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[发明专利]金属掩膜-CN202010336310.6在审
发明人：郦唯诚;李仲仁;赖元章 -专利权人：旭晖应用材料股份有限公司;全洋（黄石）材料科技有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种金属掩膜，其是低热膨胀系数的薄形掩膜本体中形成多个镀膜图案成形构造，掩膜本体的预定区域形成狭缝图案构造，狭缝图案构造的多个开口狭缝分别具有蚀刻成形的第一凹穴部与连通第一凹穴部的激光切割成形的狭缝图案成形部，第一凹穴部的斜向侧壁的斜角角度范围为35°～85°，第一凹穴部深度小于或等于掩膜本体厚度的4/5倍，具有垂直周壁的狭缝图案成形部深度大于或等于掩膜本体的厚度的1/5倍，通过先蚀刻、后激光切射的两阶段加工，搭配第一凹穴部与狭缝图案成形部的深度尺寸控制，使其易于控制与制作高分辨率的开口狭缝形状，缩短激光光束在切割狭缝图案成形部的加工时间，有效克服激光切割的高温而变形，提高金属掩膜的产品良率。
金属

[实用新型]一种金属掩膜板-CN202320216814.3有效
发明人：李泽鹏;刘雪;秦晓东;沈毅祥;金光哲 -专利权人：海宁奕诺炜特科技有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种金属掩膜板，包括上层金属掩膜板和下层金属掩膜板，上层金属掩膜板开设有若干引脚孔，上层金属掩膜板部分设置于下层金属掩膜板顶部，上层金属掩膜板与下层金属掩膜板可拆卸固定连接，上层金属掩膜板邻近下层金属掩膜板一侧开设有若干滑槽，下层金属掩膜板相对应滑槽固定有滑块，滑块与滑槽滑动配合，下层金属掩膜板邻近上层金属掩膜板一侧开设有卡槽，上层金属掩膜板相对应卡槽设置有卡块，卡槽与卡块可拆卸固定连接，本实用新型利用上层金属掩膜板开设若干引脚孔可对基板托盘引脚进行固定，下层金属掩膜板与上层金属掩膜板连接，对引脚孔进行遮盖，避免过多材料沉积在基板托盘引脚上且防止材料从引脚孔流至上层金属掩膜板背部。
一种金属掩膜板

[发明专利]一种掩膜体及金属掩膜版的清洗方法-CN202111396685.2在审
发明人：何秉轩 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜体及金属掩膜版的清洗方法，涉及光伏技术领域，以方便的清洗金属掩膜版，提高金属掩膜版所制作的图案精度。该金属掩膜版的清洗方法包括以下步骤：在金属掩膜版的第一面形成牺牲层，牺牲层的材料为水溶性材料；金属掩膜版的第二面与基板接触的情况下，在金属掩膜版的牺牲层和基板上形成金属层；采用水洗的方式清洗金属掩膜版，去除水溶性材料的牺牲层及牺牲层上的金属层。本发明提供的掩膜体及金属掩膜版的清洗方法用于清洗金属掩膜版。
一种掩膜体金属掩膜版清洗方法

[发明专利]一种金属掩膜、金属掩膜版及其制造方法-CN201810276313.8在审
发明人：张健;黄俊杰;林治明;王震 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种金属掩膜、金属掩膜版及其制造方法，涉及蒸镀技术领域，用于提高显示面板的良率。所述金属掩膜包括掩膜主体部和位于掩膜主体部的相对两侧的两个连接部，连接部包括位于掩膜主体部上的本体部和位于本体部上且背向掩膜主体部延伸的单级台阶部，单级台阶部包括平行于金属掩膜的台阶面。多个金属掩膜构成金属掩膜版时，相邻的两个金属掩膜之间可以通过连接部实现重叠连接，相邻的两个金属掩膜之间不存在间隙，因而无需设置遮蔽条来遮蔽相邻的两个金属掩膜之间的间隙，金属掩膜不会因为遮蔽条的变形而受到挤压，改善金属掩膜的平展度，提高显示面板的良率。本发明用于形成膜层。
金属掩膜掩膜主体遮蔽显示面板台阶部单级良率相对两侧重叠连接平展度台阶面膜层蒸镀平行制造变形挤压延伸

