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[实用新型]多弧离子数控真空镀膜机-CN201821739804.3有效
发明人：王汉春;张金兴;罗来山 -专利权人：金山莱宝（厦门）科技有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了多弧离子数控真空镀膜机，属于真空镀膜机领域，多弧离子数控真空镀膜机包括真空镀膜室、旋转轴、第一转盘、第二转盘、以及加热器，旋转轴的一端穿过真空镀膜室的上壁中部，且向真空镀膜室高度方向延伸至真空镀膜室的底部上方，第一转盘固定套设在旋转轴的上端，第一转盘的底部固定有至少一个加热器，第二转盘固定套设在旋转轴的下端，第二转盘的顶部固定有至少一个加热器，第一转盘和第二转盘均位于真空镀膜室的内部。本实用新型的多弧离子数控真空镀膜机加热均匀。
转盘真空镀膜机真空镀膜室旋转轴数控加热器离子本实用新型固定套高度方向延伸加热均匀上壁中部上端下端穿过

[实用新型]手机后盖真空镀膜纳米膜层绝缘性能检测装置-CN202020599665.X有效
发明人：王建峰 -专利权人：深圳市嘉德真空光电有限公司
申请日： 2020-04-21 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开手机后盖真空镀膜纳米膜层绝缘性能检测装置；包括主控制器、用以输送真空镀膜手机后盖来料的来料输送装置、用以感应真空镀膜手机后盖来料并对真空镀膜手机后盖来料进行定位的来料感应及定位装置、用以测量定位好的真空镀膜手机后盖来料纳米膜层电阻值的电阻自动测量装置、用以对绝缘性能检测合格的真空镀膜手机后盖来料边缘打产品标识码的激光打码装置及用以对绝缘性能检测合格并打有产品标识码的真空镀膜手机后盖来料及绝缘性能检测不合格的真空镀膜手机后盖来料背面进行覆膜的来料背面覆膜装置；效果：本实用新型可自动测量真空镀膜手机后盖来料电阻值以评估其绝缘性能，使得节省人力，降低劳动成本。
手机真空镀膜纳米绝缘性能检测装置

[发明专利]一种用于卷绕式真空镀膜机的真空穿膜机构-CN202110345060.7在审
发明人：李成林;郝明;杜雪峰 -专利权人：辽宁分子流科技有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开一种用于卷绕真空镀膜机的真空穿膜机构，应用于新能源动力电池制造的卷绕式真空镀膜机。真空穿膜机构主要包括穿膜杆、滑槽、滑动端、驱动端；穿膜杆上设置有膜槽，用来夹紧需要穿膜的柔性基膜端部；滑槽为2组，分别布置在卷绕式真空镀膜机的真空室与主辊轴线垂直的两个室壁内侧，滑槽的路径与柔性基膜在卷绕式真空镀膜机中卷绕走膜的路径一致；滑动端为2个，分别设置在穿膜杆的两端，滑动端上设置有轴承，轴承置于滑槽内，滑动端可通过轴承在滑槽中滑动；驱动端置于真空室外，可非接触式地驱动滑动端带动穿膜杆沿真空室内的滑槽路径移动。
一种用于卷绕真空镀膜真空机构

[实用新型]多室连续真空镀膜装置-CN200920056199.4无效
发明人：钟肇兰 -专利权人：钟肇兰
申请日： 2009-05-11 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种多室连续真空镀膜装置，包括有依次串联、由6台阀门隔开的以下的、进片真空室2-前缓冲真空室4-前过渡真空室6-镀膜真空室8-后过渡真空室9-后缓冲真空室11-出片真空室13；在镀膜真空室8里，装设有若干条的靶条7；各真空室连接有真空发生装置，包括连接在进、出片真空室的前、后初级抽真空系统16、22、连接在前、后缓冲真空室的前、后缓冲深度排气系统17，21，连接在前、后过渡真空室的前、后深度排气系统18和20，和连接在镀膜真空室的镀膜深度排气系统19。本实用新型装置真空度平稳、不波动，镀膜质量好，缩短了在进、出片室的排气时间，提高生产效率，真空室的配置合理、效率高。适用于各种连续生产的真空镀膜装置。
连续真空镀膜装置

[发明专利]自动化连续式防污膜镀膜装置-CN201410786581.6有效
发明人：范宾;渡边优;张洪;汪洋 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及自动化连续式防污膜镀膜装置，特别是适用于对液态有机蒸镀材料进行真空蒸发镀膜的镀膜装置，其特征在于所述真空蒸镀室与所述真空预热室之间设置有一可启闭的闸阀；所述真空预热室内设置有加液系统、推送机构、加热装置和坩埚，所述加液系统向所述坩埚中加注蒸镀所述防污膜的膜料，所述加热装置承载并加热所述坩埚，所述推送机构通过推送杆连接所述坩埚，以使所述坩埚实现在所述真空蒸镀室和所述真空预热室之间的往返移动本发明的优点是可以进行自动化、连续式镀膜；可以对液态镀膜材料进行精确定量的镀膜，不但提高了镀膜精度，同时降低了因使用固态药片所导致的高成本。
自动化连续防污镀膜装置

