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[发明专利]金属制杯的镀膜方法-CN201610472241.5有效
发明人：林彩惠 -专利权人：林彩惠
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明是有关于一种金属制杯的镀膜方法，其主要于操作环境下设有转架，该转架内对应放置欲镀膜的金属杯体，且该转架一侧对应设有欲镀金属靶材，并于靶材与转架之间设有气道治具，该气道治具上设有气嘴对应喷导惰性气体于金属杯体，经由环境升温至一定值后起弧放电，电弧撞击靶材而使其流离化，并配合靶材对应角度及气道治具所导出的惰性气体反应，而让靶材金属化合物沉积于杯体表面；通过上述步骤，达到均匀镀膜的工艺。
金属镀膜方法

[实用新型]溅射镀膜设备-CN202021050327.7有效
发明人：宗坚 -专利权人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一溅射镀膜设备，适用于在基材表面镀膜，其中所述溅射镀膜设备包括一用于容置基材与靶材的反应腔体和一电极装置，其中所述电极装置被安装于该反应腔体，其中所述电极装置包括：至少一射频电源，具有预设的频率；至少一射频驱动电极，其连接于所述射频电源的输出端，其中该靶材位于靠近所述射频驱动电极的位置，其中该基材面向该靶材且相距一定的距离，并形成一溅射空间；以及至少一供磁元件，其中所述供磁元件被设置于在临近该靶材的区域产生至少部分平行于该靶材表面的磁场的位置
溅射镀膜设备

[实用新型]一种料盒、下料装置以及料理机-CN202122559717.8有效
发明人：黎祥 -专利权人：深圳市商汤科技有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： A47J36/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种料盒、下料装置以及料理机，料盒包括：第一容置腔，第一容置腔用于放置液体食材；温度测量装置，温度测量装置用于测量液体食材的温度；控温组件，控温组件用于根据温度测量装置的测量结果对第一容置腔内的食材的温度进行控制，以便食材的温度保持在预设温度。上述方案，能够维持料盒内食材的温度。
一种装置以及料理

[发明专利]一种环保隔热控温阻燃材料的制备方法-CN202210647127.7有效
发明人：康翼鸿;喻学锋;何睿;艾丹 -专利权人：武汉中科先进材料科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C09K5/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种环保的隔热控温阻燃材料的制备方法，将膨胀石墨与控温阻燃微胶囊相结合，利用膨胀石墨疏松多孔以及微胶囊中相变材料和阻燃剂的特性，实现隔热控温阻燃的效果。首先将相变材料和阻燃剂混合后作为芯材，密胺树脂作为壁材，采用原位聚合法制备控温阻燃微胶囊，然后利用分散剂在高速剪切和超声作用下将膨胀石墨分散在水相中，加入控温阻燃微胶囊混合均匀后，采用喷雾干燥得到负载有控温阻燃微胶囊的膨胀石墨本发明制备的隔热控温阻燃材料可用于动力电池、建筑涂料等领域中，实现节能环保安全的目的。
一种环保隔热阻燃材料制备方法

[发明专利]一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法-CN202110109552.6在审
发明人：沈洪雪;姚婷婷;李刚;彭塞奥 -专利权人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种高透、高阻、高硬度共掺杂DLC薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面污垢：S2、采用磁控三靶共溅射系统，将W靶与C靶分别放置于磁控三靶共溅射系统的两个靶位，W靶与C靶均采用直流电源，然后对磁控三靶共溅射系统抽真空、通入氩气、起辉，活化和清理靶材；S3、将衬底置于磁控三靶共溅射系统内，直流电源对磁控三靶共溅射系统抽真空，在真空度抽至6.0*10‑5
一种硬度掺杂 dlc 薄膜制备方法

[发明专利]高温超导薄膜的制造方法-CN98124540.4无效
发明人：潘树明 -专利权人：潘树明
申请日： 1998-11-12 - 公布日： 2000-05-24 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：一种液氮温区高温超导薄膜的制备方法,—分区分靶溅射法。其特征是根据需要制作多个磁控靶,可以分别控制每个磁控靶的溅射速度,可以根据需要改变膜内元素组分。几种物质依次溅射,溅射的超导薄膜进行热处理。
高温超导薄膜制造方法

