专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种水冷风冷相结合式真空镀膜-CN201910517992.8有效
  • 童剑 - 深圳市提姆光电科技有限公司
  • 2019-06-14 - 2020-09-15 - C23C14/24
  • 本发明公开一种水冷风冷相结合式真空镀膜机,包括真空镀膜机和底板,所述底板底部焊接有支撑腿,支撑腿的数量为四,底板的顶部固定安装有壳体,壳体内侧顶部固定安装有支撑垫座,支撑垫座的数量为四,支撑垫座的顶部固定安装有真空镀膜机,真空镀膜机的顶部贯穿壳体并延伸至壳体的上方,真空镀膜机的一侧通过支架固定安装有空气泵,空气泵的输出端通过管道与真空镀膜机内部连通,真空镀膜机的前侧外表面镶嵌有控制器,控制器和空气泵位于壳体的上方,本发明散热效果好,降温效率高,实现了良好的散热功能,有利于真空镀膜机的正常使用。
  • 一种水冷风冷相结合真空镀膜
  • [实用新型]一种带有防护结构的低温真空镀膜装置-CN202122094991.2有效
  • 杨林生 - 合肥聚盛真空科技有限公司
  • 2021-09-01 - 2022-04-12 - C23C14/00
  • 本实用新型公开了一种带有防护结构的低温真空镀膜装置,涉及真空镀膜设备技术领域,包括真空镀膜机本体,还包括防护壳体以及减震组件;所述真空镀膜机本体安装在防护壳体间;所述防护壳体两侧相对布置夹持机构,所述夹持机构用于对真空镀膜机本体进行夹持固定;所述减震组件包括均匀布置在防护壳体底壁表面的缓冲套筒,所述缓冲套筒外侧设置缓冲弹簧,将真空镀膜机本体置于防护壳体内的缓冲板表面,两侧所述夹持机构同时朝向真空镀膜机本体的一侧移动,用于对真空镀膜机本体进行初步夹持固定
  • 一种带有防护结构低温真空镀膜装置
  • [实用新型]一种真空镀膜设备的工件受热机构-CN202320672235.X有效
  • 孙瑞雪 - 聚能纳米科技(苏州)有限公司
  • 2023-03-30 - 2023-08-29 - C23C14/50
  • 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,公开了一种真空镀膜设备的工件受热机构,包括真空镀膜箱,真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有支杆,支杆的四面上均设置有若干电加热管,真空镀膜箱的底部设置有转盘,转盘的中心固定连接有转轴,转轴转动连接在真空镀膜箱的内腔底部,真空镀膜箱的箱底固定连接有驱动电机,驱动电机与转轴连接,转盘上转动连接有若干竖杆,竖杆上固定连接有若干工件托架,真空镀膜箱的内腔顶部固定连接有环形安装板,环形安装板的外部一圈固定连接有环形齿条
  • 一种真空镀膜设备工件受热机构
  • [实用新型]一种用于高真空镀膜机的冷却装置-CN201922354327.X有效
  • 颜见锋 - 苏州市唯嘉光学有限公司
  • 2019-12-24 - 2020-08-28 - C23C14/22
  • 本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机的冷却装置,涉及镀膜机冷却技术领域,包括风冷热交换器、水箱、水泵和输水管道,所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷热交换器入口连接,所述风冷热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接;所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接,所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接,高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接;本实用新型通过引入风冷热交换器,大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗,节约能源。
  • 一种用于真空镀膜冷却装置
  • [实用新型]一种真空镀膜设备-CN202222447664.5有效
  • 池科长;李创;肖青辉;陈碧珠;唐自清 - 福耀玻璃工业集团股份有限公司
  • 2022-09-15 - 2023-04-11 - C23C14/22
  • 本申请提供了一种真空镀膜设备。所述真空镀膜设备包括设备主体,所述设备主体具有真空镀膜室,所述设备主体具有围合成所述真空镀膜室的侧壁及底壁;挡板,所述挡板包括间隔设置的底板及侧板,所述底板设置于所述底壁上,所述侧板设置于所述侧壁上;以及柔性层,所述柔性层设置于所述底板或所述侧板中的至少一个面向所述真空镀膜室的表面。本申请实施例的真空镀膜设备,可以更好地防止沉积于所述柔性层的镀膜材料发生崩落,其挡板具有更长的使用寿命,用于镀膜时,具有更好的镀膜质量。
  • 一种真空镀膜设备
  • [实用新型]一种真空镀膜机均匀性挡板调整装置-CN202222784550.X有效
  • 翟俊锋;乔建栋 - 苏州浩联光电科技有限公司
  • 2022-10-21 - 2023-05-16 - C23C14/54