[发明专利]金属掩膜板的设计方法、金属掩膜板的制备方法-CN201710452420.7有效
发明人：吴建鹏;丁渭渭;杨忠英;罗昶 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于显示技术领域，具体涉及一种金属掩膜板的设计方法、金属掩膜板的制备方法。该金属掩膜板的设计方法包括步骤：根据所述金属掩膜板在使用时的拉伸力、以及所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变属性，分别计算所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变量；根据所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变量，以与形变量相同、但形变趋势相反的方式补偿所述金属掩膜板在互相垂直的两个方向上的形变。该方法通过计算金属掩膜板的张网收缩率，从而获得金属掩膜板制作时需要的补偿量，进而在金属掩膜板设计时进行补偿，在金属掩膜板的设计初期就考虑金属掩膜板的形变量，设计包含了补偿量的金属掩膜板，降低金属掩膜板的工艺成本
金属掩膜板设计方法制备

[发明专利]金属掩膜板的表面处理方法-CN201911228907.2在审
发明人：马得贵;肖舒 -专利权人：深圳市腾深显示技术有限公司
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：一种金属掩膜板的表面处理方法，所述金属掩膜板用于柔性OLED封装中，所述表面处理方法包括：采用氯化氢溶液清洗金属掩膜板的表面；对清洗后的金属掩膜板进行水洗，并采用热风对水洗后的金属掩膜板进行烘干；采用脉冲式磁控溅射方式对烘干后的金属掩膜板进行镀膜，并在金属掩膜板的表面形成一薄膜；取出镀膜后的金属掩膜板，并进行静置冷却。本发明通过采用脉冲式磁控溅射方式，在金属掩膜板的表面进行制备薄膜，该薄膜能够隔绝腐蚀介质对金属掩膜板的腐蚀，隔绝电弧导通金属掩膜板。
金属掩膜板表面处理方法

[实用新型]一种掩膜板、显示面板及显示装置-CN202222380811.1有效
发明人：屈晓娟;李冬冬 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种掩膜板、显示面板及显示装置。掩膜板包括，金属掩膜板蒸镀区。金属掩膜板对位区，金属掩膜板对位区包括对位部。金属框架，金属掩膜板蒸镀区和金属掩膜板对位区均设置于金属框架上。其中，掩膜板能够贴合于显示基板，金属掩膜板对位区与显示基板之间的距离大于金属掩膜板蒸镀区与显示基板之间的距离。本实用新型实施例通过分别设置金属掩膜板对位区与基板间的距离以及金属掩膜板蒸镀区与基板间的距离，提高了金属掩膜板蒸镀区与基板之间的贴合平坦度。降低基板与掩膜板贴合后产生的细微平坦度差异，以提升对位精度，降低蒸镀工艺中浪费的时间成本和物料成本。
一种掩膜板显示面板显示装置

[发明专利]一种纳米级图形化衬底的制造方法-CN201210533172.6有效
发明人：毕少强 -专利权人：映瑞光电科技（上海）有限公司
申请日： 2012-12-11 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明提供一种纳米级图形化衬底的制造方法，包括：提供衬底，在所述衬底上形成掩膜层；在掩膜层上旋涂或喷洒金属纳米颗粒，掩膜层的比热容大于金属纳米颗粒的比热容，金属纳米颗粒的熔点大于掩膜层的熔点；利用激光照射金属纳米颗粒，使金属纳米颗粒的温度达到所述掩膜层的熔点，以形成图形化的掩膜层；去除金属纳米颗粒；以所述图形化的掩膜层作为掩膜刻蚀所述衬底；去除所述图形化的掩膜层，形成纳米级图形化衬底。该方法利用激光对掩膜层上的金属纳米颗粒进行升温，使金属纳米颗粒的温度达到掩膜层的熔点，从而熔化与金属纳米颗粒接触的掩膜层，达到图形化掩膜层的目的，进而利用掩膜层图形化衬底。
一种纳米图形衬底制造方法

[发明专利]蒸镀掩膜、有机半导体元件的制造方法以及有机EL显示屏的制造方法-CN201780037694.8有效
发明人：川崎博司;曾根康子;穗刈久实子 -专利权人：大日本印刷株式会社
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩膜，通过具有与所要蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩膜开口部的树脂掩膜和具有金属掩膜开口部的金属掩膜以所述树脂掩膜开口部和所述金属掩膜开口部重合的方式层叠而成，在该蒸镀掩膜中，使俯视所述金属掩膜时的所述金属掩膜开口部的形状成为以多边形为基本形状
蒸镀掩膜有机半导体元件制造方法以及有机 el 显示屏

