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[发明专利]一种掩膜板及其制备方法-CN202310752514.1在审
发明人：张峰杰;王伟杰;薛金祥;孙中元;李腾 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开一种掩膜板及其制备方法，所述掩膜板包括设置有蒸镀开口的支撑层；设置于所述支撑层一侧的掩膜层，所述掩膜层包括金属掩膜层和第一辅助掩膜层，所述金属掩膜层设置有第二开孔；所述第一辅助掩膜层设置有第三开孔本发明通过设置支撑层作为掩膜板框架，起到支撑掩膜片的作用，并在所述支撑层上开设蒸镀开口，在蒸镀开口对应的金属掩膜层和第一辅助掩膜层上制备高精度开孔，通过第一辅助掩膜层辅助形成高精度开孔，提高了成孔精度，通过设置金属掩膜层，增强了掩膜板的机械强度，提高了制备良率。
一种掩膜板及其制备方法

[发明专利]一种金属掩膜条的检查分类设备及方法-CN202110125424.0在审
发明人：沈志昇;骆丽兵 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属掩膜条的检查分类设备及方法，包括背光源、位置测量装置、第一轨道和夹持装置，通过夹持设备、位置测量装置等设备的配合使用，获取待测金属掩膜条在当前张网状态下的当前张力和当前开孔位置，并据此进行分类，确保开孔位置一致的金属掩膜条统一使用在一张金属掩膜板中，以使得在金属掩膜框上所有金属掩膜条的整体开孔的偏移大小和方向相同。在实际张网时，工作人员就可根据归类中想要使用的金属掩膜条的当前张力和当前开孔位置的数据来预设合理的预设施力，来尽可能的抵消张网焊接过程中金属掩膜条的收缩力，减少金属掩膜条上开孔位置的偏移量，提高张网良率
一种金属掩膜条检查分类设备方法

[实用新型]一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件-CN201920302809.8有效
发明人：王宝 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件，属于OLED技术领域。一种支撑用金属掩膜版，其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。本实用新型采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版，完全可以取代现有技术的支撑条，在焊接到金属框架上时，只需要一次拉网，一次焊接，可以大大提高生产效率；而且一体成型的金属掩膜版无缝隙，解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题另外，由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度，保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上，使整个金属掩膜版表面的平整度大大提高。
金属掩膜支撑本实用新型一体制作掩膜版成型镂空网格结构一体成型的技术支撑金属框架精密金属生产效率网格结构一次焊接有机材料镂空结构交叉处平整度无缝隙支撑条多片网格掩膜合金拉网残留保证

[实用新型]一种掩膜板框架模组-CN201620531722.4有效
发明人：吕守华;李宝军 -专利权人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2016-10-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种掩膜板框架模组，属于OLED制备技术领域，其可解决现有的掩膜板框架模组和蒸镀背板玻璃之间的贴合缝隙导致的混色和产品良率降低的问题。本实用新型的掩膜板框架模组，包括矫正框架、掩膜板框架和至少一个金属掩膜板；至少一个所述金属掩膜板固定在所述掩膜板框架的一侧；所述矫正框架固定在所述掩膜板框架的远离所述金属掩膜板的一侧，所述矫正框架用于矫正所述掩膜板框架
一种掩膜板框架模组

[发明专利]成膜掩膜及其制造方法-CN201480055662.7无效
发明人：工藤修二;斋藤雄二;水村通伸 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2014-10-07 - 公布日： 2016-05-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及成膜掩膜及其制造方法。上述成膜掩膜通过具备掩膜板(1)和磁性金属构件的金属掩膜(2)而构成，其中，掩膜板(1)具备：树脂制的薄片(5)，其与被成膜在基板上的薄膜图案对应地形成多个开口图案(4)；以及磁性金属薄膜(7)，其在上述薄片(5)的一面(5a)被设置在形成了上述多个开口图案(4)的有效区域内，并在其上设置了内含上述多个开口图案(4)中的至少一个开口图案(4)的大小的贯通孔(6)，磁性金属构件的金属掩膜2在上述掩膜板(1)的上述磁性金属薄膜(7)侧与上述掩膜板1分离而独立地被设置，在其上形成了内含上述磁性金属薄膜(7)的大小的开口部(9)。
成膜掩膜及其制造方法

