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- [发明专利]真空镀膜系统-CN202210675641.1在审
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王君
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沈阳爱科斯科技有限公司
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2022-06-15
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2022-08-05
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C23C14/02
- 本发明提供一种真空镀膜系统，属于镀膜设备技术领域。真空镀膜系统，包括真空镀膜室和刻蚀装置；刻蚀装置包括相对设置于真空镀膜室内的第一刻蚀机构和第二刻蚀机构，第一刻蚀机构包括第一刻蚀组件和第一阳极，第二刻蚀机构包括第二刻蚀组件和第二阳极；第一刻蚀组件与真空镀膜室的侧壁相连接，第一阳极设置于真空镀膜室内，且位于第一刻蚀组件的前端；第二刻蚀组件与真空镀膜室的顶壁相连接，第二阳极与真空镀膜室的底壁相连接，且与第二刻蚀组件相对设置。通过在真空镀膜室内相对设置的第一刻蚀机构和第二刻蚀机构能够形成覆盖率更大的刻蚀区，从而在一定程度上提高镀膜效果和镀膜效率。
- 真空镀膜系统
- [实用新型]真空镀膜系统-CN202221494922.9有效
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王君
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沈阳爱科斯科技有限公司
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2022-06-15
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2022-10-18
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C23C14/02
- 本实用新型提供一种真空镀膜系统，属于镀膜设备技术领域。真空镀膜系统，包括真空镀膜室和刻蚀装置；刻蚀装置包括相对设置于真空镀膜室内的第一刻蚀机构和第二刻蚀机构，第一刻蚀机构包括第一刻蚀组件和第一阳极，第二刻蚀机构包括第二刻蚀组件和第二阳极；第一刻蚀组件与真空镀膜室的侧壁相连接，第一阳极设置于真空镀膜室内，且位于第一刻蚀组件的前端；第二刻蚀组件与真空镀膜室的顶壁相连接，第二阳极与真空镀膜室的底壁相连接，且与第二刻蚀组件相对设置。通过在真空镀膜室内相对设置的第一刻蚀机构和第二刻蚀机构能够形成覆盖率更大的刻蚀区，从而在一定程度上提高镀膜效果和镀膜效率。
- 真空镀膜系统
- [实用新型]一种具备吸尘功能的真空镀膜机-CN202320802129.9有效
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张国军
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广东东华光电科技有限公司
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2023-04-11
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2023-08-18
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C23C14/56
- 本实用新型提供一种具备吸尘功能的真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体的内部安装有转动板，所述转动板的中间固定安装有支撑柱，所述转动板中间远离支撑柱的位置处固定安装有支架，所述真空镀膜机本体内部的底端设置有电机，所述真空镀膜机本体的后端固定安装有中空箱，所述中空箱的内部设置有收纳箱，所述中空箱的顶端固定安装有吸尘器。本实用新型中，通过吸尘器、吸尘管和吸尘头的设置，使真空镀膜机本体在使用时，可以通过吸尘器吸除真空镀膜机本体内部的灰尘，使真空镀膜机内部的灰尘被处理干净，避免了灰尘附着在物料表面，影响物料镀膜的现象产生，使物料在进行镀膜时物料的镀膜效果更好。
- 一种具备吸尘功能真空镀膜
- [实用新型]一种真空镀膜机-CN202221970340.3有效
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戴晓东;余海春;杨启忠
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光驰科技（上海）有限公司
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2022-07-28
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2022-11-15
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、进料室、出料室和搬送机构，真空镀膜室包括进料口和出料口；进料室通过第一分隔门封闭进料口；出料室通过第二分隔门封闭出料口；搬送机构包括第一搬送机构和第二搬送机构，第一搬送机构设置于进料室，对应第一分隔门设置，用于将进料室的待镀膜的基板搬送至真空镀膜室；第二搬送机构设置于出料室，对应第二分隔门设置，用于将真空镀膜室的已镀膜的基板搬送至出料室。该真空镀膜机提高了生产良品率和搬送效率。
- 一种真空镀膜
- [实用新型]一种真空镀膜机热屏蔽装置-CN201520436378.6有效
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肖桥兵
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广东易能纳米科技有限公司
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2015-06-24
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2015-12-09
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C23C14/22
- 本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜机热屏蔽装置，包括真空镀膜箱体，真空镀膜箱体包括由内至外依次包覆的隔热层、保护层和防锈层，隔热层包括由内至外依次包覆的反射隔热层、真空隔热层和多孔隔热层，真空镀膜箱体的内侧壁固定有支撑架，支撑架的末端固定有至少两层镜面朝向真空镀膜箱体内的镜面反射板。本实用新型的热屏蔽装置通过在真空镀膜箱体的内侧壁固定有至少两层镜面朝向真空镀膜箱体内的镜面反射板，可以降低真空镀膜箱体的温度，延长使用寿命，还可以减少热量浪费，节能环保，结构简单，成本低。
- 一种真空镀膜屏蔽装置
- [实用新型]一种真空镀膜机冷冻管-CN202122835321.1有效
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崔福顺
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镇江三维真空光学有限公司
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2021-11-18
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2022-08-16
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C23C14/22
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机冷冻管，属于真空镀膜机领域，包括底座，所述底座的上表面固定连接有机箱，底座的上表面固定连接有真空镀膜机，底座的上表面固定连接有冷却箱，机箱的右侧面和真空镀膜机的左侧面均开设有第一贯穿孔，冷却箱的左侧面和真空镀膜机的右侧面均开设有第二贯穿孔；通过设置有步进电机，可以产生动力，进而带动固定杆转动，实现固定杆带动冷冻管转动，并使真空镀膜机内部受冷均匀的目的，通过设置有冷却机，可以产生冷气，进而使冷气通过流通槽通向冷冻管内部，起到快速冷却作用，避免真空镀膜机冷冻管比较单一，调节性能较强，使真空镀膜机内部受冷均匀，利于真空镀膜机长期使用的问题。
- 一种真空镀膜冷冻
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