[实用新型]圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置-CN200920350675.3有效
发明人：丁照崇;董亭义;范亮;蒋宇晖;万小勇 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2009-12-28 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G01R33/12 文献下载
摘要：本实用新型属于PTF检测设备领域，具体涉及一种圆形铁磁性靶材多圆周PTF检测装置。在检测过程中，圆形铁磁性靶材固定在样品台上，通过样品台平移，可使霍尔探头定位在圆形铁磁性靶材任一圆周上，再经样品台旋转，即能够采集到整个圆周上各点的PTF值。因此，采用该装置，可采集到圆形铁磁性靶材多个圆周上的PTF值，当圆周个数增加到一定程度，即可近似为对整个铁磁性靶材PTF进行面扫描检测，全面检测靶材缺陷异常及评价靶材PTF均匀性。
圆形铁磁性靶材多圆周 ptf 检测装置

[实用新型]一种冶金靶材制备用烧结装置-CN202121006081.8有效
发明人：邹硕华 -专利权人：长沙鑫康新材料有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种冶金靶材制备用烧结装置，包括固定辅助机构、加热机构和烧结机构，所述固定辅助机构的上端内侧设置有加热机构，所述加热机构的内部设置有烧结机构，该靶材制备用烧结装置通过烧结机构的设置，第一压柱和第二压柱的作用在于配合烧结腔，并对均匀分布的多个腔体内的靶材原料进行同步挤压铸型，从而有效提高了靶材的制备效率，通过固定辅助机构的设置，靶材在密闭腔体中因缺乏氧气的接触与催化从而导致靶材的制备效率在一定程度上有所降低，因此流量泵的作用在于可通过氧气管对进料管中注入氧气，直至氧气进入烧结腔体中，从而提高烧结效率，通过加热机构的设置可对靶材进行均匀加热。
一种冶金制备烧结装置

[发明专利]一种稀土元素改性的宽温薄膜储能电容器及其制备方法-CN201811647436.4有效
发明人：刘明;孙梓雄 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01G4/12 文献下载
摘要：本发明涉及储能薄膜材料领域，公开了一种稀土元素改性的宽温薄膜储能电容器及其制备方法；该制备方法在高温、高氧压环境下，利用超高真空射频磁控溅射技术，通过等离子体对靶材轰击，使靶材粒子沉积在基片上，并实现外延生长使得通过该方法制备出的薄膜晶粒尺寸均匀，薄膜表面平整，结晶度好，结合BaZr0.2Ti0.8O3陶瓷靶材优良的储能特性，使其该陶瓷靶材作为BT‑基储能材料的储能特性进一步增强。
一种稀土元素改性薄膜电容器及其制备方法

[发明专利]一种大尺寸、高致密度钼靶材的制备方法-CN202211204651.3在审
发明人：姚力军;潘杰;周友平;孙慧芳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B22F5/00 文献下载
摘要：本发明涉及了一种大尺寸、高致密度的钼靶材的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将钼粉依次进行退火、冷压和热压烧结，得到钼坯；将所述钼坯放入焊接后的包套中，经热等静压拼接后，得到钼靶材；制备得到的钼靶材的尺寸本发明提供的制备方法通过将经过筛分、退火后的钼粉先进行一次冷压成型，后进行多段升温及保温的热压炉烧结致密，得到小段的钼靶坯经过热等静压拼接，再经过机械加工、清洗包装等工序，制备得到的钼靶材致密度高、晶粒细小、尺寸大，能够满足液晶显示和触控屏行业的要求。
一种尺寸致密度钼靶材制备方法

[发明专利]一种高温稳定TiN薄膜及其制备方法-CN202310679992.4在审
发明人：杨哲一;崔锦文;王弘喆;崔雄华;张磊 -专利权人：西安热工研究院有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温稳定TiN薄膜及其制备方法，该制备方法包括：步骤1，对基体进行打磨，抛光处理；将基体清洗；将基体烘干处理；将体置于磁控溅射仪的中央样品台上，在靶基座上装上Ti靶、Cr靶和Si靶，关闭溅射室，进行真空抽取；当真空达到背景真空6.0×10‑4Pa后，对三个靶材进行预溅射，除去三个靶材表面附着的杂质；设置薄膜溅射参数，打开氮气阀门，打开Ti靶、Cr靶和Si靶直流电源，进行磁控共溅射，镀制TiN复合薄膜；取出薄膜样品。
一种高温稳定 tin 薄膜及其制备方法