[发明专利]真空镀膜膜料的生产方法及其生产设备-CN201410346074.0在审
发明人：胡伟;陈鹏;常瑞荆;赵安;王钰 -专利权人：深圳市东丽华科技有限公司
申请日： 2014-07-21 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜领域，公开了一种真空镀膜膜料的生产方法，提供液态镀膜材料；提供镀膜材料载体；将所述液态镀膜材料通过加料装置滴入至所述镀膜材料载体内，获得所述真空镀膜膜料。本发明还提供了真空镀膜膜料的生产设备及含有该生产设备的真空镀膜机。
真空镀膜生产方法及其设备

[实用新型]一种多功能真空镀膜设备-CN202120688770.5有效
发明人：徐从康;贺涛;周曼曼 -专利权人：浙江弘康半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能真空镀膜设备，包括真空镀膜室、下降取料，上升贴合密闭真空镀膜室的哑铃型升降底盘，所述真空镀膜室内设有蒸发镀膜系统、溅射镀膜系统，其通过抽真空系统提供低压的镀膜环境，所述哑铃型升降底盘上设有卷绕基材的卷绕系统，卷绕系统通过全自动控制卷绕张力系统实时控制其张力稳定，还包括与卷绕系统相连的静电辅助吸附镀膜系统。本实用新型一种多功能真空镀膜设备，能够同时进行蒸发镀膜系统和溅射射镀膜系统的卷对卷多功能真空镀膜机，并且该真空镀膜机具有全自动控制卷绕张力系统和静电辅助吸附镀膜系统，能够有效的避免径向力分布不均造成的薄膜褶皱问题和靶材浪费的问题
一种多功能真空镀膜设备

[发明专利]快速除去连续式真空镀膜的托盘上镀层的方法-CN200510120993.7无效
发明人：陈志明;覃飞祥 -专利权人：佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司
申请日： 2005-12-22 - 公布日： 2007-06-27 - 主分类号： B24C1/04 文献下载
摘要：一种快速除去连续式真空镀膜的托盘上镀层的方法，其中，至少包括如下步骤：a)备好托盘和废真空油；b)将废真空油均匀的刷在托盘上的金属表面，使油渗透到整个金属镀层内，以达到金属镀层内部间隙变得疏松；c)干燥刷好废真空油的托盘本发明目的是提供一种快速出去连续式真空镀膜的托盘上镀层的工艺方法。根据本发明处理后再喷砂，能够在短短4小时内处理好一块托盘上所有的金属镀层，提高了生产效率，节省了时间。
快速除去连续真空镀膜托盘镀层方法

[发明专利]一种真空镀膜装置内部件的再生方法及装置-CN201910362335.0在审
发明人：李建;李岩;古大龙;马亮 -专利权人：信利（仁寿）高端显示科技有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空镀膜装置内部件的再生方法，所述真空镀膜装置内部件在镀膜过程中会沉积镀膜层，所述再生方法包括以下步骤：在所述真空镀膜装置内部件会沉积镀膜层的表面制作可熔膜层；当所述真空镀膜装置内部件上沉积的镀膜层厚度超过厚度阈值时，烘烤所述真空镀膜装置内部件使得可熔膜层熔解带动沉积镀膜层脱落。本发明提供的真空镀膜装置内部件的再生方法在实现真空镀膜装置内部件的再生过程中，不需要进行酸洗，从而能够有效避免酸洗带来的环保问题；而是通过烘烤使得可熔膜层熔解带动沉积镀膜层脱落来实现再生的，再生工艺简单，能有效节省运输费用，提高再生速度，减少购置备用真空镀膜装置内部件的费用，有效实现了降低生产成本。
真空镀膜装置内部件镀膜层沉积再生熔膜烘烤熔解酸洗再生方法及装置镀膜过程环保问题有效实现运输费用再生工艺再生过程阈值时备用制作

[实用新型]一种手机玻璃盖板真空镀膜机-CN202321347847.8有效
发明人：龙志光;刘程彪;张兴财;龙昭怡 -专利权人：湖南广隆光电有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜领域，尤其是一种手机玻璃盖板真空镀膜机，针对现有的设备在使用时只能对一个手机玻璃盖板进行真空镀膜，不能一次性对多个手机玻璃盖板进行连续加工，工作效率较低，不利于多个手机玻璃盖板镀膜加工的问题，现提出如下方案，其包括箱体，所述箱体的一侧铰接有密封门，密封门的一侧固定连接有控制器，所述箱体的表面设有相连通的通气阀和真空泵；所述箱体的顶部内壁固定连接有第三电动推杆，本实用新型中，可以实现一次性对多个手机玻璃盖板的连续加工，节省了操作的时间，进而提高了工作效率，还可以为摆放板提供足够的支撑，保证了镀膜加工的质量。
一种手机玻璃盖板真空镀膜