[发明专利]金属掩膜板-CN201711351734.4有效
发明人：蒋谦 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种金属掩膜板，包括金属框架以及固定于所述金属框架上的第一金属掩膜板薄片与第二金属掩膜板薄片；将本发明的金属掩膜板应用于蒸镀制程时，首先使用第二金属掩膜板薄片制作第一OLED屏，所述第二金属掩膜板薄片使用一段时间并不再使用之后，将其从金属框架上取掉，使用第一金属掩膜板薄片制作第二OLED屏；由于本发明的金属掩膜板能够用于先后制作两种OLED屏，因此能够应对OLED面板厂连续开发两种OLED屏新品的需求，减少金属掩膜板交期对OLED屏开发速度的影响，另外采用本发明的金属掩膜板可以降低金属掩膜板的购买成本。
金属掩膜板金属框架制作金属掩膜蒸镀制程开发购买应用

[发明专利]掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法-CN202010006103.4有效
发明人：嵇凤丽;朴进山;朱艺丹 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板组件及制作掩膜板组件的方法，掩膜板组件，包括：金属框架，金属框架具有第一作业窗口；金属板，金属板与金属框架层叠设置，金属板与金属框架连接，金属板的部分与第一作业窗口相对，金属板上设有第二作业窗口，第二作业窗口的外轮廓位于第一作业窗口的外轮廓内；精细金属掩膜板，精细金属掩膜板与金属板层叠设置且位于金属板的远离金属框架的一侧，精细金属掩膜板仅与金属框架连接以封挡第二作业窗口。根据本发明的掩膜板组件，可以改善精细金属掩膜板出现褶皱的情况。另外，可以改善本体与精细金属掩膜板之间存在药液残留的情况。另外，可以改善金属板的波动带动精细金属掩膜板而导致精细金属掩膜板出现褶皱的情况。
掩膜板组件制作方法

[发明专利]张网设备-CN201710929886.1有效
发明人：姜亮;李金川 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-10-09 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明提供一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；包括：张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，第一夹具固定于金属掩膜板的第一端部，第二夹具固定于金属掩膜板相对另一端的第二端部；水平板，可升降地设置于金属掩膜板上方；测量机构，设置于张网设备的工作区域内，用以对金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，磁吸机构，可升降地设置于水平板上方，用以吸附金属掩膜板，使得金属掩膜板产生形变；有益效果为：本发明提供的张网设备，在制作金属掩膜板时，模拟金属掩膜板在使用中的形变，通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息，对金属掩膜板进行调整，进而得到高精度的金属掩膜板。
设备

[发明专利]用于形成自对准通孔的T形金属硬掩膜-CN201110334644.0有效
发明人：张海洋;王新鹏;王冬江 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2011-10-31 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种用于形成自对准通孔的T形金属硬掩膜的制作方法，包括：提供半导体衬底，在所述半导体衬底上形成有绝缘层；在所述绝缘层上依次沉积第一金属硬掩膜层和第二金属硬掩膜层，所述第一金属硬掩膜层的被蚀刻率大于所述第二金属硬掩膜层的被蚀刻率；蚀刻所述第二金属硬掩膜层和所述第一金属硬掩膜层，以形成所述T形金属硬掩膜。根据本发明，在形成用于填充互连金属的通孔时，蚀刻所述金属硬掩膜层之后，所留下的所述金属硬掩膜层呈T型，从而可以更好地控制后续自对准通孔的形成。
用于形成对准金属硬掩膜

[发明专利]柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法-CN201711330542.5有效
发明人：唐军 -专利权人：深圳浚漪科技有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C23C2/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法，包括：提供一金属掩膜版，在所述金属掩膜版的表面形成一纯铝层，对形成纯铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理。根据本发明实施例提供的柔性OLED封装用金属掩膜版的绝缘处理方法，先在金属掩膜版的表面形成一纯铝层，再对形成纯铝层的金属掩膜版进行阳极氧化处理，如此，阳极氧化处理后的金属掩膜版表面即可呈现优良的绝缘性，使得金属掩膜版能够满足镀膜中对绝缘性的要求。
柔性 oled 封装金属掩膜版绝缘处理方法

[实用新型]一种金属掩膜版及其金属网框-CN201920391281.6有效
发明人：王宝 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属掩膜版及其金属网框，属于金属掩膜版技术领域。一种金属掩膜版，包括金属网框与固定在金属网框上表面的金属掩膜，金属网框包括依次固定连接在一起形成框架结构的边条，边条的上表面为金属网框与金属掩膜接触的上表面，所述边条的上表面为凸凹表面，所述金属掩膜通过电镀直接生长在边条的上表面上，所述金属掩膜的下表面将凸凹表面填充满使金属掩膜与金属网框无缝结合在一起。本实用新型的金属网框的上表面为凸凹结构，金属掩膜由电镀镀层直接生长而成，金属掩膜与金属网框无缝结合在一起，金属掩膜与金属网框的连接牢固，蒸镀时不会发生破片的现象。
一种金属掩膜版及其金属网

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