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[发明专利]准分子激光退火装置和方法-CN201510383334.6有效
发明人：何超;余威 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2015-07-03 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明提供一种准分子激光退火装置，包括用于承载非晶硅薄膜的载台、准分子激光发生器、激光点阵发生器和扫描激光发生器，所述激光点阵发生器用于将所述准分子激光发生器发出的激光转换为照射到所述非晶硅薄膜的干涉激光点阵，扫描激光发生器用于将所述准分子激光发生器发出的激光转换为照射到所述非晶硅薄膜的扫描激光；本发明还提供了非晶硅薄膜的退火方法，在所述具有非晶硅薄膜的基板上的非晶硅薄膜层照射激光点阵，再在所述具有非晶硅薄膜的基板上的非晶硅薄膜层照射激光点阵，使得非晶硅转化为大晶粒尺寸的多晶硅。
准分子激光退火装置方法

[发明专利]用于切割脆性材料的激光切割头-CN201610444698.5在审
发明人：洪觉慧;施瑞 -专利权人：南京魔迪多维数码科技有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：一种用于切割脆性材料的激光切割头包括切割头壳体、激光组件、调控机构以及切割嘴。切割嘴与切割头壳体连接。激光组件包括用于产生热激光的热激光器和用于产生非热激光的非热激光器。激光组件通过调控机构设置于切割头壳体的空腔内。切割嘴设置有激光孔。调控机构调节控制热激光器和非热激光器，使得激光组件产生的热激光和非热激光经由激光孔出射并依先热激光后非热激光或先所述非热激光后热激光的顺序照射在待切割脆性材料的切割路径上。激光切割头设置有热激光器和冷激光器，且可在一次切割步骤中同时利用热激光和冷激光对脆性材料进行处理。热激光和非热激光在时间和空间上组合，减小切割过程中对材料的破坏，提高切割的效率和工件的精密度。
用于切割脆性材料激光

[发明专利]一种非稳腔固体激光器对准装调的方法-CN201910710326.6有效
发明人：武春风;王晓丹;白明顺;王红杰;陈黎;刘晓 -专利权人：航天科工微电子系统研究院有限公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，公开了一种非稳腔固体激光器对准装调的方法。通过导引光、望远系统(望远系统物镜、望远系统目镜)、成像系统、自准直系统能够对激光增益介质和激光器非稳腔前镜、激光器非稳腔后镜成像，通过对成像的光栏和自准直系统的成像光栏对准，通过调节激光器非稳腔前镜和激光器非稳腔后镜的俯仰对光栏标定上述方案可以实现对非稳腔的腔镜(激光器非稳腔前镜、激光器非稳腔后镜)和固体激光器介质的位置装调。
一种非稳腔固体激光器对准方法

[发明专利]激光退火装置-CN201680081336.2有效
发明人：池上浩;大久保智幸;若林理 -专利权人：国立大学法人九州大学;极光先进雷射株式会社
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：激光退火装置具备：CW激光装置，其输出对非晶硅进行预热的CW激光，该CW激光是基于连续振荡的激光；脉冲激光装置，其对已被进行了预热的非晶硅输出脉冲激光；光学系统，其将CW激光和脉冲激光引导至非晶硅；以及控制部，其控制CW激光的照射能量密度，以便将非晶硅预热至低于熔点的规定的目标温度，并且控制脉冲激光的注量和脉冲数中的至少一方，以使被进行了预热的非晶硅结晶。
激光退火装置

[实用新型]激光刻版装置-CN02233302.9无效
发明人：黄建智;邱昌模 -专利权人：精碟科技股份有限公司
申请日： 2002-04-26 - 公布日： 2003-05-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种激光刻版装置，包括一激光光源、一光圈、一光学构件以及一承载元件；其中光圈具有一非圆形开口，以便激光光源发出的激光光束经过光圈的非圆形开口后，形成非圆柱状的激光光束射至光学构件，光学构件将非圆柱状的激光光束以非圆点聚焦于承载元件所承载的一基板上
激光装置

[发明专利]激光退火方法及激光退火系统-CN201710398296.0有效
发明人：杨依辉 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-05-31 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光退火方法及激光退火系统，激光退火方法包括如下步骤：对基板上非晶硅层不同位置处的厚度进行检测；根据非晶硅层的厚度与激光能量值之间的关系，选取与该厚度对应的预设能量值；采用预设能量值的激光照射基板上非晶硅层的相应位置，非晶硅层高温熔融形成多晶硅层。激光退火系统包括激光退火室、设置在激光退火室内的光学检测器以及激光退火装置。基板上的非晶硅层在激光退火过程中，先根据非晶硅层不同位置处的厚度，来选取不用位置处对应的激光能量值，使得非晶硅层不同位置处被所需的能量值激光照射，进而使得非晶硅层不同位置处结晶化程度保持均匀，确保每一片基板上的非晶硅层都能够形成高品质的多晶硅层
激光退火方法系统