[发明专利]一种掩膜版、制作方法及制作夹具-CN202210105205.0在审
发明人：刘鑫;郑庆靓;李博;吴义超;赵阳;周俊吉 -专利权人：成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，涉及显示设备技术领域；技术方案：掩膜版本体工作面上拱，能够提高掩膜版本体的结构强度，减小掩膜版本体因材料本身刚度、重力和受热膨胀的下垂量，或避免掩膜版本体下垂，以通过掩膜版本体支撑金属精细掩膜版，减小金属精细掩膜版的下垂量或避免金属精细掩膜版，从而降低显示屏混色比例和混色风险，提高显示屏的成品率。掩膜版制作方法，在掩膜版本体的工作面涂覆张应力涂层或在掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层，均可获得前述的掩膜版本体。掩膜版制作夹具，包括掩膜版边框装载框和支撑板，支撑板位于装载框上端且各侧与装载框对应的侧壁连接，可通过支撑板可对掩膜版提供支撑。
一种掩膜版制作方法制作夹具

[发明专利]一种金属掩膜条张网固定结构及张网方法-CN202310630671.5在审
发明人：沈志昇;骆丽兵 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种金属掩膜条张网固定结构及张网方法，所述结构包括有金属掩膜板，金属掩膜板顶部开设有安装槽，安装槽内设置有金属块、磁吸装置、用于控制磁吸装置的电流模块、用于对磁吸装置和电流模块提供电源的电源装置以及用于与张网设备进行连接并控制电流模块状态的无线连接装置，金属块的顶部与金属掩膜板的顶部平齐，磁吸装置设置在金属块的下方或侧面，磁吸装置产生磁力，使金属掩膜条与金属块紧密贴合，从而解决了金属掩膜条受力不均匀导致的褶皱问题，提高了金属掩膜条张网良率以及张网效率
一种金属掩膜条张网固定结构方法

[发明专利]金属侧壁的制备方法及器件结构-CN201910506664.8有效
发明人：应利良;许婉宁;任洁;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明提供一种金属侧壁的制备方法及器件结构，所述制备方法包括：提供一衬底，并于所述衬底的上表面由下至上依次形成金属薄膜层及掩膜图形层，其中所述掩膜图形层暴露出部分所述金属薄膜层；以所述掩膜图形层为刻蚀掩膜，采用离子束刻蚀工艺对所述金属薄膜层进行刻蚀，以于所述金属薄膜层中形成刻蚀沟槽，同时利用刻蚀过程中金属原子的再沉积于所述掩膜图形层的侧壁表面形成金属侧壁；对所述金属侧壁进行掩膜去除处理，以去除所述金属侧壁外表面的掩膜图形层通过本发明解决了现有采用光刻工艺或剥离工艺制备金属侧壁时因受限于光刻精度无法制备出超薄金属侧壁的问题。
金属侧壁制备方法器件结构

[发明专利]一种掩膜式金属喷射沉积增材制造方法-CN202110089050.1在审
发明人：刘丰;王佳琳;王永威;戎文娟;马伊诺 -专利权人：北京机科国创轻量化科学研究院有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B22F10/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜式喷射成形增材制造方法，属于金属直接增材制造领域。该方法首先根据成形目标零部件模型的形状尺寸，进行切层处理，并生成一组具有特定轮廓的屏蔽掩膜；其次数控加工制作出多个掩膜，并按照预定顺序形成掩膜队列；在喷射成形过程中，逐层依次将掩膜添加至成形位置，金属熔液通过气雾化喷嘴，形成金属液喷雾，沉积到零件成形面掩膜限定的区域内；然后掩膜离位并顺序添加下一层掩膜，继续覆盖沉积金属材料，最终形成以多层掩膜型腔为外边界的金属零件。在金属喷射沉积增材制造过程中，采用精度良好的多层掩膜，可以提高金属喷射沉积零部件的成形精度。该方法适用于具有一定尺寸精度要求的金属零部件的直接喷射沉积成形。
一种掩膜式金属喷射沉积制造方法

