

[发明专利]筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧-CN201010215852.4无效
发明人：文宏福 -专利权人：韶关市欧莱高新材料有限公司
申请日： 2010-06-26 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及筒状旋转靶材帮定材料中含导电导热弹簧，在金属背管外表面均匀镶嵌有片式或其它形状的导电导热的弹簧，在单节旋转靶材材料内表面涂覆金属涂层，再将一个或多个内壁涂覆金属涂层的单节旋转靶材材料套在金属背管外壁，并调整单节旋转靶材材料与金属背管以及相邻单节旋转靶材材料之间的位置，对金属背管进行加热处理，使单节旋转靶材材料内壁金属涂层局部熔化，从而能够紧密地贴附在镶嵌于金属背管的弹簧片表面，停止加热并自然冷却，获得旋转靶材。在靶材材料和背管之间充填可导电导热的弹簧片实现金属背管与单节靶材的帮定，具有工艺简单、连接牢固和导电导热性能优良的优点，同时制作成本低廉。
旋转靶材帮定材料导电导热弹簧

[发明专利]一种改进型靶材炉设备及靶材邦定方法-CN201710004218.8在审
发明人：张磊;顾正;张晓峰;郭校亮;陈良杰 -专利权人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： B23K1/008 文献下载
摘要：一种改进型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的手动加压阀，炉体内部与外置的真空泵连通本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；熟练工人靶材邦定的合格率达到
一种改进型靶材炉设备靶材邦定方法

[发明专利]一种新型靶材炉设备及靶材邦定方法-CN201710004399.4在审
发明人：张磊;顾正;张晓峰;郭校亮;陈良杰 -专利权人：青岛蓝光晶科新材料有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：一种新型靶材炉设备，属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门，炉体内设置加热基台，加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪，加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方设置有加压板，加压板的上端连接位于炉体外的液压泵，炉体内部与外置的真空泵连通本发明人工操作程序简单，靶材邦定效率提高；经过计算焊接的面积和铟球质量，可以确保铟料的利用率在98％以上；抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气，可以确保焊接的面积在97％以上；压力控制可以有效增加靶材和基板之间的结合力，保证后期溅射过程中的靶材不出现脱落问题；熟练工人靶材邦定的合格率达到100％。
一种新型靶材炉设备靶材邦定方法

[发明专利]靶材浇铸的冷却方法、计算机可读存储介质及靶材浇铸装置-CN202110745244.2在审
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种靶材浇铸的冷却方法、计算机可读存储介质及应用该靶材浇铸的冷却方法的靶材浇铸装置。靶材浇铸的冷却方法，包括以下步骤：靶材安装步骤.靶材浇铸装置的底座上设有背管安装位，将背管安装在所述背管安装位，将中空管状的浇铸模具与背管同轴地套装在背管外周，将控温装置罩设在安装好浇铸模具的背管外；浇铸步骤.通过控温装置对靶材放置处进行升温处理，将预先处理好的靶材原料自模具与背管之间的空隙注入；冷却步骤.自背管下端往上且自模具侧往外向控温装置侧依次冷却。该靶材浇铸的冷却方法自下而上且自内而外地进行冷却，通过快速喷淋的方式实现快速冷却而又不会造成冷却不均。
浇铸冷却方法计算机可读存储介质装置

[发明专利]一种硒化镉薄膜气相外延制备系统-CN201711306122.3有效
发明人：刘翔;何利利;杨盛安;张明;吴长树 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2017-12-11 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： C30B23/06 文献下载
摘要：该制备系统包括位移系统、控温系统、外延系统、操作箱、固定台、靶材存储箱，固定台固定设置在靶材存储箱顶端，操作箱设置在固定台上，位移系统设置在支撑架上，控温系统固定设置在位移系统顶端，外延系统水平设置且一端与操作箱连通，外延系统的另一端向控温系统延伸且可插入控温系统内。
一种硒化镉薄膜外延制备系统

[实用新型]一种新型制靶装置-CN201520538418.8有效
发明人：周道怀;汪奇;陶道昌 -专利权人：安徽今上显示玻璃有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型制靶装置，它包括一均热盘，所述均热盘内水平等距的预设有加热孔道；至少一加热管，每一所述加热管对应安装于所述加热孔道内；一铜背板，所述铜背板设置于所述均热盘的上表面。本实用新型的新型制靶装置，它改进了现有技术中的缺陷，可用于ITO镀膜行业的ITO硅靶、铌靶以及其他一切金属靶的邦定，加热快，加热均匀，温升平稳，能有效的提高靶材制作过程中邦定的质量，提高靶材的质量；而且由于铟在空气中易于氧化，使用本装置可以缩短整个制靶邦定的过程，从而有效的减少了靶材制作过程中稀有贵重金属铟的消耗，节约了成本。
一种新型装置

[实用新型]一种靶材浇铸装置-CN202121482786.7有效
发明人：雷雨;周志宏;肖世洪;周昭宇;汪政军 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B22D27/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及磁控溅射靶材制备技术领域，特别涉及一种靶材浇铸装置。靶材浇铸装置包括圆柱状的背管、与背管同轴的且能套设在背管外周的中空管状的浇铸模具，以及能罩住背管和模具的控温装置，背管与浇铸模具之间的间隙用于注入靶材原料，还包括能在背管内往径向喷洒冷却液的喷淋装置。利用该靶材浇铸装置，其喷淋装置的冷却方法自下而上且自内而外地进行冷却，通过快速喷淋的方式实现快速冷却而又不会造成冷却不均。
一种浇铸装置

