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- [发明专利]异质结晶体管及制备方法-CN202210110063.7在审
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李黄龙;杨逸飞
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清华大学
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2022-01-29
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2023-08-08
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H01L29/06
- 该晶体管包括:栅氧层,异质结,至少部分异质结设置在栅氧层的沟道区,异质结包括第一导电部和第二导电部,其中,第一导电部和第二导电部部分交叠形成交叠区域,且第一导电部和第二导电部的导电类型不同;电极部,包括源电极、漏电极和栅电极,其中,栅电极设置在栅氧层远离异质结的表面上;源电极设置在第一导电部远离交叠区域的一侧;漏电极设置在第二导电部远离交叠区域的一侧。通过这样的晶体管结构,能够产生独特的电学性质,沟道电流为非单调曲线,由于非单调曲线在输入信号过大或过小时都不能实现最大的输出,因此实现了异或逻辑的运算,从而能够同时兼具存储和运算的功能。
- 结晶体制备方法
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