[发明专利]一种掩膜板及其制备方法、基板的制备方法-CN201711029444.8在审
发明人：宋平;王菲菲;郭远征;王有为;蔡鹏;肖志慧 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种掩膜板及其制备方法、基板的制备方法，涉及显示技术领域，可改善掩膜板发生褶皱的问题。一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体包括至少一个开口区；非金属掩膜层设置于所述掩膜板本体上，且在所述开口区，所述非金属掩膜层包括若干子像素蒸镀孔。
一种掩膜板及其制备方法

[发明专利]一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法-CN201610547515.2在审
发明人：彭琎;孙滨;吴天准 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用微加工在电极表面制备三维微结构的方法，所述方法包括如下步骤：在电极的表面形成掩膜层；所述掩膜层上具有若干个贯穿所述掩膜层的空隙；通过在所述掩膜层上沉积金属层，在所述空隙内形成与所述电极的表面连接的金属点；去除所述掩膜层以及所述掩膜层上的金属层，使得所述金属点暴露出来。本发明通过掩膜在电极表面制得三维金属微结构，既能与组织界面紧密接触，又能获得较好的机械强度。
一种利用加工电极表面制备三维微结构方法

[发明专利]一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程-CN201810949101.1有效
发明人：杜骁 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，精密金属掩膜条位于金属支撑网上方，其中，金属支撑网为一体成型结构，金属支撑网上设置有至少一个开口区域，精密金属掩膜条上设置有图形区域，图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域，蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中
一种精密金属掩膜版装置蒸镀制程

[发明专利]一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法-CN201410338518.6无效
发明人：康嘉滨;苏志玮 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-07-16 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善OLED蒸镀工艺中金属掩膜温度稳定性的方法，包括以下步骤：提供蒸镀腔体与玻璃基板，将位于所述蒸镀腔体内的玻璃基板加热至一平衡温度；提供金属掩膜，将所述金属掩膜进行预加热至所述平衡温度；将完成预加热的所述金属掩膜传输入所述蒸镀腔体内的所述玻璃基板上进行蒸镀。本发明通过在金属掩膜传入蒸镀腔体前，对金属掩膜进行预加热，使金属掩膜在传入蒸镀腔体前，就已经达到连续蒸镀制程时将达到的平衡温度。如此在金属掩膜一开始传入蒸镀腔体时，就可以保持尺寸不受温度变化而产生变异，避免了金属掩模与玻璃基板因热膨胀而导致变形，进而达到制程的稳定。
一种改善 oled 工艺金属温度稳定性方法

[发明专利]一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀系统-CN201610115452.3有效
发明人：付文悦;崔伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-01 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板修复装置、修复方法及蒸镀系统，涉及掩膜技术领域，解决了现有对掩膜板进行修复必须将掩膜板从蒸镀腔室取出的问题。一种掩膜板修复装置，所述掩膜板修复装置包括修复器件和移动机构；所述移动机构用于带动所述修复器件在金属掩膜板正对的区域内、且在与所述金属掩膜板平行的面内移动；所述修复器件用于对所述金属掩膜板上与所述修复器件相对的部分进行修复应用于掩膜板修复。
掩膜板修复器件修复装置修复金属掩膜板移动机构蒸镀系统金属掩膜蒸镀腔室掩膜平行取出移动应用

[发明专利]蒸镀掩膜板组件及其制作方法-CN202011327146.9有效
发明人：周丽芳;赵莹;邹敏;周小康 -专利权人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀掩膜板组件及其制作方法，蒸镀掩膜板组件包括：中空的金属框架；金属掩膜板，具有第一表面以及第二表面，金属掩膜板的所述第二表面的周边固定于所述金属框架上，且所述金属掩膜板具有多个第一图形开口，多个第一图形开口中具有比预设图形开口尺寸大的超规格图形开口；以及金属遮挡部，固定于所述金属框架上，且所述金属遮挡部对应所述超规格图形开口设置并覆盖于所述金属掩膜板的表面，以遮挡所述超规格图形开口超出所述预设图形开口的区域本发明可以解决现有技术中的金属掩膜板开口尺寸及位置精度难达到需求管控规格精度的问题。
蒸镀掩膜板组件及其制作方法