[发明专利]一种实时监测非链式脉冲化学激光器能量方法及装置-CN201910351185.3有效
发明人：黄珂;黄超;朱峰;陶蒙蒙;沈炎龙;陶波 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种实时监测非链式脉冲化学激光器能量方法及装置，实现了高功率高重频非链式化学激光器无插入能量监测，方法主要包括首先根据被测激光器中气体分子的特征谱线调节可调谐窄线宽激光参数；其次，将可调谐窄线宽激光分束后分别同时照射被测激光器的增益区及非增益区；最后，分别采集经过被测激光器增益区及非增益区的激光强度，获得激光器增益区及非增益区的吸收光谱曲线，并计算得到激光器重频运行过程中各个脉冲的能量。利用光学非接触方法测量激光器单个脉冲形成的激活物质(HF分子)的浓度，计算得到非链式脉冲化学激光器的脉冲能量，避免了在激光器输出光路中引入其它分光元件，简化激光输出光路的同时实现激光能量的实时监测。
激光器化学激光器增益区脉冲链式实时监测激光器增益可调谐窄线宽激光激光输出光路吸收光谱曲线光学非接触单个脉冲方法测量分光元件激光参数激光能量脉冲能量能量监测气体分子输出光路特征谱线运行过程高功率分束照射采集激活引入

[发明专利]非正交轴系激光经纬仪测量系统标定方法-CN201510352862.5有效
发明人：吴斌;薛婷 -专利权人：天津大学
申请日： 2015-06-24 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明涉及精密测量仪器，为提供一种用于非正交轴系激光经纬仪测量系统的标定方法，通过该方法，可以组建非正交轴系激光经纬仪测量系统，进而实现空间坐标、尺寸的测量。为此，本发明采取的技术方案是，非正交轴系激光经纬仪测量系统标定方法，首先，进行非正交轴系激光经纬仪内参数的标定；然后利用基准尺，建立两台非正交轴系激光经纬仪之间的位姿关系，从而完成非正交轴系激光经纬仪测量系统的标定本发明主要应用于非正交轴系激光经纬仪测量场合。
正交激光经纬仪测量系统标定方法

[实用新型]一种用于制作多晶硅薄膜的激光照射系统-CN201920483229.3有效
发明人：叶昱均 -专利权人：陕西坤同半导体科技有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：一种用于制作多晶硅薄膜的激光照射系统，包括：激光光源，提供连续式固体激光；准分子激光光源，提供准分子激光；控制单元，控制激光光源提供连续式固体激光经过反射镜反射至聚焦透镜，经由聚焦透镜将连续式固体激光照射设置在基板上的非晶硅薄膜的表面，使得部份非晶硅薄膜的表面形成结晶以及在部份非晶硅薄膜形成结晶之后，控制单元再控制准分子激光光源提供准子激光照射非晶硅薄膜的其余表面，使得非晶硅薄膜完全形成多晶硅薄膜；以及退火反应腔，用以容置激光光源，准分子激光光源及光学组件，据此，采用分段式的激光照射非晶硅薄膜以形成多晶硅薄膜，可以有效增加多晶硅的结晶率。
非晶硅薄膜多晶硅薄膜准分子激光光源固体激光激光光源连续式激光照射系统激光照射聚焦透镜退火反射镜反射准分子激光表面形成光学组件多晶硅反应腔分段式结晶率基板容置制作照射

[发明专利]按摩控制方法、装置、设备及存储介质-CN202110179284.5在审
发明人：刘杰;杜国威 -专利权人：未来穿戴技术有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： A61N5/067 文献下载
摘要：该按摩控制方法应用于可穿戴的按摩设备，所述按摩设备包括激光功能组件和非激光功能组件，所述方法包括：在按摩设备的激光功能组件被启动后，确定非激光功能组件所处区域；根据所述非激光功能组件所处区域的不同，将不同区域的所述非激光功能组件的信号输出量分别进行不同的调节本申请提供的方案，能提高激光功能组件和非激光功能组件的配合程度，使得用户对于激光照射区域和非激光照射区域产生的按摩感受差异较小，提升用户使用体验。
按摩控制方法装置设备存储介质