[实用新型]一种靶材背管喷涂设备的恒温系统-CN201920885922.3有效
发明人：敬正柏 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-06-13 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： G05D23/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材背管喷涂设备技术领域，尤其是指一种靶材背管喷涂设备的恒温系统，其包括循环液容器、热交换反应装置、泵液装置和温度控制电路，循环液容器内盛装循环热交换媒介和用于加热循环热交换媒介的发热管，温度控制电路设置有三相电源输入端，三相电源输入端并联有泵液驱动支路、发热驱动支路和控温支路，泵液驱动支路电连接泵液装置，发热驱动支路电连接发热管，控温支路设置有温控器和温度传感器，温度传感器用于实时监测循环液容器内的循环热交换媒介的温度本实用新型能使生产过程中靶材背管的温度趋近恒温，增强喷涂层和靶材背管的沾合力，提升良品率。
驱动支路热交换靶材背管循环液发热三相电源输入端温度控制电路本实用新型温度传感器支路泵液装置喷涂设备媒介电连接发热管温控器泵液控温反应装置恒温系统加热循环生产过程实时监测良品率喷涂层并联导通盛装

[实用新型]磁控溅射靶冷却系统-CN202320014430.3有效
发明人：乔梦文;田利丰;崔云涛;刘静 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种磁控溅射靶冷却系统，磁控溅射靶包括靶材和磁体，磁控溅射靶冷却系统包括冷头和储液箱，冷头包括均温板，均温板设于靶材和磁体之间，均温板设有顶部具有开口的腔体，腔体具有进口和出口，储液箱用于盛放金属流体，进口和出口分别与储液箱连通，金属流体能够在腔体内流动与均温板接触进行热交换。本实用新型将均温板设置在靶材和磁体之间，在磁体设置顶部具有开口的腔体，腔体与盛放有金属流体的储液箱连通，金属流体与均温板接触换热；根据液体金属热导率高，利用对流或冲击换热的方式与均温板进行热交换，降低靶材的温度，提高靶材温度均匀性，保护靶材，延长靶材的寿命，避免磁控溅射靶受热能侵害，保证磁控溅射的顺利进行。
磁控溅射冷却系统

[发明专利]TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺-CN201810973020.5在审
发明人：常艳超;臧卫祥;尤小磊;丁静仁;程小明;徐东起;王冬振;董意男;董常亮;高奇峰 -专利权人：爱发科电子材料（苏州）有限公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： B21C37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材压延工艺，包括步骤一、铝锭形成半成品铝板作业步骤，将铝锭依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成半成品铝板；步骤二、冷却步骤，将半成品铝板进行自然冷却步骤；步骤三、半成品铝板形成成品步骤，将半成品铝板依次经过加热、控温、压延、校直、切断，形成TFT液晶面板配线层用高纯铝靶材的板材，其中最后一次的压制展延的下压量为X，50％＜X＜70％。
铝板压延半成品配线层高纯铝靶材控温铝锭校直加热成品步骤冷却步骤适用条件作业步骤下压量压制

[发明专利]物理气相沉积装置和方法-CN202310760690.X在审
发明人：张冲 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本公开涉及一种物理气相沉积装置和方法，物理气相沉积装置包括反应腔室、第一磁控组件、支撑部以及第二磁控组件。反应腔室的顶部设有靶材。第一磁控组件设置于靶材的背面。第二磁控组件设置于支撑部的背面。第一磁控组件工作时在靶材处产生磁场，使得等离子体的正离子被阴极负电所吸引，轰击靶材，撞出靶材的原子，并沉积到衬底上得到膜层；此外，第二磁控组件工作时产生的磁场线与第一磁控组件产生的磁场线互补，不仅能进一步地增大电子碰撞几率，提高沉积速率，还能改变电子分布轨迹，使得靶材上各个部位的磁场强度相对均匀一致，这样靶材各个位置厚度均一性较好，进而能提高靶材使用率，延长靶材的使用寿命，降低成本。
物理沉积装置方法

[发明专利]一种低温低损伤多功能复合镀膜的装置和方法-CN201310027354.0有效
发明人：雷浩;肖金泉;宫骏;孙超 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2013-01-23 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该装置由包括两组四个矩形非平衡态磁控靶材、一个离子源和一个工件转架在内的真空腔体组成。两组非平衡态靶并排放置，每组中两个靶材呈面对面放置，可独立工作或同时工作；靶与靶之间距离可调，靶与靶的角度可调，靶材使用直流电源驱动，在每组靶材中靶与靶之间产生等离子体。工件转架位于两组靶材之间的中间位置，离子源位于一组靶材侧面，起离子清洗和辅助沉积的作用。本发明可以屏蔽二次电子和氧负离子等造成聚合物等有机材料损伤和温升，并通过低温线性离子源辅助沉积，实现在聚合物等有机材料表面上低温低损伤高速均匀沉积薄膜。
一种低温损伤多功能复合镀膜装置方法

[实用新型]一种低温低损伤多功能复合镀膜的装置-CN201320039940.2有效
发明人：雷浩;肖金泉;宫骏;孙超 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2013-01-23 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：该装置由包括两组四个矩形非平衡态磁控靶材、一个离子源和一个工件转架在内的真空腔体组成。两组非平衡态靶并排放置，每组中两个靶材呈面对面放置，可独立工作或同时工作；靶与靶之间距离可调，靶与靶的角度可调，靶材使用直流电源驱动，在每组靶材中靶与靶之间产生等离子体。工件转架位于两组靶材之间的中间位置，离子源位于一组靶材侧面，起离子清洗和辅助沉积的作用。本实用新型可以屏蔽二次电子和氧负离子等造成聚合物等有机材料损伤和温升，并通过低温线性离子源辅助沉积，实现在聚合物等有机材料表面上低温低损伤高速均匀沉积薄膜。
一种低温损伤多功能复合镀膜装置

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