[发明专利]一种TZO陶瓷靶材制备方法及加工装置-CN202210418535.5有效
发明人：扈百直;董冬青;孔伟华 -专利权人：江苏迪丞光电材料有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：一种TZO陶瓷靶材制备方法及加工装置，将Ti、Zn、Sn颗粒混合加入球磨机中，抽真空后球磨，球磨速率包括三个不同速率阶段，并于三阶段将氧气逐量的引入到球磨的密闭体系中，每次引入氧气都给予充分的球磨时间，制得的混合纳米颗粒导入模具中，热压成靶材的粗胚；再以恒定的温降速率冷却粗胚至常温后，烧结，制得陶瓷靶材。本发明利用球磨降低原料粒径的同时，利用球磨产生的热量氧化原料，制得充分混合且密接的适用于TZO陶瓷靶材的混合颗粒，便于进一步热压；通过加工装置完成热压并衔接的进行冷热循环处理，提升制得的粗胚的密实度、刚性、强度，且经过冷热循环处理的粗胚，避免的烧结时的开裂现象，提高了陶瓷靶材成品的制成率。
一种 tzo 陶瓷制备方法加工装置

[实用新型]一种离子注入设备的高效离化离子发生装置-CN202220099802.2有效
发明人：郎文昌;钱琦嘉;蒋慧珍;郭景燕;林振宇;陈盛旭;赵涣波;刘艳杰 -专利权人：温州瑞明工业股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种离子注入设备的高效离化离子发生装置，属于离子注入技术领域，其包括设有磁控溅射离子发生腔室壳体、曲面靶材与溅射电源，其中反应腔室内依次设有溅射区、磁场导向区与离子引出组件，所述离子引出组件对立一侧设有电子发生装置，曲面靶材对称固定在发生腔室壳体的两侧内壁上，磁控溅射离子发生腔室壳体的两侧外壁上对应曲面靶材设有磁控线圈；本实用新型通过在磁控溅射离子发生腔室壳体内壁设置一组对称的曲面靶材，既能大大减少沉积区域的颗粒数量，同时不影响沉积速度，又增加了金属离子与靶材接触面积，极大的提高了粒子的离化率，可获得优质涂层。
一种离子注入设备高效发生装置

[发明专利]一种纳米金属间化合物储氢材料的制备方法-CN201811359671.1在审
发明人：张怀伟;傅力 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明的方法以高纯金属靶材作为溅射源，高纯氩气作为离子溅射气体进行多靶磁控反应共溅射，其特征在于，溅射过程中保证样品台以一定频率发生振动，溅射源金属离子发生合金化反应形成纳米颗粒沉积至样品台，得到纳米金属间化合物储氢材料
储氢材料纳米金属样品台溅射源制备磁控反应共溅射退火高纯金属靶材合金化反应高纯氩气加热装置金属离子离子溅射纳米颗粒频率发生可控性多靶溅射沉积磁场保证

[发明专利]一种用于制造椎弓根螺钉的医用钛合金棒材的制备方法-CN201710068703.1有效
发明人：陶晓杰;钟功诚;白树玉;徐春宝;闵小华;白鹏飞;王义勇 -专利权人：大连盛辉钛业有限公司
申请日： 2017-02-08 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于制造椎弓根螺钉的医用钛合金棒材的制备方法，包括以下步骤：扒皮；表面处理；控温拉拔；切断；高温退火；双曲线冷矫直；去应力退火；磨光。本发明采用控温拉拔、完全退火与冷矫直、去应力处理相结合的工艺方式，制备医用钛合金棒材，即以热轧材为坯料经过控温拉拔成形及去应力处理工艺获得最终产品。与热轧、热拔等传统工艺相比，棒材在控温拉拔变形过程中，由于晶粒变形导致位错塞积使材料产生加工硬化，导致材料强度提高。并通过适当的高温热处理使塑性提升，并使强度维持较高水平从而提高材料的机械性能。采用本发明得到的医用钛合金棒材用于制造椎弓根螺钉后，椎弓根螺钉的U型槽口缩口在0.05mm以下，且缩口稳定。
一种用于制造椎弓根螺钉医用钛合金制备方法