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[发明专利]靶材轧制方法-CN201810011222.1在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈金库 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-01-05 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B21B3/00 文献下载
摘要：一种靶材轧制方法，包括：提供靶材坯料；将所述靶材坯料加热至第一温度；在将所述靶材坯料加热至第一温度后，对所述靶材坯料进行压延处理；在所述压延处理过程中，当所述靶材坯料温度降低至第二温度时，对靶材坯料进行加热处理，将所述靶材坯料加热至第一温度后进行所述压延处理；交替进行所述加热处理及所述压延处理，直至将所述靶材坯料制成靶材。本发明能够防止所述靶材坯料在进行所述压延处理过程中出现裂纹，从而可提高所述靶材的轧制质量，改善所述靶材的溅射性能。
靶材坯料压延处理靶材轧制加热加热处理温度降低对靶溅射坯料

[实用新型]一种靶材贴合装置-CN201921762148.3有效
发明人：何建进;陈江伟;何凌男 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材贴合装置，包括底座，底座上安装加热板，加热板上放置靶拖，靶拖上放置靶材，靶材和靶拖相接处的一面均涂有易熔金属涂层，靶材和靶拖的侧壁间卡接定位框，加热板的一侧的底座上安装固定架，固定架顶部通过螺纹结构套接压紧螺柱，压紧螺柱的底部贯穿固定架并卡接压紧板，压紧板紧密压在靶材上。通过定位框包裹靶拖和靶材外壁，从而将靶拖和靶材外壁对齐定位，将定位后的靶拖和靶材放置到压紧板底部的加热板上，通过压紧螺柱带动压紧板压紧靶材，从而使得靶材和靶拖固定，通过加热板加热靶拖，使得易熔金属涂层融化，定位框对靶材和靶拖相接处的缝隙极性封堵，避免融化的金属外溢，则金属液凝固后将靶材和靶拖牢固贴合。
一种贴合装置

[实用新型]一种直条靶材装夹机构-CN202020925908.4有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种直条靶材装夹机构

[发明专利]一种靶材组件的制造方法-CN201710469530.4有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;李健成 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-06-20 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B23K1/005 文献下载
摘要：一种靶材组件的制造方法，包括：提供焊接平台；提供加热板，加热板放置于所述焊接平台，所述加热板经所述焊接平台加热后能够保温；提供靶材和背板，所述靶材和所述背板放置于所述焊接平台，在所述靶材和所述背板至少其中之一的焊接面涂布焊料；提供支架，待所述加热板、所述靶材和所述背板通过所述焊接平台加热至预设温度后，移动所述加热板至所述支架；移动所述靶材和所述背板至所述加热板，并将所述靶材的焊接面和所述背板的焊接面相对设置并贴合，形成靶材组件本发明制造靶材组件的过程中，焊接平台无冷却降温过程，不需要经过再加热过程，提升了靶材组件的制造效率。
焊接平台加热板靶材靶材组件背板焊接面制造支架加热背板放置降温过程涂布焊料相对设置无冷却再加热移动贴合预设保温

[发明专利]靶材坯料的热处理方法-CN200910164857.6有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-08-11 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种靶材坯料的热处理方法，包括：提供靶材坯料；以第一加热温度将所述靶材坯料加热至第二温度，所述第一加热温度大于靶材坯料的热处理温度，所述第二温度小于且接近靶材坯料的热处理温度；以第三加热温度将所述靶材坯料加热至所述热处理温度，所述第三加热温度大于靶材坯料的热处理温度，且小于所述第一加热温度。所述靶材坯料的热处理方法能够加快产品的加热速度，提高热处理工艺的准确性和稳定性。
坯料热处理方法

[实用新型]一种板状靶材装夹机构-CN202020930323.1有效
发明人：王俊锋;王锋;袁明 -专利权人：广东鼎泰机器人科技有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材装夹供料技术领域，尤其公开了一种板状靶材装夹机构，包括载架、设置于载架的加热单元及磁铁、用于冷却载架所承载的板状靶材的冷却单元，载架设有与板状靶材配合使用的锥形孔，锥形孔靠近板状靶材一端的孔径小于锥形孔远离板状靶材一端的孔径，加热单元用于加热蒸发载架所承载的板状靶材，磁铁作用于板状靶材蒸发后经由锥形孔移出的靶材离子；实际使用时，将板状靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的板状靶材加热蒸发成靶材离子经由锥形孔移出供料，借助冷却单元冷却板状靶材，避免板状靶材温度过高而炸裂；板状靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。
一种板状靶材装夹机构

[发明专利]靶材制备设备-CN201711480695.8有效
发明人：黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;蔡新志;朱刘 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材制备设备，工作台的台面上设置靶材成型框架，靶材原料填充到靶材成型框架内，通过加热装置对工作台的加热，使得工作台的台面形成靶材原料的加热板，将靶材原料加热融化，融化后的靶材原料均匀铺盖于靶材成型框架圈定的框架界限内，同时融化的靶材原料由震动装置震动流动，保证靶材成型框架内各个位置铺设的靶材厚度相同，成型密度均匀，通过工作台的台面和靶材成型框架可制备平板状结构的靶材，并由震动装置在成型过程中震动调整，保证靶材成型后的厚度和密度分布均匀，制备后的板状靶材，在后续绑定到背板的工艺中，避免单块靶材连接处的缺陷，保证表面平整度，提高了平面靶材的制备质量。
制备设备

