专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于制造半导体特征件的方法-CN202210003422.9在审
  • 廖崧甫;陈海清;林仲德 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-01-04 - 2022-09-27 - H01L21/8234
  • 一种用于制造半导体特征件的方法,其包括:于半导体基板上沿着垂直方向交替地形成第一介质层及第二介质层;形成穿透第一介质层及第二介质层的多个分隔开的沟槽;形成填充沟槽的多个支撑区段;移除第二介质层以形成多个空间;形成填充所述空间的多个导电层;移除支撑区段以暴露导电层与第一介质层;选择地形成阻挡层,其覆盖在导电层外侧的第一介质层;在阻挡层外侧的经暴露的导电层上形成多个选择沉积子层,每个选择沉积子层连接至所述导电层中的一层;在所述阻挡层外侧的所述选择沉积子层上形成多个通道子层;移除所述阻挡层;形成填充所述沟槽的多个隔离子层;以及形成多个源极/漏极区段,每个源极/漏极区段连接至对应的一个通道子层。
  • 用于制造半导体特征方法
  • [发明专利]一种选择背金芯片封装结构及其工艺方法-CN201810868948.7有效
  • 王杰 - 江苏长电科技股份有限公司
  • 2018-08-02 - 2020-06-09 - H01L23/31
  • 本发明涉及一种选择背金芯片封装结构及其工艺方法,所述封装结构包括基板(1),所述基板(1)上通过银胶(2)设置有芯片(3),所述芯片(3)包括RF信号焊垫(31)和接地焊垫(32),所述RF信号焊垫(31)和接地焊垫(32)之间的隔离区域开设有沟槽(5),所述沟槽(5)内填充有绝缘材料(6),所述芯片(3)上方包封有塑封料(7)。本发明在芯片设计为选择背金的情况下,在芯片表面设置一镭射开槽的沟道,通过在正常装片后以镭射填充绝缘材料的方式,隔离阻断接地焊垫和信号焊垫,解决选择背金芯片装片遇到的桥接或信号焊垫无法与芯片连接的问题
  • 一种选择性芯片封装结构及其工艺方法
  • [发明专利]防止选择外延掩模层底部切口形貌的结构和方法-CN201010221607.4无效
  • 刘鹏 - 上海华虹NEC电子有限公司
  • 2010-07-08 - 2012-01-11 - H01L21/31
  • 本发明公开了一种防止选择外延工艺在填充过程中在介质膜掩模层(Hard Mask)下面形成底部切口形貌(undercut)的结构,在沟槽形成后、选择外延生长前形成具有不同厚度梯度的掩模层,并且该掩模层在靠近沟槽侧壁区域的厚度比远离沟槽侧壁区域的厚度更薄此外,本发明还公开了实现这种结构的方法,通过本发明的特殊工艺方法在靠近沟槽的介质膜掩模层区域形成不同介质膜厚度的阶梯或者渐变结构,较薄层会在选择外延过程全部消耗,最终防止底部切口形貌形成。本发明在不改变外延填充条件的情况下,用有效简单的方法避免掩模层下切口形貌的产生,同时不影响后续工艺步骤的实现。
  • 防止选择性外延掩模层底部切口形貌结构方法

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