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- [发明专利]量测系统及其量测参数设置方法-CN201910219439.6有效
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孙晓辉
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TCL华星光电技术有限公司
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2019-03-21
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2022-04-26
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G09G3/00
- 本发明提供一种量测系统及其量测参数设置方法。本发明的量测系统中，参数设定模块输入与待量测产品对应的初始量测参数并上传至存储模块中，多个量测机台中的一个量测机台放入待量测产品，该放入待量测产品的量测机台从存储模块下载待量测产品对应的初始量测参数并在对其下载的初始量测参数进行调整产生与待量测产品对应的调整量测参数后将该待调整量测参数上传至存储模块中，多个量测机台中除了放入待量测产品的量测机台外的其他量测机台从存储模块下载待量测产品对应的调整量测参数，从而多个量测机台之间可以共享量测参数，节省量测参数设定时间，提升机台使用率。
- 系统及其参数设置方法
- [发明专利]对准量测标记结构及对准量测方法-CN202110360791.9有效
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刘文奇
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长鑫存储技术有限公司
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2021-04-02
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2022-10-28
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G03F7/20
- 本发明涉及一种对准量测标记结构及对准量测方法，包括：第一套刻标记；第二套刻标记，所述第二套刻标记包括待量测图形结构；其中，所述第一套刻标记与所述第二套刻标记位于相邻层，且所述第一套刻标记在所述第二套刻标记所在层的正投影位于所述第二套刻标记内侧本发明的对准量测标记结构通过设置待量测图形结构作为第二套刻标记，在使用对准量测标记结构进行对准时即可实现待量测图形结构的量测，可以提高对准和量测的工作效率；同时本发明的对准量测标记结构可以使用光学量测方式对待量测图形进行量测，量测过程中不会产生气体副产物，不会对晶圆造成污染。
- 对准标记结构方法
- [实用新型]淹水沉井测径测斜仪-CN201020580898.1无效
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邹绍明
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重庆工程职业技术学院
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2010-10-28
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2011-06-22
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G01C9/12
- 本实用新型公开了一种淹水沉井测径测斜仪，包括主体管和测径组件，所述主体管上由上至下依次设置上、中、下三个法兰盘，上法兰盘上设有提升装置，所述测径组件包括装设在所述上法兰盘和中法兰盘间的滑道，与滑道单自由度轴向滑动配合的滑块，与滑块上端连接的测绳，以及弦杆Ⅰ和弦杆Ⅱ，所述弦杆Ⅰ一端与弦杆Ⅱ一端铰接，弦杆Ⅰ另一端与滑块下端铰接，弦杆Ⅱ另一端与下法兰盘铰接；本实用新型操作简单，可操作性强，量测准确，用它不仅能够量测淹水沉井井筒的偏斜率大小和实际偏斜方位，而且还能量测沉井在施工时任意标高处井筒内轮廓的空间位置。
- 淹水沉井测径测斜仪
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