[实用新型]一种用于真空镀膜的样品高温加热装置-CN202020233757.6有效
发明人：王宁 -专利权人：苏州泓沵达仪器科技有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜的样品高温加热装置，此装置设置在真空镀膜室内，包括基材加热组件、靶材加热组件，所述基材加热组件设置在真空镀膜室的上方，且能将所述真空镀膜室内的基材夹持组件夹持的基材加热，同时能对所述真空镀膜室进行预加热，所述靶材加热组件位于基材夹持组件的下方，且所述靶材加热组件能将靶材加热，并使所述靶材加热组件上的靶材蒸发。通过对基材和靶材的分别加热，来达到分别精准控制的目的，进而保证在基材上的靶材层的均匀和牢固，为真空镀膜技术进一步的发展提供一种可靠的加热方案，而且这种加热方式更环保节能。
一种用于真空镀膜样品高温加热装置

[发明专利]液滴靶产生装置、方法和极紫外光源产生系统-CN202011480518.1在审
发明人：马修泉;张琳;吴寒;闻锦程;王力波;王新兵;左都罗;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种液滴靶产生装置、方法和极紫外光源产生系统，其中，该装置包括靶材盒、限制装置、非接触式加热器和控制器；靶材盒内放置有预设规格的固体靶材，限制装置和所述非接触式加热器依次设置于靶材盒和真空环境中的预设激光击打位置之间的靶材运动路径上；控制器连接限制装置和非接触式加热器，用于控制限制装置限制每次只有一个固体靶材通过；固体靶材通过限制装置后，在外力场的作用下继续沿靶材运动路径运动，在通过非接触式加热器的加热区域时，控制器控制非接触式加热器将固体靶材加热至熔融状态，形成液滴靶。上述液滴靶产生装置，具有成本低的优点。
液滴靶产生装置方法紫外光源系统

[发明专利]溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法-CN201010517967.9有效
发明人： W·R·辛普森;韩淳锡 -专利权人： TCB韩国公司
申请日： 2010-10-25 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明涉及溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法。溅镀用旋转靶材的粘接方法包括如下步骤：(a)将背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经表面处理的背板和靶材；(d)在经冷却的背板的外周面上结合靶材并固定于平板上；(e)将固定的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在加热背板和靶材的同时，使其振动；(g)在加热并振动背板和靶材的同时，向背板和靶材的空间投入粉末状媒介粉末；(h)熔融投入铟并使其均匀分布；及(i)在停止加热及振动背板和靶材的状态下进行冷却。
溅镀用旋转接合利用上述合成物靶材粘接方法

[发明专利]一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法-CN201810466251.7在审
发明人：舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： C04B35/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型；加热管状靶材素坯、加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，在烧结温度下保持设定的时间，且加热采用微波加热与电阻加热混合方式进行，以及，降温、停止旋转、直至室温、得到烧结好的管状靶材。利用微波混合加热内旋转高温烧结方法能够制备出收缩均匀、无变形、无烧结裂变的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。
管状靶材高温烧结混合加热烧结内旋转微波素坯制备工业化应用电阻加热混合方式加热管状加热过程素坯成型微波加热旋转状态无变形靶材加热裂变收缩

[发明专利]旋转靶材制备设备-CN201711478720.9有效
发明人：黄宇彬;阿南·辛格·迪欧达特;谭继军;谭建林;文崇斌;朱刘 -专利权人：清远先导材料有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-03-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。
旋转制备设备

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110029201.0无效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： B23K1/002 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供靶材与背板；在所述靶材和背板的焊接面添加焊料，并将所述靶材与所述背板配合；将配合后的所述靶材和背板放置于线圈中；向所述线圈施加电流，对所述配合后的靶材和背板进行感应加热，焊接成靶材组件；冷却所述靶材组件。本发明能对靶材、背板以及焊料快速加热以完成靶材与背板的钎焊形成靶材组件，从而能够提高生产效率，实现对所述靶材组件的大批量生产。
背板焊接方法

[发明专利]一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统及方法-CN202110273871.0在审
发明人：肖红军;刘鸿飞;张文涛 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统，包括：加热装置：其包括加热件，用于加热ITO残靶，所述加热件能到将所述ITO残靶的温度加热至铟的熔点与靶材的熔点之间；离心分离装置：其包括ITO残靶容器和离心驱动装置，所述ITO残靶容器位于所述加热件内，所述残靶容器受所述离心驱动装置的驱动而旋转；所述ITO残靶容器用于放置所述ITO残靶，放置于所述ITO残靶容器内的ITO残靶能够随之一同旋转；收集装置，收集靶材和甩离所述靶材表面的液态铟。本发明还公开了一种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的方法。这种分离并收集ITO残靶中靶材与残留铟的系统和方法结构简单高效，便于控制和使用，能够方便地用于分离靶材与其表面残留的铟。
一种分离收集 ito 残靶中靶材残留系统方法

[实用新型]一种LCD靶材加热平台-CN202020459532.2有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;唐国天;张林 -专利权人：合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LCD靶材加热平台。本实用新型的LCD靶材加热平台，包括平台主体架，所述平台主体架上沿长度方向设置有相互独立地至少三组加热装置，每组所述加热装置包括温控组件和加热组件，所述加热组件设置于所述温控组件的上方，所述温控组件与所述加热组件电连接本实用新型的LCD靶材加热平台，可对靶材的快速、全面加热，实现LCD靶材的快速焊接、表面温度均匀的要求，尤其适合G10.5、G11代线靶材的批量生产。
一种 lcd 加热平台

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