  • 本实用新型涉及一种真空镀膜机均匀性挡板调整装置,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体的右侧固定安装有U型框,所述真空镀膜机本体的外表面铰接安装有柜门,所述真空镀膜机本体的内部设置有拆卸机构,所述真空镀膜机本体的内部活动安装有修正挡板该真空镀膜机均匀性挡板调整装置,通过设置U型框,使用时,需要通过修正挡板安装在真空镀膜机本体内部真空室内左右电子枪的上方(根据镀制工艺和镀制要求,进行位置选择),在电机的启动下带动修正挡板移动,改变修正挡板的位置,当电子束光斑偏移时修正挡板对膜料投射到镀膜盘上的遮挡区域产生了变化进而造成均匀性变差,而修正挡板与机器之间通过拆卸机构,可以方便的进行拆装。
  • 一种真空镀膜均匀挡板调整装置
  • [实用新型]一种智能化高效环保真空镀膜设备-CN202122039970.0有效
  • 艾庆林 - 大连埃玛玻璃配套服务有限公司
  • 2021-08-27 - 2022-03-29 - C23C14/56
  • 本实用新型公开了一种智能化高效环保真空镀膜设备,涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括基板和真空镀膜机,真空镀膜机安装于基板上表面,真空镀膜机前端面安装有真空检测机体,真空镀膜机内部安装有驱动板,驱动板内部开设有滑槽,滑槽内部转动连接有丝杆,丝杆周侧面螺纹配合有滑座,滑座底面设置有真空检测头,真空检测头与真空检测机体通信连接。本实用新型通过设置驱动板、丝杆、滑座、真空检测头和真空检测机体,实时检测真空室的真空度是否处于稳定状态,保证了镀膜的性能以及稳定性,有效地保护了产品的质量,提升了产品的量产率。
  • 一种智能化高效环保真空镀膜设备
  • [实用新型]一种柔性输送装置-CN200620160574.6无效
  • 刘阳 - 北京实力源科技开发有限责任公司刘阳
  • 2006-11-30 - 2008-03-12 - C23C14/56
  • 本实用新型公开了一种柔性输送装置,输送装置包括动力驱动系统、导轨和输送带,所述的导轨在真空镀膜设备的镀膜仓中是圆弧或环状形状;导轨是一种空腔设计,输送带在宽度方向上的一部分进入导轨内部,输送带外露在开口下方的另一部分用于携带工件本实用新型的输送装置可以用于立式或卧式、单层或多层,或者两个及两个以上不同功能的回转仓或直线仓的多仓不同组合形成连续生产线等多种真空镀膜设备。本实用新型的输送装置可以实现输送带及工件在真空镀膜设备中的交替转换,可以实现批量产品节拍连续化的生产,获得品质、色泽的一致性;同时生产效率高,生产成本降低。
  • 一种柔性输送装置
  • [发明专利]结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置-CN201210054811.0有效
  • 成林 - 昆山浦力金属工业有限公司
  • 2012-03-05 - 2013-09-11 - C23C14/22
  • 本发明公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置,包括真空镀膜机腔体,所述真空镀膜机腔体外侧壁上固定扣设有若干条一侧开口的管壳,该管壳开口侧朝向真空镀膜机腔体,该管壳与真空镀膜机腔体外侧壁之间形成供冷却水流通的通道,该通道内设有流动的冷却水,所述管壳沿其长度方向的两端分别设有进、出水口,本发明冷却水直接与真空镀膜机腔体接触,快速的将其表面的热量带走,冷却速度快,冷却及时、充分,有效保护了真空镀膜机,延长了其使用寿命
  • 结构改进真空镀膜机腔体冷却装置
  • [实用新型]真空镀膜机热屏蔽装置-CN201020218919.5有效
  • 黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 - 湘潭宏大真空设备有限公司
  • 2010-06-08 - 2011-02-02 - C23C14/24
  • 真空镀膜机热屏蔽装置,包括真空镀膜箱体、加热器、镜面反射板、支撑架,所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中并处于基片运行通道的上、下方,在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的所述镜面反射板,所述镜面反射板之间及所述镜面反射板与所述真空镀膜箱体之间通过所述支撑架固定连接。本实用新型结构简单合理、节能效果显著、可有效降低真空镀膜箱体温度,使之符合工艺规范要求,资源节约,提高基片加热均匀性,适于工业化生产,可与各种型号的真空镀膜机配套使用。
  • 真空镀膜屏蔽装置
  • [实用新型]结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置-CN201220078083.2有效
  • 成林 - 昆山浦力金属工业有限公司
  • 2012-03-05 - 2012-12-05 - C23C14/22
  • 本实用新型公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置,包括真空镀膜机腔体,所述真空镀膜机腔体外侧壁上固定扣设有若干条一侧开口的管壳,该管壳开口侧朝向真空镀膜机腔体,该管壳与真空镀膜机腔体外侧壁之间形成供冷却水流通的通道,该通道内设有流动的冷却水,所述管壳沿其长度方向的两端分别设有进、出水口,本实用新型冷却水直接与真空镀膜机腔体接触,快速的将其表面的热量带走,冷却速度快,冷却及时、充分,有效保护了真空镀膜机,延长了其使用寿命
  • 结构改进真空镀膜机腔体冷却装置

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