[实用新型]机器人底盘及机器人-CN202320572217.4有效
发明人：胡化超;毕备 -专利权人：美的集团（上海）有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：机器人底盘包括激光雷达、底盘部件和密封圈。激光雷达具有非激光收发部位，底盘部件设置有安装孔，激光雷达的非激光收发部位嵌设于安装孔内。密封圈套设于非激光收发部位的外周，密封圈与非激光收发部位以及底盘部件均密封配合。根据本实用新型实施例的机器人底盘，通过将密封圈套设于非激光收发部位的外周，且密封圈分别与非激光收发部位以及底盘部件密封配合，避免了水和灰尘进入到安装孔内对激光雷达的正常工作产生影响，提高了激光雷达的防护性能，延长了激光雷达的使用寿命。
机器人底盘

[发明专利]激光抛光实现激光氮化锆基非晶合金表面平坦化的方法-CN202110565580.9有效
发明人：黄虎;洪婧;钱永峰;王超;崔明明;刘翰林 -专利权人：吉林大学
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B23K26/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光抛光实现激光氮化锆基非晶合金表面平坦化的方法，属于非晶合金表面改性技术领域。利用激光聚焦在材料表面产生的热量，通过在氮气氛围内对激光氮化锆基非晶合金表面进行激光抛光使表面发生重融，从而降低表面粗糙度。本发明有效解决了现存激光氮化锆基非晶合金表面质量差的问题。通过改变激光抛光参数，实现对激光氮化锆基非晶合金表面粗糙度的调控。本发明实施过程简单、效率高、实用性强，可应用于降低激光氮化锆基非晶合金表面粗糙度，增强其实际应用。
激光抛光实现氮化锆基非晶合金表面平坦方法

[发明专利]一种利用非稳腔反射紫外激光的空气净化方法-CN202110854049.3在审
发明人：马修泉;刘怀亮;张振海;郑家容 -专利权人：广东国志激光技术有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： A61L9/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用非稳腔反射紫外激光的空气净化方法，其包括以下步骤：(1)提供一个紫外激光发生装置，所述紫外激光发生装置用于产生紫外激光束来实时快速的杀灭空气中的病原微生物，所述紫外激光束的横截面积为S；(2)提供一个非稳腔反射装置，将射入非稳腔的紫外激光束进行足够多次的反射；(3)所述紫外激光发生装置发射所述紫外激光束射向非稳腔反射装置内，在非稳腔内经过足够多次的反射，形成一个致密的紫外激光束网，同时所述空气通过非稳腔中所述紫外激光束形成的致密的紫外激光束网，空气中的病原微生物被杀灭。
一种利用非稳腔反射紫外激光空气净化方法

[发明专利]非视域成像装置和方法-CN202210287322.3在审
发明人：徐飞虎;黄鑫;黎正平;潘建伟 -专利权人：合肥国家实验室;中国科学技术大学
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01S17/89 文献下载
摘要：本公开提供了一种非视域成像方法，包括：S1，将一调频连续激光投射至中介墙，以使该中介墙将调频连续激光反射到非视域物体上，衰减另一调频连续激光；S2，探测从非视域物体所反射的激光信号和经过衰减后的另一激光信号，并将激光信号与另一激光信号混合形成混合信号，将混合信号转变为电信号；S3，傅里叶变换电信号，形成光子数直方图；S4，重构光子数直方图，形成非视域物体图像。本发明中所公开的一种非视域成像方法，创新性地在非视域成像领域引入调频连续波成像，相较传统的时域非视域成像体制，该体制通过利用具有较大调频范围的调频激光器，可实现超过时域体制的非视域成像精度，实现毫米级乃至微米级的非视域成像精度
视域成像装置方法

[发明专利]掩膜组件、投影模组、光电装置和电子设备-CN201810981437.6在审
发明人：李宗政;林君翰;陈冠宏;周祥禾;詹明山 -专利权人：南昌欧菲生物识别技术有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：反射镀膜设置在掩膜上，掩膜组件形成有透光区域与非透光区域，反射镀膜与非透光区域对应，反射镀膜用于反射射向非透光区域的激光。本发明实施方式的掩膜组件通过在非透光区域设置反射镀膜，使得激光发射器射向非透光区域的激光不是被吸收而是被反射镀膜反射回去，被反射镀膜反射的激光在掩膜组件和激光发射器之间来回反射并最终从透光区域射出以形成激光图案，相较于激光被非透光区域吸收，激光被反射时损耗较小，从而可以更充分的利用激光，进而减小投影模组的功耗。
组件投影模组光电装置电子设备

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