[发明专利]一种光学真空镀膜机内腔清洁方法-CN201510723567.6在审
发明人：訾云旭;句红兵;杨勇;李莉;訾云海;荀涛;张宝福 -专利权人：云南汇恒光电技术有限公司
申请日： 2015-10-29 - 公布日： 2016-02-03 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明涉及光学元件真空镀膜领域，尤其是一种光学真空镀膜机内腔清洁方法。这种清洁方法具体步骤如下：(1)将光学真空镀膜机内腔及夹具清洁干净；(2)装载外形尺寸合格而其它技术指标不作要求的光学元件，在光学真空镀膜机中镀制可溶于酸性水性清洗液厚度为20～200nm的隔离膜；(3)将镀有隔离膜的光学元件取下，装载合格光学元件，按其技术要求在光学真空镀膜机中镀制膜层；(4)光学真空镀膜机内腔及夹具达到清洁周期后，取下光学真空镀膜机内腔及夹具在酸性水性清洗液中清洗，除去内腔及夹具表面沉积物(5)除去光学真空镀膜机内腔及夹具表面残余的酸性水性清洗液，烘干或晾干光学真空镀膜机内腔及夹具，将内腔及夹具装入光学真空镀膜机；(6)按步骤(2)～(5)开展光学元件真空镀膜下一生产及清洁周期。本方法较常规喷砂或砂布打磨等方法，方便快捷，且对镀膜机内腔及夹具损伤较小。
一种光学真空镀膜机内腔清洁方法

[实用新型]一种真空镀膜腔室门吸附结构-CN202120913115.5有效
发明人：薛凯奇;周志刚;耿飒;刘达;陈少俊 -专利权人：宣城开盛新能源科技有限公司
申请日： 2021-04-29 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种真空镀膜腔室门吸附结构，包括真空镀膜腔体和用于封闭真空镀膜腔体的门，所述真空镀膜腔体贴合门的一侧面设有真空槽和密封结构，所述吸附结构还包括与真空槽相连通的抽真空机构，所述抽真空机构通过对真空槽抽真空使真空镀膜腔体与门贴合密封本实用新型的吸附结构中，门面受力均匀，不会产生局部变形；门与真空镀膜腔体连接的铰接结构十分简单，没有很高的强度、精度要求；操作简单，自动化程度高。
一种真空镀膜腔室门吸附结构

[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的卸料装置-CN202120763973.6有效
发明人：魏文杰;黄余;阳锐;袁超;李浩 -专利权人：四川华岩机械设备制造有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的卸料装置，涉及真空镀膜机技术领域。该用于卧式真空镀膜机的卸料装置，包括真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的一侧外壁设置有前密封盖，真空镀膜腔的另一侧外壁固定安装有后密封盖，前密封盖的一侧内壁固定安装有固定件，固定件的一端固定连接有放置架，真空镀膜腔的底部设置有卸料机构，真空镀膜腔的顶部设置有驱动机构。该用于卧式真空镀膜机的卸料装置，通过支撑板、底板、齿板和卡齿的配合使用，能够将镀膜完毕的材料卸下，避免工作人员在卸料的过程中发生碰撞和脱落的情况，避免误伤工作人员，减少了在卸料时所产生的晃动，有效的提高了在卸料时的稳定性
一种用于卧式真空镀膜卸料装置

[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的导向机构-CN202120763975.5有效
发明人：魏文杰;黄余;阳锐;袁超;李浩 -专利权人：四川华岩机械设备制造有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的导向机构，涉及真空镀膜机技术领域。该用于卧式真空镀膜机的导向机构，包括安装环，所述安装环的数量为两组，安装环的下方设置有固定调节机构，安装环的内部设置有可伸缩承接机构，安装环的一侧设置有转向机构，安装环的外侧设置有三组弓形导向板。该用于卧式真空镀膜机的导向机构，通过安装环、固定圆盘、内齿轮环、伺服电机和驱动齿轮的配合使用，能够在对工件进行固定的同时对其进行全方位地翻转，满足不同类型工件的不同镀膜要求，伸缩式结构设计的承接板使其不会在镀膜作业中对工件造成遮挡，保障了卧式真空镀膜机的镀膜质量，实用性高，适用范围广。
一种用于卧式真空镀膜导向机构

[发明专利]一种特种工件镀膜方法-CN202010321997.6有效
发明人：姜翠宁;高文波;徐从高;李本嫣 -专利权人：广东生波尔光电技术有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种特种工件镀膜方法，至少包括如下步骤：工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料本发明实施例，可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序，实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理，自动化程度高。
一种特种工件镀膜方法

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